具有高浓度、挥发性、强氧化性的液氯、氮氧化物等危化品泄露、爆炸的安全检测一直是一个难点问题,要求检测传感器具有较宽量程和抗腐蚀设计.基于AlN陶瓷的微热板半导体气体传感器阵列设计,采用耐腐蚀的AlN陶瓷为衬底,物理化学性能稳定的Pt膜作为信号和加热器电极,经杂化修饰的In-Nb复合半导体氧化物为敏感材料,结合柔性光刻剥离工艺和激光微加工工艺,制备了陶瓷微板热隔离气体传感器阵列.为验证传感器阵列热结构设计的合理性,进行了有限元热仿真分析,优化了设计结构.经静态气敏测试分析,传感器阵列对浓度体积比500×10-6的C]2和100×10-6的NO2两种气体的气敏响应时间分别为30 s和60s左右,灵敏度最高分别为275倍和4倍,且在0～500×10-6和0～100×10-6检测范围均具有良好的气敏特性,对Cl2等高浓度宽量程危化品气体检测具有良好的应用前景.
气体传感器阵列 氯气 二氧化氮 微机电系统