超薄光学的制作过程是非常复杂的,如果受到重力、磨头应力等因素的影响,往往会出现形变,因此,保障超薄光学元件的精密性是非常重要的.针对超薄光学元件精密加工的课题,多年来众多学者参与其中,以因此应运而生的一些能够有效控制面形形变的加工法,这些方法利用离子束修形、精密抛光,不仅可以大大保障元件正面形的高精准,而且能够达到提高加工效率的目的.文章就以此为内容,对其具体的加工技术进行分析.
超薄光学元件 精密性 关键技术 综合加工