微小扭矩校准技术在精密控制、航天等领域具有十分重要的意义,目前电磁力矩器用于等臂法产生扭矩的校准技术,在精度、稳定、微型化等方面仍具有一定的挑战性.文章研制了一种用于高精度动态微小扭矩校准的电磁力矩器,用于微小精密等臂法专用微小扭矩校准系统.首先,采用音圈电机、挠性支承、等臂梁构造了力矩器.然后,基于有限元分析进行了气隙磁场的设计,优化了音圈绕组参数.最后进行了扭矩加载测试,利用砝码进行了力矩标定,电磁力矩器的扭矩载荷范围为5μN·m～500 μN·m,噪声当量力矩为0.2μN?m(-28dB),满足校准需求.
电磁力矩器 微小扭矩校准 精密等臂法 标定