设计制作了同一晶片上的集成三电极的谐振器.研究了这种谐振器的力敏特性与加力方位、电极材料的关系.并对电极材料分别为Au、Al的谐振器进行了比较实验.结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关,加力方位与x轴夹角ψ为0°时,力敏系数最大;电极材料通过对石英晶体谐振器有效机电耦合系数的影响,进而影响谐振器的力-频特性.集成式谐振器在相同加力方位时,镀Au电极比Al电极的力敏系数最大可高出189.8 Hz/N.
集成式谐振器 力敏特性 电极材料