采用磁控溅射工艺制备了钛镁共掺氧化锌(TMZO)透明导电氧化物(TCO)薄膜,通过紫外-可见分光光度计和四探针仪的测试以及光学表征技术,研究了气体压强对薄膜样品光学和电学性能的影响.结果表明:所有薄膜样品在可见光区域具有正常色散性质,其折射率曲线均遵循单振子色散模型;同时TMZO薄膜的光电性能与气体压强密切相关.当气体压强为0.6 Pa时,TMZO薄膜样品的电阻率最低为1.60×10-2Ω·cm,可见光区平均透过率最高为84.25％,品质因数最大为3.65×102Ω-1·cm-1,具有最好的光电综合性能.
透明导电氧化物 掺杂氧化锌 薄膜 光电性能