讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差,进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果.在Zygo Maxim 3D 5700表面轮廓仪上使用2.5×和20×Mirau物镜测量rms在0.3nm左右的超光滑硅片,通过对每个取样区域数据16次相位平均,再对多个取样区域高度数据平均,消除了仪器的系统误差,使超光滑光学表面粗糙度得到精确测量.并使用其它光学轮廓仪对样品做了验证测量.作为比较,在同样条件下测量了0.8nm左右的光滑硅片.
光学轮廓仪 超光滑 表面粗糙度