柱式平板声子晶体结构有利于实现质量加载和液相检测,该文提出并制备一种柱式平板声子晶体点缺陷.采用有限元法进行禁带计算分析,仿真出该声子晶体点缺陷模式的振型.采用微机电系统(MEMS)工艺制备出硅基AlN声波传感器,通过电极构型的模式选择对选定点缺陷模式的性能进行了测试分析.结果表明,通过合理设计激励电极可获得较高频率声子晶体点缺陷模式.实验中选择激发的模式频率为7.732 MHz,其对应空气中品质因数Q=700,这为实现液相检测提供了理论基础和实验依据.
声子晶体 柱式平板 点缺陷 选择性激励 工艺加工