采用离子轰击辅助电子束蒸发技术制备了含有纳米石墨结构的碳膜.利用XRD、Raman和AFM等方法分析了碳膜的厚度、结构、相成分和形貌.结果表明制备的碳膜是一种具有纳米石墨结构的非晶碳膜.随着离子轰击能量的增大,碳膜的厚度随之减小,纳米石墨结构sp2团簇的尺寸变大,碳膜表面粗糙度增大,并找到了最佳的离子轰击能量.通过对Raman光谱分析发现,在最佳离子轰击能量下形成的纳米石墨结构sp2团簇尺寸大小约为2 nm.
离子轰击 纳米石墨 非晶碳膜