采用流延法使用无定型纳米 SiO2原料粉制备 SiO2压电陶瓷，XRD和 SEM结果表明，烧结温度为850℃和950℃时未发生晶化反应，当烧结温度为1050℃时生成α-方石英，晶粒尺寸随烧结温度的升高而长大，不同烧结温度下压电常数分别为1．1 pC/N，1．2 pC/N和1．4 pC/N，烧结温度越高介电常数越大，机械品质因数越大，而介电损耗与烧结温度无关。
氧化硅 压电陶瓷 纳米粉 流延成型 低温烧结