HfO2薄膜厚度达到纳米级别时,其光学性质会发生变化.光谱椭偏仪能够同时得到纳米尺度薄膜的厚度和光学常数,但是由于测量参数的关联性,光学常数的结果不准确可靠.本文采用溯源至SI单位的掠入射X射线反射技术对纳米尺度HfO2薄膜厚度进行准确测量,再以该量值为准确薄膜厚度参考值.利用光谱椭偏仪测量HfO2膜厚和光学常数时,参考膜厚量值,从而得到对应相关膜厚的薄膜准确光学参数.研究了以Al2O3作为薄膜缓冲层的名义值厚度分别为2,5,10 nm的超薄HfO2薄膜厚度对光学性质的影响.实验结果表明,随着HfO2薄膜厚度的增加,折射率也逐渐增大,在激光波长632.8 nm下其折射率分别为1.901,2.042,2.121,并且接近于体材料,而消光系数始终为0,表明纳米尺度HfO2薄膜在较宽的光谱范围内具有较好的增透作用,对光没有吸收.