随着电子显微学的发展,电子显微镜逐渐成为现代材料学研究的核心表征手段之一.为了获得更高的分辨率和更精确的原子位置,主要有硬件改进和数字图像重构两个途径,本研究所关注的基于系列欠焦的电子出射波重构算法即属于数字图像重构方法中较为重要的一类方法.本研究对几种重要算法的原理和效果进行了讨论和比较.模拟实验结果表明,抛物面算法的重构质量最差,最大似然算法和迭代波函数重构算法的重构质量相近,但后者的重构效率远高于前者.在照片高噪声或非周期性边界条件等复杂场景下,最大似然算法的鲁棒性更好,更适用于精细结构的分析.
出射波重构 像差校正电镜 定量电子显微学