针对现有等离子体放电电源及其控制系统低效率和高成本的缺点,该文以串联谐振型高频高压电源为研究对象,对不同的控制模式进行研究,提出基于PWM-PFM混合调制的功率跟踪控制策略.同时,对感性和容性两种控制模式进行对比,根据IGBT的关断特点和工作频率,提出高功率欠谐振和低功率过谐振的工作模式,解决等离子清洗用电源在高频率下功率因数低、开关损耗大的问题.实验结果表明:混合调制策略能够有效降低IGBT的损耗,使整机效率提高0.65％～5.51％;在相同工况下,将设备的调功范围从600～950 W提升到550～1000 W,使得等离子清洗机的清洗对象更为丰富,更容易推广.