利用直流磁控溅射法,在O2+H2的气氛下制备了NiOxHy薄膜,研究了不同氢气含量对薄膜的初始沉积态、漂白态和着色态透光性能的影响,含氢量为80%时,薄膜的初始沉积态的平均可见光透射比最高.含氢量为60%时,薄膜的电致变色能力最佳.用获得的NiOxHy薄膜制备的反射型全固态电致变色器件的控光范围可达77%.对NiOxHy薄膜三种状态的红外吸收光谱分析表明,NiOxHy薄膜的变色机理可用:Ni(OH)2(漂白态)＝NiOOH(着色态)+H++e-表示.
NiOxHy薄膜 红外吸收光谱 羟基