利用射频磁控溅射法（MS．RF）在玻璃基片上制备了不同掺杂浓度的ZnO：Sb薄膜．借助X射线衍射仪（XRD）、透射光谱、光致发光谱（PL）和拉曼散射光谱（Raman）等手段研究了Sb掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构、光致发光和拉曼特性的影响．结果表明：所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度C轴择优取向；在Sb掺杂ZnO薄膜的拉曼光谱中观察到位于532cm^-1的振动模式，结合XRD分析认为此峰归因于Sb替代Zn位且与0成键的局域振动模式（LVMSb--O）；光致发光谱测试发现，仅在ZnO：Sb薄膜中观察到位于3．11eV附近的紫光发射峰，结合拉曼光谱分析认为此峰与XbZn-O复合体缺陷相关．
ZnO：Sb薄膜 光致发光谱 拉曼散射光谱 局域振动模型