许多生物复眼表面具有大视场、高时间分辨率、高反射率以及超疏水、防雾等优异性能，工程应用潜力巨大。仿生学研究表明，复眼表面微观结构对其特定功能的实现具有关键作用。本文利用三光束激光干涉光刻技术在单晶硅基底表面制备了仿腹色蜉复眼表面微结构，并讨论了激光能量及曝光时间对加工表面形貌的影响，从而获得了20μm特征尺寸下最优激光加工工艺参数为激光能量为40 mJ，曝光时间为15 s为最优试验条件。
表面仿生 复眼结构 激光干涉光刻技术 微纳米加工