准一维纳米材料及其各种结构由于其新颖的物理、化学性质以及在许多领域所展示的潜在重要应用前景已成为当今纳米材料的前沿和热点。半导体纳米线是最近几年来纳米科技、凝聚态物理研究中最热门的课题之一。它具有优越的性能，是构造纳米尺度元器件，如激光器、探测器、场效应晶体管、逻辑电路以及量子计算机等的结构单元。本文以Au膜作为金属催化剂，在n-(111)Si单晶衬底上采用硅烷高温分解的方法由VLS机制制备了大量高密度，直径在20-50nm，长度为数十微米，生长趋向有序的硅纳米线。基于气-液-固（VLS）生长机理，定性阐述了Si纳米线的形成过程。
Au-Si液滴合金 Si纳米线 气-液-固生长 结构表征 器件应用