研究一种控制多层介质膜上的光刻胶光栅掩模占宽比(线宽与周期之比)的新方法.该方法基于下面的原理:如果某泄漏模在包层中的隐失尾较强,那么它的等效折射率受光刻胶光栅占宽比变化的影响就大,从而可以利用耦合角度来实时控制光栅占宽比.在光栅制作的显影阶段,采用实时监测技术,根据耦合角度和占宽比之间的关系预设入射光角度,在出现共振反常的时刻停止显影来控制占宽比.实验结果表明,固定适当的入射角度可以得到特定的占宽比;改变入射角度,占宽比按照预计的规律变化,因此定性地验证了这种占宽比控制方法的可行性.文中给出了监控装置和具体的实验方法,并讨论了误差来源和影响.
物理光学 光刻胶光栅 光栅波导 占宽比 实时监控技术