标定光纤F-P传感器这种微纳米级位移传感器非常困难.分析常用的微位移技术优缺点,这里提出了一种基于弹性变形原理的工作台的设计方法.建立了工作台位移变形的数学模型,对其产生位移的误差进行了理论分析.在此基础上,实际设计并开发了实验系统,用德国heidenhaiyn光栅位移传感器对光纤F-P传感器进行了标定实验.大量的标定实验证明,该微位移工作台的不确定度为0.1μm.
标定 工作台 微位移 光纤F-P传感器