真空检漏是漂移管直线加速器(DTL)获得高真空的重要技术.四极质谱计是分析真空系统内残余气体成分的重要工具,同时也可作为一种检漏手段.本文利用氦质谱检漏仪和四极质谱计两种手段对DTL1#腔进行检漏.当对12#漂移管的线圈加电时,腔体内的真空度、漏率和残余气体成分都发生了变化,并且水的谱峰增加最显著,所以判断12#漂移管出现了问题.通过恰当的处理,使腔体很快获得了10-6Pa的高真空,满足了直线加速器对真空系统的要求.
真空检漏 漂移管 氦质谱检漏 残余气体分析