为适应轴对称非球面光学元件面形检测的要求,建立了三种不同的检测路径,并对三种路径进行了评价和对比,阐明其优缺点及适用情况,进而建立了一种高精度数据处理系统.采用Gauss-Newton算法进行非线性最小二乘曲线拟合,分别以单调型和超二次型非球面方程为数学模型验证了该曲线拟合算法的精确性.试验结果表明:该算法的拟合误差在1nm数量级,可用于完成高精度的数据曲线拟合.
非球面 数据处理 曲线拟合 最小二乘法