作为太赫兹(THz)相控阵的关键组件，实现实用的 THz移相器是亟待解决的热点难题。本文以太赫兹移相器的实现手段为中心，着重介绍了依靠材料特性的液晶移相器和石墨烯移相器以及借助先进工艺技术的微机电系统(MEMS)移相器和 InP 基底移相器，并从应用角度分析比较了不同实现方法的优势和存在的问题。另外，本文还对 MEMS 技术实现较低频段太赫兹移相器的可行性和发展前景进行了剖析，阐明其制约因素和技术难点。