基于漂移扩散近似,在轴对称假设下,对电子回旋共振等离子体源腔室内的等离子体建立了二维流体模型.采用有限差分法对所建立的模型进行了自洽数值模拟,得到了等离子体密度均匀性随时间演化的数值结果.通过对数值结果的分析,研究了背景气体压强、微波功率和磁场线圈电流对等离子体密度均匀性的影响.研究表明,在电离初期,电子密度的均匀性好于离子密度的均匀性.在电离后期,离子密度的均匀性好于电子密度的均匀性.随着背景气体压强的增大,电子密度和离子密度的均匀性都在增加,且离子密度的均匀性增加的更快.随着微波功率的增大,电子密度和离子密度的均匀性几乎以相同的速率在增加.随着磁场线圈电流的增大,电子密度和离子密度的均匀性几乎以相同的速率在增加.但是,当磁场线圈电流足够大以后,电子密度和离子密度的均匀性几乎以相同的速率在减小.
等离子体密度均匀性 背景气体压强 微波功率 磁场线圈电流