给出了一种基于开放式气流通道的Z轴微机械射流陀螺的设计和仿真.采用基于流固耦合的三维瞬态有限元分析方法,计算了敏感元件内部气流场.计算结果和测试表明:在压电陶瓷振子振动的一个完整周期内,射流敏感室内维持一个稳定的射流敏感体,为利用哥氏效应制作微机械开放式Z轴射流陀螺奠定了敏感基础;气流在压电泵的驱动下,由2个入口进入并汇聚,在喷口形成速度较大的射流敏感体后从出口流出,在入口和出口之间形成稳定的流动;满足预期响应频率的热线和喷口距离Lz =1.8 mm,满足非线性度最小预期的两个平行热线之间的最佳距离△l =0.7 mm;在静止条件下,热线r1和r2之间的速度梯度βx为零,随着角速度的输入,r1和r2之间的速度梯度βx不再为零,而随着角速度增加而加大;在±120°/s的输入范围内,陀螺灵敏度为SFz=2.Oμv/((°)/s),非线性度优于0.5％,功耗为5.2mW,热线电阻值R =3Ω,热线电阻温度系数TCR =2 600/℃.提出的有限元分析方法为微机械开放式Z轴陀螺的优化设计开辟了有效的研究途径.
角速度 开放式气流通道 射流陀螺 有限元分析 热线