石英坩埚，是拉制单晶硅和生产多晶硅铸锭的必要容器。石英坩埚制成后需使用金刚石端面铣轮对其底面进行打磨，目前进口的金刚石端面铣轮使用效果较好，但是价格昂贵，而国内生产的金刚石端面铣轮虽然价格相对便宜，但是质量不高，加工性能不稳定。我公司开发了一种新型生产工艺并制备了金刚石端面铣轮，且进行了金刚石端面铣轮对比打磨石英坩埚试验。结果表明：与采用常规生产工艺制备的金刚石端面铣轮相比，采用新型生产工艺制备的金刚石端面铣轮其使用寿命平均提高45%，且在打磨石英坩埚过程中加工效率比较稳定。
金刚石端面铣轮 新型工艺 使用寿命 石英坩埚