采用激光拉曼光谱仪和扫描电子显微镜对以C2H2+H2和C2H2+C3H8 +Ar为反应气体,通过直流加热化学气相沉积工艺在SiC纤维表面制备的碳涂层的微观结构及断口形貌进行了研究.结果表明,两种碳涂层的拉曼光谱中1 350,1 400～1 500和1 600 cm-1附近均观察到D,D”和G特征峰的存在.碳涂层具有类似石墨的片层结构,结构中微晶的排列显示出一定的无序性,并含有少量非晶态碳.随着沉积温度的升高,微晶尺寸有所增加,结构中的均匀性和有序度也得到改善.断口观察发现,采用C2H2+H2制备的碳涂层平整、致密;而由C2H2+C3H8+Ar得到的碳涂层呈曲折的层片状.分析表明,这主要与结构中的有序度和均匀性有关.
化学气相沉积 碳涂层 拉曼光谱 微观结构