大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制,在生物医学、电子工业、国防等领域有非常广阔的应用前景.为了拓展等离子体形成气体的种类,降低该技术的应用成本,对大气压下纯氮射频放电进行了研究.实验中采用13.56 MHz射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电,并比较了纯氦、纯氮和氦-氮混合气体条件下的放电特性.实验结果表明,大气压条件下,纯氦辉光放电具有两个稳定的放电模式(a模式和r模式),而纯氮目前则只能稳定地工作在r放电模式.
等离子体物理 大气压辉光放电 射频 放电模式