3．2．2Auger电子能谱及应用 3．2．2．1Auger电子能谱 当高能电子束或X射线激发样品时，原子内壳层上电子因电离而留下一个空位，由较外层电子向这一能级跃迁使原子释放能量的过程，发射特征X射线；另一种弛豫过程是：A壳层电子电离产生空位，B壳层电子向A壳层的空位跃迁，导致C壳层的电子发射，这就ABC Auger电子发射。
Auger电子能谱 合理使用 材料分析 试验 电子发射 能级跃迁 X射线激发 高能电子束