采用溶胶-凝胶技术,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了沿(100)晶向强烈取向的Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3铁电薄膜.通过X-ray衍射分析,在每层膜的制备工序中,增加600 ℃热处理15 min的工艺,可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开裂,并促进薄膜沿(100)晶向外延生长.制得的薄膜经600 ℃退火4 h后,呈完全钙钛矿相,并沿(100)晶向强烈取向.原子力显微照片表明,薄膜结构致密,晶粒尺寸约为100 nm.经测量,薄膜的相对介电常数高达1 150,剩余极化为26 μc/cm2,矫顽场强为49 kV/cm.
溶胶-凝胶法 Pb(Zr0.53 Ti0.47)O3 铁电薄膜 微机电系统