分别详细介绍了微型泵、大流量泵和串接双泵的设计原理及方法,给出了不同状态下参数计算的详细步骤,并绘制出系列图和表格直接应用于微型泵、大流量泵及串接双泵设计.另外还讨论了用不锈钢代替钛作为激励膜的处理方案,描述了串接双泵抽液和出液状态,并阐述了串接双泵的提压原理.因为静电泵的上腔高度明显影响泵膜的抽压力,所以本设计的意义在于如何给上腔充压,泵膜将向下鼓起,可防止碰壁短路现象.特别是膜鼓起量比较大的大容量泵.全文阐述的理论和提供的图、表为微型泵、大流量泵和串接双泵的参数设计提供了实际数据,为静电泵设计者提供示例,以作比较参考.