近年来，我们致力于将氚b衰变诱发X射线谱分析（BIXS ）方法发展成为一种准确测量含氚薄膜中氚量及分布的常规方法。该方法结合了蒙特卡罗模拟与 Tikhonov正则法，近期已用于一系列氚化钛薄膜样品总氚量、深度分布的分析。增强质子背散射分析（EPBS ）方法作为一种快速、无损的杂质成分含量及深度分布的分析手段，在本文中被用于该系列氚化钛薄膜样品的分析，并与相应的BIXS结果进行了比较，对分析中的有关问题也进行了讨论。
氚分析 BIXS方法 EPBS方法