通过大量数据分析电磁场对等离子体源性能的影响，采用ANSYS有限元分析软件对等离子体源的静态电磁场进行模拟分析，应用SIM ION静电透镜模拟软件对等离子体源进行粒子运动轨迹仿真验证和改进，最终得出结论管形结构的空心阴极等离子源结构简单，所得粒子运动轨迹较为均匀，但是粒子出射效率较低。平行结构空心阴极的等离子体源，结构新颖，选用边部向上弯曲的平行圆盘，并在上部放置一个永磁铁，此结构不但能够使得电子从四周逸出而且效率和速度也得到极大提高。
等离子体源 离子束辅助沉积 电磁场 数值模拟