研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器.采用了布拉格反射层为反射基底,以掺镁氧化锌作为压电层,利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器.通过优化条件,制备出了具有优良谐振性能的薄膜体声波器件.该谐振器回波损耗可达-20 dB,谐振峰在1.8～2.4 GHz,Q值可达800.利用X射线衍射(XRD)谱研究了MgxZn1-xO压电薄膜的结晶特性,得到了很好的c轴(002)铅锌矿薄膜结构特性.利用3D显微镜观测了固体装配型薄膜体声波谐振器的表面与侧面结构.根据MgxZn1-xO压电层的测量厚度和谐振频率,计算了掺镁氧化锌薄膜体声波谐振器的相位声速值为6 854.1 m/s,比纯氧化锌压电薄膜的声速6 330 m/s略高.