研究单晶金刚石的微观机械性能，可为金刚石工具的研磨和使用性能评价提供技术依据。提出以纳米压入技术研究单晶金刚石微观尺度机械性能，分析了纳米压入技术的主要原理及其技术特点，进行了纳米压入测量实验并分析了各种因素的影响。研究表明：采用10 mN 的 ADO 载荷和小于10 mN 的最大压入载荷对单晶金刚石{100}晶面进行纳米压入测量，可显著减小甚至避免金刚石压头的变形和损伤，获得有效的压入曲线及数据；但在多次测量后会出现金刚石压头的累积钝化。基于测量过程和结果的分析，提出了提高测量有效性的方法。
单晶金刚石 微观性能 纳米压入 载荷 压头钝化