采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法，在光子晶体反蛋白石结构中引入缺陷，通过溶胶凝胶协同自组装方法在硅片上垂直沉积胶体晶体复合薄膜，把BP212正性光刻胶均匀旋涂在复合薄膜上，通过曝光、显影等光刻工艺，把掩膜版图案复制在复合薄膜上，用此样品再次垂直沉积一层复合薄膜，使图案被复合薄膜覆盖。最后去除胶体微球与光刻胶图案，从而在反蛋白石结构中引入缺陷，用扫描电子显微镜对样品进行表征。分析了光刻胶图案对胶体微球排列的影响。