2μm波段激光器在环境探测、测风雷达、生物组织切割、光电对抗等领域都有重要的应用价值和前景。而此波段的薄膜通常采用折射率较高的硫化物、砷化物等软膜材料来制备，为了提升该波段薄膜的损伤性能，采用折射率相对较低但能带隙更宽的氧化物材料来制备。利用傅里叶红外光谱仪和弱吸收测试仪分析表征了薄膜中OH基含量的多少和薄膜整体吸收的大小，通过优化工艺，成功制备出了满足2020 nm的铥(Tm)激光器使用要求的多层介质薄膜。利用微分干涉显微镜观察了经过激光损伤测试薄膜的损伤形貌，结合薄膜中电场分布和应力测试结果，分析探讨了此薄膜的损伤机理，提出进一步优化薄膜损伤特性的方案。
氧化物薄膜 2μm波段 激光损伤