为了在所研制的二级透镜聚焦离子束系统中获得直径小于0.2μm的稳定束斑,并进行亚微米微细加工,分析了影响束斑大小及稳定性的因素,并着重从像差、散焦和漂移的角度,利用理论分析和模拟计算,研究了决定系统光学性能的离子源、离子引出极、预聚焦极、聚焦极所用高压电源及电对中、消像散透镜、偏转器所用低压电源的稳定度对离子束径的影响,得到了束直径小于0.2μm时电源必须达到的稳定度,即高压电源的纹波系数1×10-4～1×10-5,低压电源的纹波系数6×10-4～1×10-4.
聚焦离子束 微细加工 离子光学