基于压电陶瓷驱动器的非球面变形抛光盘,能在驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工.一个口径ф100 mm、含19个驱动器的非球面变形抛光盘已试制完毕,用于一个口径ф350 mm、非球面系数k=-1.112 155、顶点半径R=840 mm双曲面镜的加工实验.为研究基于压电陶瓷驱动器的非球面变形抛光盘输出面形的精度,计算当非球面变形抛光盘中心到非球面工件中心距离L分别为90 mm、100 mm、110 mm、120 mm和130 mm时,非球面变形抛光盘所需变形量;并利用有限元分析法仿真计算得到,非球面变形抛光盘输出面形的剩余残差(RMS)相应分别为0.298 μm、0.279 μm、0.279μm、0.329 μm、0.447μm.结果表明,变形抛光盘能以较高精度产生非球面面形,可用于非球面镜加工.
非球面镜 非球面变形抛光盘 变形 有限元分析