采用溶胶-凝胶法在LaNiO3/Si(100)底电极上成功制备了厚度为1μm的Pb0.88La0.08(ZrxTi1–x)O3（PLZT， x=0.30，0.55，0.80）铁电厚膜。研究了不同Zr/Ti比对PLZT铁电厚膜的介电与储能性能的影响。结果表明，随着PLZT中Zr含量的增加，厚膜材料的储能密度与储能效率均增大，Pb 0.88 La 0.08(Zr 0.8 Ti 0.2)O 3厚膜在1400×103 V/cm的储能密度为23.8 J/cm3，储能效率为60%。
PLZT 溶胶-凝胶法 储能性能 介电性能 储能效率 储能密度