为进一步提高孕镶金刚石颗粒的硬质合金基底上金刚石涂层的质量,提出了"预固晶"预处理新方法,即对基底附着钛粉后引晶,并通过微波进行预结合处理.借助SEM电镜、拉曼光谱分析、压痕试验等对比该方法与常规方法所制备的金刚石涂层质量及其结合性能.结果表明:预固晶预处理后,低温下金刚石形核密度较常规预处理的提高约1.5倍,涂层的均匀性和平整性明显提高;借助拉曼光谱分析可见,金刚石纯度指标及结晶度指标改善约30％,涂层内应力降低一半以上;压痕对比试验证明其结合强度得到了一定程度改善.
化学气相沉积 预固晶 扫描电子显微镜 拉曼光谱 结合强度