本文从几何和物理特性两方面研究了ZrO2和Sialon陶瓷超精磨制削的表面质量.实验结果表明,金刚石砂轮磨粒尺寸和磨削深度对磨削表面的微观形貌如几何形态和表面纹理具有重要影响.超精密磨削的表面存在着残余应力,但其数值较小,残余应力从表面向材料内部迅速减小.砂轮磨粒尺寸和磨削深度是残余应力的主要影响因素.在ZrO2和Sialon陶瓷超精密加工的表面上亦存在着相变,ZrO2陶瓷的相变将引起表面残余压应力的增加,Sialon陶瓷的相变对表面残余应力的影响很小.采用TEM和XRD对超精密磨削表层结构的研究表明,在加工表层存在着很深的变质层,它由表面的非晶层和相邻的塑性变形层组成,然后逐步过渡到基体组织.
工程陶瓷 超精密磨 表面质量 微观形貌