应用分层设计与制备工艺得到了具有微小多层型腔的复杂硅模具，采用坯料直径为3 mm的Zr41．2 Ti13．8 Cu12．5 Ni10 Be22．5非晶合金为实验材料，使用自行设计的实验平台，对双层微小齿轮（大齿轮模数0.05 mm ，齿数36，厚度150μm ；小齿轮模数0.05 mm ，齿数30，厚度150μm ；中心轴孔直径0.8 mm）进行了超塑性成形工艺研究，优化了零件成形、腐蚀脱模、飞边去除及质量分析的工艺流程。结果表明，该工艺流程合理可靠，制备出的Zr基双层微小齿轮保持了非晶态结构、形状完整、充型率高、表面质量良好。
非晶合金 超塑性成形 多层硅模具 双层微小齿轮