给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果.该传感器采用恒温差工作模式,热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差,省去了测温二极管.风速测量采用热损失型原理,因此不存在速度量程问题;同时通过四周对称分布热堆的相对差分输出得到风向,风向的测试和风速无关.测试电路是由普通运放电路组成的控制和测试系统.经过风洞测试,风速的测量可以达到23m/s,风速分辨率达到1.5 m/s,风速的最大误差为0.5 m/s.传感器的反应时间为3～5秒,整个功率损耗约为500 mW.