纳流控芯片可以通过控制电极产生的场致效应对生物大分子的运动进行操纵,在痕量生物分子的探测、分离与富集等方面,具有广阔的应用前景.本文依据生物分子操纵芯片的结构和功能,设计并绘制了芯片电极的结构模型;利用ANSOFT软件对芯片控制电极进行静电场分析,并根据模拟结果对芯片电极图案进行了优化;采用磁控溅射方法,结合设计加工的掩模,直接在玻璃纳流控芯片背面沉积了芯片控制电极图案,成功制备了生物分子操纵芯片的控制电极.实验结果表明,采用结构优化分析、借助掩模直接磁控溅射制备玻璃纳流控芯片背电极,缩短设计周期、简化制作工艺,满足芯片控制电极的功能设计需求,是一种简便有效的设计与制备纳流控芯片的方法.
纳流控芯片 场致效应 控制电极 生物分子操纵 磁控溅射