观测多层膜的结构变化,使我们能够在非平衡条件下,研究材料间相互作用,测量原子扩散速率以及形成化合物的激活能.Cook和Hilliard[1],提出用X射线衍射可测量低至10-27m2·s-1的互扩散系数.以前的测量工作主要集中在晶态和非晶态金属多层膜,而关于非晶态的金属/非金属多层膜中的互扩散行为的研究则报道较少.作为一种有效的X射线反射镜,Co/C多层膜已成功地应用于X射线望远镜.本文研究了在低温退火条件下,溅射沉积Co/C多层膜中的互扩散现象,并讨论有效扩散系数对调制波长的依赖关系.
软X射线多层膜 互扩散系数 临界波长