采用反应磁控溅射法在p型硼掺杂金刚石(BDD)薄膜衬底上制备了非有意掺杂n型氧化锌(ZnO)薄膜.利用XRD、SEM、I-V特性曲线对n-ZnO/p-BDD薄膜复合结构进行表征分析.n-ZnO多晶膜沉积在p-BDD膜上形成了具有良好整流特性的异质结.在空气中对异质结进行退火处理,研究了退火(400 ℃,700 ℃)对异质结性质的影响.实验表明,较高退火温度处理,可获得多取向的ZnO膜,晶粒尺寸增大,n-ZnO/p-BDD异质结开启电压减小.不同温度下的电学性质测量结果证明该异质结适合在高温环境下工作.