针对微动平台微位移测量中传统传感器可测自由度单一、成本高等问题,提出了利用计算机显微视觉测量微动平台位移的方法.根据小孔成像原理建立微视觉成像模型,建立图像坐标系与微动平台坐标系之间的雅各比矩阵.将微视觉图像进行二值化、形态学处理,以消除图像中的噪声.最后提取图像中连通域,并通过连通域重心坐标位置变化计算微动平台输出位移.实验证明:所提方法便捷高效,能够在较短时间内获得良好的测量精度,可用于微动平台输出位移测量.
微动平台 微位移测量 显微视觉 连通域重心坐标