本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器.微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用,本设计中采用了矩形压缩波导结构.首先运用Ansoft HFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算,得到不同矩形压缩波导腔体内的电场分布,从而对腔体进行了优化设计,最终制作了常压微波等离子体反应器.将反应器安装在微波系统中,获得了频率为2.45 GHz功率可调的稳定的微波等离子体.
常压 微波等离子体 反应器 HFSS