φ本文建立了金刚石膜抛光装置的实体模型,运用大型有限元分析软件ANSYS分别对抛光盘在三种不同工况下的振动特性进行分析,得出了相应的固有频率及振型.结果表明:金刚石膜抛光盘由低阶到高阶的振型是遵循一定的规律变化,边界条件对抛光盘模态参数有一定的影响.工作模态与约束模态二者的模态参数基本相同,相对振幅大的区域出现在抛光盘盘体上,且高阶固有频率对金刚石膜抛光盘的振动影响较大.该结论为金刚石膜超高速抛光机的性能评价和实际操作提供了可靠的理论依据.