在研究功率肖特基整流管的基础上,为提高反向击穿电压、漏电流、抗浪涌能力,采用加场限环的方法,设计并制造了10 A./300 V结势垒肖特基整流管(JBS).从有源区参数、外延材料、流片工艺、产品电参数、可靠性等方面进行了全面设计.经测试,电参数水平正向电压VF为0.85～0.856 V,反向电流IR为4～50.5μ,A,反向电压VR为307.5-465.2 V,抗静电水平从低温退火的6-12 kV提高到15 kV,经高温直流老化后,可靠性电参数水平满足预期的设计要求.
反向击穿电压 场限环 外延材料 流片工艺