为了获得高丰度的 28Si 同位素,生产高纯度的单晶硅,利用气体离心机对硅同位素进行离心分离.通过对SiHCl3中组成元素的不同同位素丰度的分析,计算了天然SiHCl3中不同相对分子质量的分子组成.分析结果表明: 虽然氯有两种同位素,但也可以将SiHCl3作为分离 28Si 同位素的工作介质.通过4台离心级联的分离实验,得到了 28Si 丰度达到99%的SiHCl3样品.离心分离得到的高丰度SiHCl3不用经过化学转化就可以直接用于单晶硅的生产.实验结果表明,采用离心法分离SiHCl3可以得到高丰度 28Si.
SiHCl3 离心分离 硅同位素