研究了不同的表面处理方法对器件肖特基特性的影响.实验结果表明,采用氧等离子体及体积比(HF:NH4F)为1:7的BOE溶液对AlGaN/GaN异质结材料表面进行处理后,其肖特基接触特性比盐酸或者氨水溶液处理有了明显的改善.当栅压为-50V时,栅反向漏电仅为3.8× 10-5 A/mm,相比降低了l～2个数量级.另外,电容电压CV测试结果显示,经过BOE溶液处理表面,明显降低了器件表面态密度,达到1013cm-2·eV-1量级,表面态密度的降低,提高了肖特基势垒高度,降低了隧穿电流和表面漏电.
AlGaN/GaN 肖特基接触 表面处理 反向漏电 电导法 表面态密度