单微粒铀同位素分析是核保障环境监测技术的重要手段。作为现阶段应用最可靠且广泛的微粒分析技术之一，裂变径迹‐热电离质谱（FT‐TIMS）技术需依赖反应堆辐照，分析步骤繁琐，效率较低。扫描电子显微镜结合热电离质谱（SEM‐TIMS）在保持原有 TIMS的高测量精密度的同时，由扫描电子显微镜结合X射线能量色散谱仪（SEM‐EDX）完成含铀微粒的寻找和鉴别，由微操作系统进行微粒转移，缩短了分析流程，提高了分析效率。本文应用建立的SEM‐TIMS分析方法对已知同位素组成的单分散铀氧化物标准微粒进行了测量，测量结果与其标称值一致。
含铀微粒 SEM 热电离质谱 微操作 同位素分析