采用一维的等离子体流体力学模型研究了氦气-氧气高气压下电容耦合放电过程.分别给出了间隙为1.6,2.4和3.2 mm时外加电压的有效值与放电电流有效值特征曲线,并与已有的实验数据作对比,结果表明计算得到的电压-电流特征曲线与实验数据符合得很好.研究发现:氦气氧气高气压下电容耦合放电过程中荷质比较大的离子在鞘层中的分布随着外电场的变化而变化,而荷质比较小的粒子在整个放电区域基本不随外电场变化而变化；同时杂质形成正负离子在主等离子体区域两端出现了峰值.