复合型透明导电膜 ITO/ Ag/ ITO 是一种极具发展潜力的高性能透明导电膜，其导电性远高于传统透明导电材料氧化铟锡（ITO），同时可大幅节约 ITO 膜中的稀缺元素 In。文章阐述了 ITO/ Ag/ ITO 复合膜的设计原理及其设计中存在的问题，分析了 ITO/ Ag/ ITO 结构中底层 ITO 膜、外层 ITO 膜和 Ag 膜在膜系结构中的作用及其对 ITO/ Ag/ ITO 光学和电学性能的影响，阐明了 Ag 膜对 ITO/ Ag/ ITO 光学和电学性能的决定性作用，综述了对Ag 膜进行退火处理、添加其他金属元素、引入超薄层等提高 Ag 膜沉积质量和性能的方法，展望了高性能 ITO/Ag/ ITO 复合透明导电膜今后的研究方向。
透明导电膜 ITO/Ag/ITO Ag 膜 导电性 透过率