针对电子回旋共振(ECR)中和器性能无法满足实际应用需求的问题,开展了10 cm ECR中和器的性能优化实验研究,在分析现有ECR中和器内部结构的基础上,提出新的结构改进方案.通过改进ECR中和器的电子束流引出对比实验,得到了中和器结构对束流引出性能的影响规律.优化后的ECR中和器性能实验表明:相同条件下ECR中和器束流引出大小与气体流量大小不成正相关,但随着微波功率的增加而增加.性能实验得到的中和器最佳工作和性能参数为:微波功率为10 W、氙气流量为0.5 sccm,收集板间距为5 mm时,在50 V引出电压条件下能够引出127 mA的电子束流.
等离子体 电子回旋共振 中和器 结构优化 束流引出