设计了一种新型金属-多层绝缘介质-金属表面等离子波导结构，利用时域有限差分法对其传输特性进行数值分析。研究了有效折射率和传播长度与中间多层绝缘介质厚度之间的关系，并分析了金属层的角度对该波导结构中场分布的影响。结果表明：当光波从波导结构上方垂直入射时，电磁场被限制在多层介质中的高折射率区，实现了场的耦合传输。多层绝缘介质的厚度均为220 nm 时，正六边形金属层结构对应的波导结构的传输性能较为理想。该结构能够实现亚波长尺度的光限制，可以应用于光电子集成和传感器领域。
等离子波导 多层介质 传输特性 耦合传输 光电子集成