用Pt100薄膜电阻代替金属铂电阻可提高HMP45D温度传感器的精度和响应速度,但面临稳定性下降的问题.我们采用溶胶-凝胶方法在Pt100薄膜电阻表面生成TiO2保护膜,研究表明,非晶态TiO2保护膜具有良好的光催化活性,镀了TiO2保护膜的Pt100电阻可获得逼近Callendar-Van Dusen方程的电阻-温度特性,其温度系数在使用180天后仍能保持原来的97.79％.因此,非晶态TiO2保护膜在提高Pt100薄膜电阻工作稳定性和使用耐久性方面具有很高的应用价值.
Pt100电阻 TiO2薄膜 光催化 溶胶-凝胶