绝缘栅双极型晶体管(IGBT)功率半导体模块可靠性是生产应用中关注的重点.IGBT功率模块封装过程中,金属底板对模块的可靠性至关重要.在真空回流焊工艺环节过程中金属底板承受热应力产生翘曲,因此铜底板需要在封装前预弯形成向上的弧形.铜底板同时是功率模块的主要散热通道,绝缘衬底与金属底板之间的焊接层质量以及该焊接层的空洞率对IGBT模块工作性能和长期可靠性具有直接影响.通过实验研究同时考虑金属底板弧度和焊层空洞率下的焊接工艺,为国产IGBT封装技术提供了可靠的参考.
绝缘栅双极型晶体管 弧度 空洞率 可靠性