研究了AgInSbTe相变薄膜作为一种新的热刻蚀材料的腐蚀特性.采用射频磁控溅射的方法在室温下制备了非晶态AgInSbTe薄膜,经真空加热退火晶化.以氢氧化钠溶液作为腐蚀剂,研究了退火温度、腐蚀剂浓度、腐蚀时间对晶态、非晶态AgInSbTe薄膜腐蚀特性的影响.结果表明:以非晶态形式存在的沉积态AgInSbTe薄膜在0.001 mol/L氢氧化钠溶液中腐蚀速度小于0.04 nm/min,退火晶化后,薄膜的腐蚀速度大幅度提高,晶态和非晶态薄膜的腐蚀选择比随退火温度的升高而增大.当腐蚀时间为20 min时,经300℃真空退火的晶态AgInSbTe薄膜比相应非晶态的腐蚀速度高45倍以上,腐蚀后薄膜表面质量良好(粗糙度＜1 nm,10 μm×10 μm区域).并对AgInSbTe相变薄膜的腐蚀机理进行了讨论.
AgInSbTe相变薄膜 无机热刻蚀材料 腐蚀特性