用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上制备了一组不同衬底温度的Mn掺杂ZnO薄膜.质子激发X射线荧光(PIXE)测量表明,薄膜中仅有含量为5 at.％的Mn,未见其它磁性杂质元素(如Fe、Co、Ni等).同步辐射X射线衍射(SR-XRD)表明,这些Mn掺杂ZnO薄膜具有纤锌矿ZnO结构.SR-XRD和扩展X射线吸收精细结构谱(EXAFS)分析显示,薄膜中未发现Mn团簇或MnO、MnO2、Mn2O3、Mn3O4等二次相,Mn原子是通过替代Zn原子而进入了ZnO晶格.
同步辐射X射线衍射 扩展X射线吸收精细结构谱 Mn掺杂ZnO薄膜 微观结构