分别选用2 mm 宽的树脂结合剂和金属结合剂金刚石砂轮，以缓进给磨削方式在单晶硅上进行开槽实验，研究砂轮类型、砂轮线速度、工作台进给速度等参数对沟槽加工质量的影响，同时探讨了表面陪片对提高磨削质量的作用。实验结果及分析表明：沟槽磨削质量与磨削参数和砂轮类型有关，与金属结合剂砂轮相比，使用树脂结合剂砂轮进行沟槽加工，单晶硅试样崩边尺寸较小，沟槽侧壁的表面质量较高；表面粘贴陪片后进行沟槽磨削可以显著降低沟槽两侧的崩边，提高磨削精度和效率。
单晶硅 缓进给沟槽磨削 金刚石砂轮 崩边