采用激光剥蚀电感耦合等离子体质谱( LA_ICP_MS)法研究激光晶体材料Cr∶ZnSe晶体中掺杂元素铬( Cr)的含量和分布。利用镀膜扩散掺杂方法,制备不同掺杂浓度的Cr∶ZnSe晶体标准样品作为固体标准物质,实现Cr∶ZnSe晶体中Cr的定量分析。 LA_ICP_MS法研究自制标准样品中Cr的分布均匀性,电感耦合等离子体光谱法测定其准确含量。通过激光点剥蚀和线扫描剥蚀采样,获得Cr元素的点位和含量分布信息,实现晶体中Cr的原位微区分析。标准工作曲线相关系数0.9992,检出限0.08 mg/kg。本方法可为不同生长条件下Cr∶ZnSe晶体中Cr的统计分布分析提供有效检测手段。