介绍了一种制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,制备的ZnO薄膜主要用作太阳能电池的背反射电极.该设备的极限压力可达5×10-5Pa,膜厚均匀性偏差在5%以内,薄膜电阻率约为10-2Ω·cm.本文叙述了设备的用途,技术性能,工作过程和结构特点.并对ZnO薄膜的电阻率与参加反应的水蒸汽流量的关系进行了简单介绍.
金属有机化学气相沉积(MOCVD) ZnO透明导电膜 薄膜太阳电池 电阻率