随着空间光学系统的发展,光学检测设备的精度要求也更高.介绍了一套口径525 mm、大视场离轴平行光管光学系统的高精度计算机辅助装调方法.该大型平行光管要求全视场波像差优于1/20波长,给装调策略带来了挑战.该方法基于多视场点灵敏度矩阵模型,利用5个不同视场点干涉测得的像差数据,采用阻尼最小二乘法求解系统失调量.通过多次迭代装调,快速成功完成装调,在波长λ=632.8 nm时,该平行光管系统取得了中心视场点波像差均方根粗糙度(rms)值0.036λ、全像面波像差rms平均值0.045λ的装调精度.
仪器 光谱仪 方法 数据分析 现场测试