飞行器以高超声速飞行时瞬间温升可达1600℃以上,为了保证飞行器的可靠和运行安全,准确实时测量热防护系统表面温度显得尤为重要.针对高温环境实时测温的技术难题,结合磁控溅射技术和陶瓷烧结技术,提出了一种弓线和传感器基底一体化的微小型高温薄膜温度传感器结构.采用高温检定炉对传感器陶瓷基底的高温绝缘性进行了测试,并使用多种微观形貌表征方法对传感器主要结构材料进行筛选,得到薄膜温度传感器制备所需的最佳材料组合.进行了薄膜温度传感器静态标定和综合性能高温考核试验,结果表明,所研制传感器灵敏度、重复性的变化与标准热电偶基本保持一致,在实际环境温度低于1500℃时,传感器测量误差不超过4‰,可在1200℃高温环境中连续准确测温6小时以上,且测温上限高达1800℃,验证了该传感器在高温环境中进行测温的可行性和实用性,为航天器表面温度测量和热防护系统优化提供科学依据.
薄膜热电偶 温度传感器 磁控溅射 陶瓷烧结 静态标定 高温考核