采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn 方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律.结果表明:随射频功率(Prf)、气压(p)和约束磁场(B)的增大,EEPF峰位由高能向低能移动,Teff 下降；当Prf从25W增大至35W左右时,ne发生跳跃增长,而nH*始终随Prf增大线性增长；随p增大,ne和nH*都呈现先增加后减小的变化规律；随B增强,ne线性增长,而nH*先增大后减小.
螺旋波等离子体 Langmuir探针 发射光谱 Druyvesteyn方法 日冕模型