采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替溅射工艺,制备了CoFeB-SiO2系列纳米不连续多层磁性颗粒膜,并对制备的薄膜样品进行了不同温度下的退火处理.实验结果表明,通过调整SiO2绝缘介质相含量及磁场退火温度可有效地调控薄膜微结构和微波电磁特性.制备的薄膜样品在GHz微波频段同时具有高磁导率和高磁损耗,1.5GHz处薄膜复相对磁导率实部和虚部均大于260,同时电阻率高达1.38mΩ·cm.该薄膜样品可应用于微波吸收材料和抗电磁干扰的设计中.
CoFeB-SiO2 不连续多层膜 微波电磁特性 复磁导率