采用射频磁控溅射法在蓝宝石基片上制备了Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7 (BZN)/Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST)双层复合薄膜,并研究了该薄膜在100 kHz～6 GHz频率范围内的介电性能.研究结果表明,BZN/BST复合薄膜的介电性能具有良好的频率稳定性.该复合薄膜的介电常数在研究的频率范围内基本与频率无关;其介电损耗在频率低于1 GHz时与频率无关,在频率高于1 GHz时随频率的上升而略微增大；薄膜在研究的频率范围内具有稳定的介电调谐率.
频率特性 介电调谐 介电损耗 介电常数 铌酸锌铋(BZN) 钛酸锶钡(BST)