目的 探索提高RF激励全金属波导CO2激光器性能的新型结构.方法 波导管采取N型结构,并利用铝合金静近成型技术和数控加工技术加工激光腔体.结果 对长度为380 mm的新型器件进行了实验研究,获得了波长为10.6 μm,功率大于38W的基模激光输出,其稳定性小于±3%/h,光电转换效率为12.7%.结论 该新型结构有利于提高RF激励全金属波导CO2激光器的性能,并且主体精度高,表面光洁度好,结构尺寸一致,便于产品化生产.
RF激励 N型折叠结构 波导CO2激光器 内循环水冷系统