在激光的实际应用中，需要利用光束整形技术将激光器的输出光束调制为期望的光强分布。微机电系统的发展为光束整形提供了一种解决方案。采用微反射镜阵列，实现了激光光束的整形。基于随机化的思想提出了相应的算法，分析了算法在不同单元数目和不同噪声水平下的表现，为实际应用提供了有价值的参考依据。最后，建立了实际的光路模型，进行了光线追迹，给出单模高斯光束以及考虑噪声情况下的仿真结果。分析结果表明，使用微反射镜阵列可以有效地实现不同输入下的激光光束整形，并且具有极大的灵活性，为光束整形提供了一种新的手段。
光束整形 微反射镜阵列 仿真