根据薄膜的偏振效应，运用Essential Macleod光学薄膜设计软件，完成 DVD棱镜中消偏振二向色膜的设计，并采用光控法精确控制膜层厚度，制备出了满足客户要求的消偏振分光棱镜。残余应力大的薄膜容易产生脱膜现象，使得薄膜失去所需功能。为了消除薄膜应力，从膜料之间应力匹配关系及制备工艺2个方面，提出了控制薄膜应力的设计思想，并对其影响进行了讨论，利用镀膜前后光圈变化来反映膜层应力的大小。制备过程中，通过设计制作可调工装来改变镀膜有效孔径，通过调节标准块来满足非常严格的镀膜有效孔径要求。本文给出了该棱镜的消偏振膜系的设计和试验结果。
消偏振膜 薄膜应力 可调工装