传统机加工方法难以保证微/纳尺度结构模芯的加工精度,精密电铸法操作简单、生产成本低、成型精度高,已成为微/纳结构模芯重要的加工方法.设计了一套用于微结构模芯电铸系统,系统具有的特点:模块化设计,简单修改可适用多种模芯尺寸的加工;采用真空唇装夹阴极,密封好防止漏液;添加了PH、水位传感器,可有效实现PH及水位控制.最后以微流控芯片为例,得到了微结构复制质量高、表面平整的型芯.
微电铸 微结构型芯 模块化设计 真空装夹