采用Au作为感应读出式光子计数成像探测器的光阴极,在分辨率测试板上蒸镀了薄膜厚度为15 nm的Au作为透射式阴极.实验测试了加Au阴极后微通道板(MCP)的增益性能,探测器的分辨率和计数率等成像性能,与未加Au阴极时相应的系统性能做了对比.结果表明,加Au阴极后MCP的脉冲高度分布呈准高斯型,随着MCP工作电压的提高,脉冲高度分布曲线的峰值向高增益方向移动,曲线的半峰全宽(FWHM)逐渐变宽;Au阴极有效提高了光子计数成像探测器的探测效率和信噪比;分辨率测试结果表明加Au阴极后探测器的空间分辨率优于75 μm,随着计数率的提高分辨率将会下降,在保证系统分辨率优于150μm时计数率可达到13.5 kHz.
光学器件 探测器 光子计数成像 微通道板 Au阴极 电荷感应