采用一种新的半解析法,对电子光学中3种不同形状电极产生的四极场进行分析计算.半解析法中极点的确定方法简单有效,可以结合电极的形状填充等效源,并且极点位置确定极为精确.在四极场的计算中.该方法具有表达式简单,求解变量少,而且计算精度和效率高的优点.对凸圆柱电极、内凹圆柱电极以及平板电极产生的四极场进行了求解,并将计算结果进行了比较,应用半解析法在计算凸圆柱电极产生的四极场具有更为明显的优势,精度可达0.001%.由于半解析法可得出标量电位函数的解析级数表达式,因此,场强的计算更加简便,同时也更容易保证场强的计算精度,这也有利于四极场的设计和优化.
电子光学 四极场 半解析法 极点 电位