低温等离子体技术已被广泛应用于各高科技领域,并且应用范围仍然在迅速拓展,这对等离子体本身提出了更高的要求,平面大面积、高密度均匀等离子体源是目前最迫切的需求之一.作者主要介绍表面波激发等离子体的原理,并在自行研制的一套平面大面积表面波等离子体源上,利用静电双探针测量了其Ar气放电的角向、径向和轴向的电子密度和温度.发现角向电子密度和温度均匀性与耦合天线及气压密切相关而与入射功率无关;径向电子密度和温度均匀性则与入射微波功率及气压密切相关而与耦合天线无关.因此,通过优化耦合天线来获得径向参数的均匀性及微波耦合效率,并增大微波功率、选择适当的气压,可产生大面积平面高密度等离子体.
表面波 等离子体源 高密度等离子体