通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用CH4/CHF3源气体制备a-C:F:H薄膜.红外结果表明,a-C:F:H薄膜随着流量比R=[CHF3]/[CHF3]+[CH4])的变化存在结构上的演变,R＜64%时,薄膜主要是以类金刚石(DLC)特征的结构为主;当R＞64%时,薄膜表现为一个类聚四氟乙烯(PTFE)的结构,结构单体主要为-CF2.同时这种结构上的变化影响着薄膜的光学带隙.在类DLC特征结构区,Eg随着流量比的增加而下降,而在类PTFE区,Eg则随着流量比的上升而上升.a-C:F:H薄膜在R＞92%时透射率接近100%.