复合氟离子敏感电极是用热蒸发的方法在硅基片上制备的．参比电极用热蒸发的银－氯化银薄膜电极，为了提高氯化银薄膜的坚固性和可靠性，又在氯化银表面涂复一层1000 A的含氯离子的有机聚合物薄膜．采用溶胶－凝胶法[1，2]制备二氧化硅对电极引线的焊点和器件的侧、背面进行封装．因此这种电极不仅体积小、可靠性高，而且，由于这些薄膜可以在蒸发台内依次完成，减少了污染，适于大规模生产．
氟离子敏电极银-氯化银电极灵敏度蒸发技术