采用锗材料研制出了工作在1.55μm波长的全离子注入光电晶体管.选用(120keV,2.5×1012cm-2)+(260keV,5×1012cm-2)的硼注入和160keV,5×1014cm-2磷注入,650℃15s快速退火;采用聚酰亚胺作为钝化膜以及台面结构.NPNGe光电三极管的hFE＝40～180.在波长为1.55μm、功率为0.7μW的光照下得到了40A*W-1的响应度.
锗 光电探测器 离子注入