设计了一种行波超声电机的嵌入式微步距控制检测系统,该系统分为三大部分:嵌入式上位机、电机控制器和检测系统.以ARM9微控制器作为主控芯片,将Linux系统和Qtopia图形界面移植到ARM微控制器上,作为整个控制系统的上位机和人机交互的工具;电机控制器使用PSoC芯片,上位机与电机控制器之间用UART进行通信:以基恩士激光位移传感器为核心搭建了微步距检测系统,对整个系统进行了测试.实验结果表明,此系统能实现超声电机精确的微步距控制和检测.