频闪白光干涉技术(SWLI)能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统(MEMS)或微光机电系统(MOEMS)等振动样品测量中具有很高的实用性.传统频闪方法不能预先检测或分析具有单个振动激励源的微结构,而频闪白光干涉技术则解决了这一问题.为全面了解这一新开发的技术,本文从理论、 技术方法和该技术各种应用的实验结果及分析进行了介绍.该技术为MEMS,MOEMS甚至微纳尺度生物体动态性能的重建和分析提供了一种有效的方法.实验结果和分析证明了频闪白光干涉技术在实际应用中具有良好的可行性和准确性.
白光干涉法 动态测量 频闪白光干涉法(SWLI) 微机电系统(MEMS) 微光机电系统(MOEMS)