在自适应光学、空间光通信、激光加工等领域,激光扫描器是其中的一项关键器件.基于压电陶瓷叠堆的传统激光扫描器很难实现较好的线性扫描,为此设计了一种基于迟滞补偿器的压电扫描器.介绍了基于迟滞补偿器的压电扫描器系统组成,分析了压电扫描器中迟滞回线的修正原理及方法.利用经过迟滞补偿后的驱动信号驱动激光扫描器进行扫描,实验结果表明:采用该方法后扫描过程中的迟滞现象得到了很好的抑制,压电扫描器的线性性能得到了明显的改善,20 Hz下三角波扫描非线性度由6％减小至小于1％.该扫描器还具有其他优点:扫描角度范围大、扫描带宽高、尺寸小、结构简单等.