简单介绍了ICP(inductively coupled plasma)中的两种刻蚀工艺,阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎刚毛阵列的方法,即利用ICP设备,采用低温(CRYO)工艺,在硅片上制作仿壁虎刚毛硅模版,然后注入有机硅胶成型,经剥离后得到柔性仿壁虎刚毛阵列.实验结果表明,该方法具有工艺实现简便、硅模版可重复使用的优点.场发射扫描电子显微镜SEM照片显示了直径2 μm、间距6 μm和直径5 μm、间距20 μm的柔性仿壁虎刚毛阵列.