设计了一种谐振梁为双“W”截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率.经仿真对比,相对于“H”形截面的谐振元件,双“W”形截面的谐振元件的压电激励力提高约58％.设计了元件芯片工艺方案,并在直径Φ50 cm的晶片上制作出两种截面形状的谐振元件.测试结果表明,双“W”形截面的谐振元件的品质因数(Q)值和导纳分别由2 387、2 143 ns提高至2 648、2 346 ns,动态阻抗值由548 kΩ降至417 kΩ.
石英 谐振器 凹槽 电场激励效率 动态阻抗 品质因数(Q)