液压油中混有的水滴和气泡会加速油液的氧化变质,导致液压系统出现故障.为此设计了一种基于柱形极板电容器的电容式微流控油液检测传感器,并在所搭建的检测系统上进行了相关实验.实验结果表明,随着激励电压幅值在0.5～2 V区间递增,所测得的信号幅值以及信号本底噪声都逐渐降低,经计算发现激励电压幅值为2V时的检测信号具有更高的信噪比,因此选用2V的激励电压幅值可以提高传感器检测精度.该传感器在实验室中有效实现了液压油中50μm水滴和110μm气泡的区分检测.该研究对液压油中的水和气泡的快速检测提供了技术支持.
微流控传感器 柱形极板电容器 激励电压幅值 检测精度 水滴 气泡