采用化学镀的方法解决电真空器件封接中的石英玻璃表面金属化问题.利用金相显微分析、XRD、SEM和EDS等分析手段,系统研究了化学镀前处理工艺和镀液成分、pH值以及温度、施镀时间等工艺参数对镀速和镀层质量的影响规律.结果表明:较好的石英玻璃镀前处理工艺流程为:清洗→除油→粗化→热处理→敏化→活化→热处理.施镀工艺中,对化学镀镀速影响大小的顺序依次为:温度、镍磷比、柠檬酸钠浓度、pH值,且各因素对镀速影响规律不同.推荐较好的施镀工艺为:28g/L硫酸镍,26g/L次亚磷酸钠,30g/L柠檬酸钠,15g/L乙酸钠,0.001g/L PbCl2,温度为70℃,pH值为5.0.
石英玻璃 化学镀 镍磷合金 金属化