采用微空心阴极放电装置,利用光学方法和电学方法研究了大气压流动Ar和N2混合气体中产生的微等离子体射流特性.研究发现,随着电源输入功率增大到一定数值,微空心阴极装置中两个电极间气体发生击穿,通过击穿气隙气体的流动会沿着气流方向产生最大为4 mm的等离子体射流.放电电流为准连续的脉冲放电形式,其中放电电流脉冲宽度约为0.1μs.分别利用爱因斯坦方程和等离子体发射光谱中谱线的Stark展宽方法计算了电子密度.结果发现,2种计算方法得出的微等离子体射流的电子密度均在1015·cm-3的量级.研究还发现,功率对微等离子体射流电子密度影响不大.利用气体击穿理论,对以上结论进行了定性分析.
微等离子体射流 发射光谱 电子密度 Stark展宽