工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要.为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在中轴线方向上建立多元线性回归模型.结果表明:当进气量、温度越大,流速越大.当压强、间距越大,流速越小.四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强(p)＞进气量(Q)＞温度(T)＞间距(G).
真空腔室 激光多普勒测速仪 流速 多因素 回归分析