设计并搭建了一套微小通道沿程压力的测量系统,包括PMMA通道和压力方腔、微应变传感器及多通道应变仪等.利用注射泵的推进方法提供微通道静压,采用FCO510型高精度微差压计的测量值作为标准压力,通过多通道应变仪测量微通道方腔中各个应变片的应变值,从而建立标准压力和应变之间的标定函数.分别对3种微压芯片在80、70、60及50mL/min等4种不同流量下的压力分布进行了测量,压力分布具有良好的线性规律.不确定度分析表明压力误差的相对扩展不确定度范围为0. 15%～6.82%,测量结果的有效性和可靠性较高.
微小通道 沿程压力 应变测量 不确定度