纳米尺度线宽的测量广泛应用于半导体制造、数据存储、微机电系统等领域.随着制造技术的进步,线宽的极限尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100 nm左右.在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,目前很难得到准确的测量结果.为了获得样本的真实几何尺寸信息,剔除测量方法和仪器本身对测量结果的影响,建立了一个基于AFM测量技术的线宽计量模型和相应算法.该模型将被测样本的截面轮廓用20个
纳米计量 线宽 计量模型 算法 原子力显微镜