为有效解决300mm晶圆工厂整合式布局环境下搬运设备所出现的碰撞、拥堵、死锁等问题,提出一种基于事件驱动的派工调度算法.充分考虑搬运系统中各搬运设备之间的相互影响,以搬运完工时间最小为优化目标建立数学模型；将第K短路径算法和时间约束集概念相结合,侦测冲突时间区间,采用回溯搜索的方法依次进行无冲突路径的规划,从而确定最短路径进行高架提升传输小车派工.通过对算法进行仿真分析表明,该算法能有效避免死锁和碰撞,提高系统的效率.