光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法.由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露.被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针-试样接近曲线中产生光干涉误差.基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法.实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差.