埚帮是单晶硅直拉炉中最重要的结构损耗件,随着直拉法热场尺寸的不断增大,主流单晶硅制造企业已经大批量采用炭/炭复合材料埚帮替代石墨埚帮.采用针刺法制备毛坯预制体,经化学气相沉积、树脂浸渍炭化增密和高温纯化处理后制成炭/炭复合材料埚帮.根据热场温度及元素分析炭/炭埚帮侵蚀破坏的机理,对使用后的炭/炭埚帮断口进行观察分析,结合反应机理进而推断影响埚帮使用寿命的主要因素,为提高炭/炭埚帮寿命的设计提供参考.