针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105 ～ 10-7 Pa的现场真空计校准装置.装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2 ～ 10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题.本现场真空校准装置设计的校准范围为105～10-7 pa,外形尺寸不超过500mm×500mm ×600mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点.
真空计 现场校准 便携式 校准范围