以相移干涉法测出的点阵波面数据为基础,设计了计量用平面度测试软件FlatEx,包括标准平晶的绝对检验、 研磨面平尺的斜入射测量和子孔径拼接及三个功能算法模块.通过与等倾干涉仪检定过程的比较,从理论上说明从密集点阵数据中提取稀疏点数据的合理方法,以符合规程的要求或约定俗成的做法.程序已经用于处理MatroPro和PhaseOne等多种相移干涉仪数据,提取出符合要求的平面度结果.在相移干涉仪与等倾干涉仪检定结果进行比对实验中,表现出良好的一致性.