为提高温度传感器测量精度以及测量灵敏度,设计了一款正反馈式片上温度传感器.本款温度传感器在PTAT电流源基础上,增加了运算放大器正反馈结构,克服了传统温度传感器输出电压范围较小、精度较低的缺点,对器件由于温度变化产生的微弱信号进行进一步放大,使输出电压范围极大增加,提高了测量精度以及灵敏度,进而对芯片内温度进行精准监测以提高系统可靠性;采用UMC 0.18μm CMOS工艺对电路进行了模拟仿真.结果表明:工作电压为(3.3±0.33)V情况下,在-45～125℃温度范围内,输出电压为0.569～3.273 V,输出电压范围较大且线性度达99.93％,电压-温度响应为15.9 mV/℃,温度测量精度为0.12℃/-0.21℃.
片上温度传感器 CMOS工艺 高精度 高灵敏度 运放正反馈结构