选取Al2 O3、AlF3两种材料,采用双面拆分法在JGS1基底上完成了深紫外波段高反射,近紫外到可见光波段高透射的全介质滤光膜的设计.研究了稳定控制AlF3蒸发速率的制备方法,验证了离子源辅助沉积技术对镀膜材料在紫外波段吸收的影响,建立了膜层厚度与电子束蒸发特性的函数关系,借助软件模拟了误差的影响,并结合工艺技术的改进,有效提高了紫外光的利用率,最终研制的滤光膜在200～270 nm平均反射率为77.96％,在290～700 nm平均透过率为96.29％,满足使用需求.
光学薄膜 滤光膜 拆分法 沉积 紫外探测