介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起,从而具有接触和非接触两种测量手段.与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比更高,应用范围更广.该测量系统已投入实用,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是1 mm和10 nm,非接触测量模式下分别是500 μm和3 nm.实践证实,该系统使用灵活,可靠性高.
表面形貌 接触/非接触测量 表面特征提取