利用蒙特卡洛方法模拟了微空心阴极放电(MHCD)出射电子的空间以及能量分布,并在此基础上模拟了微空心阴极放电自持的辉光放电中电子的空间分布.模拟表明减小MHCD绝缘层厚度,能有效地改变从微空心阴极放电中出射电子的能量分布,从而提高电子发射效率.对于给定的微空心阴极放电电压,电子的发射存在一个轴向电压阈值;轴向电压的进一步增加,出射的电子数会达到饱和.实验表明以MHCD作为辉光放电电子源是可行的,并且微空心阴极放电自持的辉光放电特性的实验结果和理论模拟是一致的.