研制了一种双足型直线超声电机;对其驱动机理进行了探讨,对定子表面质点椭圆运动的形成进行了分析;对定子进行了频率响应实验,分析了振子驱动足的运动干扰性.分别测定了电机的频率-速度关系、电压-速度关系、相位-速度关系.实验结果表明,双足型直线超声电机对制作工艺敏感系数小,易激发出有用模态,正反两向运动灵活,工作状态稳定,速度基本与输入电压成正比,可采用调压调速.
直线型超声电机 面内振动 驱动振子 压电陶瓷