CVD金刚石涂层刀具一直是国内外研究的热点,目前对于含钴量6％的硬质合金涂层刀具研究较多.使用硫酸铜溶液处理含钴量10％的高钴硬质合金刀片,在超声振动条件下置换出其表面的钴,并采用热丝CVD法沉积金刚石薄膜.研究了硫酸铜溶液浓度对硬质合金表面形貌的影响,优选出适合浓度的硫酸铜溶液并优化预处理工艺,利用SEM,XRD,Raman等手段表征薄膜品质.结果表明,置换出的金属铜层降低了钴对金刚石生长的影响,提高了形核密度以及金刚石膜的生长速率,金刚石纯度较高.
硫酸铜溶液 硬质合金 置换去钴 超声振动 金刚石薄膜