在多晶硅定向凝固高少子、低氧区域通入含氧气体,研究氧浓度对多晶硅锭少子寿命的影响程度.研究结果表明,当间隙氧浓度低于4.5×1017cm-3时,对于铸造多晶硅少子寿命的影响非常小;当间隙氧浓度为4.5×1017～7.0×1017cm-3时,降低平均少子寿命0.50 μs;当间隙氧浓度高于7.0×1017cm-3时,硅锭少子寿命受到极大影响,平均少子寿命降低到1.50μs,形成红区.因此,只有当铸造多晶硅尾部间隙氧浓度达到7.0× 1017cm13时,才可能形成尾部红区.
多晶硅锭 铸锭 红区 少子寿命 间隙氧