采用碳化硼(粒度尺寸61 μm)作为磨料配制的研磨液对蓝宝石表面进行粗磨,并研究其工艺.通过单因素实验,选用不同悬浮液、不同研磨压力、不同质量分数碳化硼进行实验.结果表明:当碳化硼磨料质量分数为20%,悬浮液为CM-F系列,研磨液流量250 mL/min,研磨盘转速80 r/min,研磨时间30 min,研磨压力2.8×104 Pa时,研磨效果好,材料去除率可达2.47 μm/min,表面无肉眼可见划痕,在OLYMPUS-MX50下观察,晶片表面无明显划伤.
悬浮液 碳化硼 蓝宝石晶片 材料去除率