为有效解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的高空穿梭车路径冲突问题,提出基于滚动时域的高空穿梭车避碰调度策略.对问题域进行了描述,论证了冲突发生的充要条件,指出了搜索可行候选路径的途径;以任务完成时间最小为优化目标建立数学模型,通过对最短路径依次进行空间和时间冲突侦测,针对预测的碰撞,采用耗时较短的避碰策略,从而确定时域内无冲突路径的调度方案,并在时域内进行基于事件驱动的再调度.仿真实验表明,该算法能有效实现物料搬运中高空穿梭车路径冲突的检测和避碰,提高晶圆制造系统运行的安全性和稳定性.
滚动时域 动态调度 自动物料搬运系统 路径冲突 晶园制造