由于304不锈钢的优良特性,未来其将成为柔性显示器衬底的主要材料之一.为提高304不锈钢化学机械抛光的速率和质量,研究不同氧化剂在不同质量浓度或体积浓度及不同 pH 值下,对材料去除率和表面粗糙度的影响.结果表明:氧化剂 Fe2O3、H2O2、FeCl3都在 pH=2时抛光效果最佳,氧化剂KMnO4在pH=10时抛光效果达到最佳.在最佳的 pH 值下进行抛光,H2O2的体积浓度为10 mL/L时,表面粗糙度Ra最好,为4 nm;在FeCl3质量浓度为4.0 g/L时,材料去除率最高,为209 nm/min.
304不锈钢 化学机械抛光 氧化剂 材料去除率 表面粗糙度