提出了一种新颖的X-Y-θ微动工作台。利用单一压电元件驱动及柔性铰链机构传动获得平面上3个自由度的运动，并与电磁夹紧机构配合实现蠕动式进给,使平面工作台具有高的位移分辨率、大的工作行程和简洁的结构。工作台的核心部件柔性铰链传动机构采用对称设计，有利于运动的导向。通过力学分析，对柔性铰链机构进行了参数选择。测试了工作台的性能，柔性铰链机构刚度的实测值同理论值接近。运动速度大于10μm/s,位移分辨率小于0.1μm。