采用磁控溅射法在透明玻璃基底上制备50 nm厚的ZnO种子层,利用水热法在ZnO种子层上生长厚度大约为1 000 nm左右的ZnO:Cd纳米棒薄膜,通过SEM,XRD对其形态和晶体结构进行分析.结果表明:该薄膜是由沿C轴方向生长,呈六角纤锌矿结构的ZnO:Cd纳米棒阵列组成,并研究了薄膜型光学气敏传感器对氢气的光学敏感特性,结果表明:当工作温度为室温时,ZnO:Cd纳米棒薄膜器件对浓度为500×10-6的氢气表现出明显的光学敏感特性,且具有良好的可重复性.