介绍了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理.分析了柔轮所受的非线性径向电场力,通过引入摄动小参数,得出了Fourier级数形式的径向载荷动态分量.运用Donnell壳理论,建立了非线性系统的动力学模型.在线性系统解的基础上,运用摄动法,通过比较系数和消除久期项,得到初始位移激励下弱非线性系统的近似解.对比发现,非线性系统的频率较线性系统的频率有所减小.讨论了非线性频率随系统参数的变化规律,给出了非线性系统动态响应的规律.
谐波微电机 非线性电场力 摄动法 非线性动力学