为实现惯性约束聚变靶用空心玻璃微球直径、壁厚的可控,采用等离子体辉光放电聚合技术,以四甲基硅烷为掺杂气源,对化学气相沉积-氧化烧结法制备空心玻璃微球(HGM)这一制备方法进行了探索.实验结果表明:制备直径为400～600μm、壁厚为5～15 μm的HGM,原子分数为5％是一个较合适的掺硅量,成功将微球直径和壁厚的收缩量控制在38％左右;玻璃化后样品中C含量明显降低,主要以C-Si键合形式存在,而Si含量相对增加,主要以Si-O键合形式存在;预充1.23×106 Pa氘气的微球,96 h后球内剩余气压依然高达72.95％.
化学气相沉积-氧化烧结法 空心玻璃微球 掺硅浓度 惯性约束聚变