为了提高用作红外探测器敏感材料的镍膜的性能,采用直流磁控溅射的方法在载玻片上制备测辐射热计的热敏感薄膜-镍膜,靶材选用高纯镍(99.99％).采用四探针电阻特性测试仪测试了所制备的镍热敏薄膜在不同温度下的方块电阻,根据测试曲线计算薄膜的电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance,TCR).研究了工作气压、氢气流量以及溅射功率对镍膜TCR的影响.实验研究表明,当溅射功率为225 W,工作气压为1 Pa,氢气流量为120 sccm,溅射时间为3 min时,制备出的镍膜方阻为2.9 Ω/□,TCR为2.3×10-3/K.
镍膜 直流磁控溅射 工艺参数 电阻温度系数(TCR)