提出了一种基于静态膨胀法的极小漏率校准方法.该方法通过测量被校漏率离子流上升率及四极质谱计校准系数实现校准.实验发现,10-10 Pa· m3/s量级极小漏率的离子流上升率重复性良好;采用混合气体二级膨胀能有效降低复杂膨胀过程对四极质谱计校准系数重复性引入的测量不确定度.通过对一支10-10 Pa· m3/s真空漏孔的校准实验,证明基于静态膨胀法的极小漏率校准方法有效可行.当进一步减小校准室容积时,该方法能够实现10-13pa·m3/s量级极小漏率的校准.
极小漏率 静态膨胀法 离子流上升率 四极质谱计校准系数