为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度的影响,提高系统性能,采用自适应模糊P ID控制和正交耦合刚度校正法研究硅微阵列陀螺仪的正交误差校正问题.首先,分析了硅微阵列陀螺仪正交误差的产生原因及其对系统性能的影响;其次,阐述了基于静电结构耦合效应的正交耦合刚度校正法的工作原理,设计了校正电极;最后,基于自适应模糊P ID控制设计了正交误差校正系统,根据系统不同的偏差E和偏差率E c实现了P ID参数的自整定.Simulink仿真结果表明基于自适应模糊P ID的正交误差校正系统的动态响应速度是常规P ID的3倍,超调量是常规P ID的十分之一,有效地实现了正交误差校正,提高了系统的自适应性.