采用脉冲激光沉积(PLD)法在Pt/Ti/SiO_2/Si(001)基片上制备了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜,对Pt/BST/Pt电容器在空气中进行400 ℃快速退火(RTA)处理,研究了快速退火对Pt/BST/Pt电容器的结构和性能的影响.结果表明:快速退火虽然对BST薄膜的结晶质量影响较小,但却极大改善了Pt/BST/Pt电容器的电学性能.当测试频率为100 kHz、直流偏压为0 V时,介电损耗从快速退火前的0.07减小到0.03,介电常数和调谐率略有增加.快速退火后负向漏电流过大现象得到了明显抑制,正负向漏电流趋于对称,在300×10~3 V/cm电场强度下,漏电流密度为4.83×10~(-5) A/cm~2.
BST薄膜 快速退火 Pt/BST界面层 氧空位 脉冲激光沉积