三坐标测量机是应用于机械加工几何尺寸检测的重要设备。由于长时间大工作量使用，会产生各种故障。如果请产品供应商维修，费用相当高。本文针对的是ZIESS公司的UC850型，测量操作系统软件版本UMESS300。 　　 　　一、故障现象 　　用标准球对测量头进行校准时，发现校准离散度超出许可范围的十倍以上，无法进行测量工作。进一步观察发现Z轴运动速度缓慢，其速度相当于在更换探头时打开手动控制时的速度。因此提供的测力和传感器信号均不正确，所以产生很大的测量误差。还可以观察到Z轴运动速度并不是在所有的X轴行程范围内都有故障，在有些范围又是正常的，则其测量数据也是正确的。 　　二、故障排查过程 　　打开机体上Z轴盖板(上面用12个螺钉固定)。可以看到Z轴平衡铁；Z轴悬挂式电机，电机传动皮带轮在上部。电机用一对电源线和一对反馈控制线和主控制柜相连。首先考虑是电机故障，经检查电机被排除。而后考虑是X轴气垫导轨和Y轴气垫导轨有问题，进行排查。排查方法是断开测量机电源，保持测量机气源，即保持各气垫导轨和大理石工作平台下气垫支撑的空气压力。