本文设计出下限为5×10-16 Pa·m3/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题.采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10-10 m3/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在一起,为流导元件入口获得(103-10-6) Pa的示漏He气分压力;采用10-8 m3/s和10-10 m3/s量级的两套分子流导元件,结合流导元件入口压力获得了(10-5-10-16) Pa· m3/s的标准气体流量,设计的标准气体流量计估计合成标准不确定度为1.2％-2.8％.
超灵敏度检漏仪 固定流导法 分子流导 标准气体流量计