纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14 ～ 16 μm波段范围内有效应用已经得到证明.通过调节沉积在LT(钽酸锂)晶体材料上的纳米级镍铬(NiCr)薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性,通过调节晶体材料的厚度,改变抗反射腔的深度,从而调节吸收波长.为进一步加强红外吸收,应用化学腐蚀,生成粗糙的纳米级薄膜表面结构,从而极大程度上增加吸收表面积.通过将这两种方法结合,可以明显增强指定波段的红外吸收,且其制造过程完全兼容,易于实现,可控的吸收性能的实验结果与仿真和设计情况相符合.
NiCr 热释电探测器 纳米金属薄膜 化学腐蚀 红外吸收