局域表面等离子体共振是一种改善光电探测器性能的有效方法.本文为了提高beta-氧化镓(β-Ga2O3)薄膜金属-半导体-金属(MSM)日盲紫外探测器的性能,提出了在 beta-氧化镓薄膜表面利用快速热退火的方法形成分散的铝纳米粒子(Al-NPs),增强薄膜对光的吸收.运用此方法制备的Al-NPs/β-Ga2O3探测器不仅降低了暗电流,同时也提升了光响应度和探测率.在波长254 nm紫外光照、10 V偏压下,该器件的光响应度达到了2.7 A/W,探测率达到了1.35×1014 cm.Hz1/2.W-1,与β-Ga2O3探测器相比,分别提升了1.5倍和2倍.
局域表面等离子体共振 铝纳米粒子 beta-氧化镓 日盲紫外探测器