细线路的制作是一个系统工程.本文讨论的是LDI曝光机解析度对细线路制作的影响:从LDI图形成像原理看,曝光机的解析度越小越利于细线路制作;从实验结果看,曝光机解析度越小,蚀刻后无论是线宽还是线距,差距会越小.对于线宽/线距为40μm/40μm线路而言,LDI曝光机解析度相差1μm时(解析度分别为2μm与1μm),蚀刻后相邻线距差4μm有10％的差别,而相邻线距差3μm的有6.52％的差别.
细线路制作 激光直接成像曝光机 解析度 掩膜工艺