为有效解决300mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统OHT路径的潜在死锁问题,提出了基于图论的死锁检测/解除策略.首先对路径的潜在死锁问题进行描述,通过定义链和共享点等概念,建立图论模型,在论证其发生的充要条件后,指出解除潜在死锁的可行方法.然后以任务完成时间最小为优化目标建立数学模型,通过对OHT运行路径上的节点依次进行死锁检测和解除来确定无死锁调度方案.仿真实验表明:该方法能够有效检测和解除OHT运行路径上的潜在死锁,提高晶圆制造系统运行的稳定性和安全性.