采用不同Al含量的AlCr合金靶,在高速钢(M2)上通过直流反应磁控溅射的方式沉积不同的CrAlN涂层；分别用EDS、XRD、纳米压痕仪、高速往复摩擦磨损试验机和台阶仪测量出涂层的化学成分、物相组成、力学性能、磨损性能和磨损量,研究了不同Al含量对CrAlN涂层微观结构和力学性能的影响.XRD分析表明涂层主要为NaCl结构,纳米压痕仪测得力学性能随Al含量的提升先提高后降低,在Al含量为60％时获得最高硬度和弹性模量分别为36.8 GPa和459.5 G Pa和最佳的磨损 性能.磨损机制为磨料磨损和微动磨损.
磁控溅射 CrAlN涂层 Al含量 力学性能 磨损机制