制备了金属半导体金属(MSM)结构的AlGaN/GaN异质结紫外探测器,探测器采用Ni/Au金属作为电极.实验研究了探测器的光电响应特性和I-V特性.此探测器具有两个光谱响应范围,光谱响应的峰值响应率分别为288 nm处0.717 A/W和366 nm处0.641 A/W,峰值处的量子效率分别为288 nm处308％和366 nm处217％.
探测器 紫外 AlGaN/GaN 金属-半导体-金属 光电探测器