声表面波(SAW)器件可实现无源无线传感测量,为金属狭缝极端环境下接触应力的测量提供了解决思路.该文主要研究了狭缝中SAW器件的信号传输问题,选用微带线作为信号传输线.分析了金属狭缝对微带线传输性能的影响,设计出信号传输线及匹配电路.最后把设计出的微带线与谐振器键合连接,并进行实验测试.通过对金属狭缝中信号传输问题的研究,验证了狭缝等极端环境实施应力测量的可行性.
金属狭缝 SAW 微带线 阻抗匹配 键合连接