对近年来硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的几种微传声器进行了论述,对其优缺点进行分析和研究表明:这些传统的传声器主要起声电转换的作用,对噪声信号的滤波处理是由专用滤波电路完成,或者用数字滤波进行处理.为此提出了一种硅微阵列滤波器传声器,在转换信号的同时实现滤波.讨论了阻尼和硅簧片根数对动态特性的影响,并由此得出:阻尼的增加会降低传声器的灵敏度,簧片根数的增加可以改善灵敏度曲线.而且在获取噪声信号的同时能够实现滤波.
微机械 传声器 滤波器