研究MEMS系统中可动构件(膜、梁、梳、面、弹簧)在承受压力、弯曲等机械负荷及热负荷下的性能,重要途经是测量其在各种条件下的运动量(振动、位移等).提出了一种MEMS构件微小振动、位移测量系统,采用外差法激光多普勒技术,通过对信号的频谱分析,确定了信号处理单元的适宜频带宽度.对调相多普勒跟踪信号进行相干解调及频率/电压转换,可以实时地得到被测的速度、位移、加速度、频率等参量.实现的测量分辨力为20 nm.