基于GaAs pin工艺,研制了频率覆盖9.9～ 14.2 GHz的三通道开关滤波器组单片微波集成电路(MMIC)芯片.开关滤波器组由输入/输出pin单刀三掷开关、带通滤波器组和pin开关偏置电路组合而成,集成在面积为4 mm×4 mm的GaAs衬底芯片上.每个支路的pin开关都采用串-并混合结构,控制电压-5 V时开关导通,+5V时开关截止.带通滤波器均采用分布参数梳状线结构,开路端加载金属-绝缘体-金属(MIM)电容减小了滤波器的尺寸.经探针台在片测试,结果表明,开关滤波器组MMIC芯片的三个通道中心插损为3.5～4.0 dB,1 dB相对带宽为16％ ～ 19％,35 dB与1 dB矩形系数比为1.9～2.2.
单刀三掷开关 带通滤波器 开关滤波器组 GaAs pin工艺 耦合系数