为改善现有CO2激光器工频充电电源体积、重量大、充电精度低等缺点，开展高频高压充电电源的研究，研制一台采用全桥逆变结构和串联谐振软开关电路、输出电压36 kV、输出平均充电功率为10 kJ／s的高频高压充电电源。该电源系统采用三相380 VAC作为供电系统，大功率智能功率模块（IPM）作为全桥逆变电路，逆变交流信号经串联谐振电路及高频脉冲变压器得到高压脉冲信号，高压脉冲经整流给负载电容充电；同时，电源应用电压、电流双闭环控制系统，输出电压、电流经采样及放大反馈到电源控制芯片SG3525，SG3525通过判断反馈信号的大小控制输出PWM驱动信号的占空比。实验结果表明：电源输出电压36 kV，输出平均功率为10.8 kJ／s，充电效率为0.82，电源纹波系数为1％。电源系统保证了激光器稳定工作在30 Hz条件下。
CO2 激光器 串联谐振 充电电源 脉冲变压器 高频 高压