电学性能测试是微纳米材料物性研究的重要组成部分，测试电极的制备是其中一个难点。光学光刻、电子束曝光或聚焦离子束加工是三种不同的电极制备技术。每种技术都有自己的特点，采用何种技术取决于微纳米材料的尺寸、形态及测试目的等诸多因素。此外，选择适当的制样方法对后续的电学性能测试也很关键。本文以一台配备了电子束曝光功能附件的聚焦离子束( FIB)/扫描电子显微镜( SEM)双束系统为工具，结合光学光刻等其它加工技术，详细介绍了其针对不同类型微纳米材料进行电极制备的过程和方法。
聚焦离子束 双束系统 微纳米材料 电学性能 电极制备 电子束曝光