获取高精度断层面形貌对微观断层面形貌与地震成核、破裂扩展及终止的相关性研究具有重要意义.为了提高断层面形貌的测量精度、克服现有测量方法的不足,我们研发了一套具有自主知识产权的 μm级形貌测量系统.经过测试,该新型μm级形貌测量系统具有以下特征:1)其平面定位(x轴与y轴方向)精度优于3.5μm,垂向测量精度优于4.5μm,水平分辨率可达0.62μm,垂向分辨率为0.25μm;2)该系统在垂向发射激光束,可测量形貌面中大倾角的凹谷区域,避免产生数据空白,可获得完整的形貌测量结果,具有较强的陡峭表面测量能力;3)该系统具有较大的测量量程(30cm×30cm),测量大尺度样品时,可避免多次测量数据的配准拼接以及由此带来的误差.运用该形貌测量系统,可对实验断层面进行扫描并获得高分辨率的形貌数据,能够满足 μm级尺度上的形貌分析要求.
形貌测量系统 断层面 精度分析