常压辉光放电(APGD)是具有较高电子能量的非平衡等离子体,比低压辉光放电更易于实现工业化应用.比较了几种获得常压辉光放电的实验方案,基于对常压辉光放电等离子体基本物化特性的深入了解,探讨了各种等离子体气氛对于绝缘介质薄膜电气及化学特性的作用(比如憎水性、表面位能等),并将之用于绝缘介质薄膜的表面处理中,对于薄膜性质的改善起到了较好的作用,对常压辉光放电等离子体的应用作了有益的尝试.
常压辉光放电 等离子体 表面处理