本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用.商业化的UlRAScan 1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接近实时观察图像的目标;已生产出用于TEM和STEM的球差校正器,可把CM200FEG TEM的球差系数从常规的1.23mm调整至+2mm～-0.05mm之间的任意值;单色器可把肖特基场发射枪发射电子的能量分散从0.6～0.8ev减少至0.047～0.1eV;新一代能量过滤成像系统HR-GIF可把能量分辨率从0.8eV提高至0.05ev.配有单色器、球差校正器、HR-GIF的新一代场发射枪透射电子显微镜可提供亚埃的空间分辨率和亚电子伏特的能量分辨率,为研究物质的原子-电子结构提供了可靠的保证.
场发射枪透射电镜 慢扫描电荷耦合器件 球差校正器 单色器 高分辨能量过滤器