本文采用离子束辅助沉积技术(IBAD)制备一系列碳膜,重点分析添加合金元素(Ti,Cr,Ni)对薄膜性质的影响.实验结果表明:添加Ti,Cr,Ni元素对碳膜厚度,硬度无明显影响,但提高了薄膜的结合强度,其中加入Ni后,薄膜的结合强度最好;添加合金元素可以显著减小碳膜的摩擦系数;添加Ti元素碳膜的组织以非晶态为主,与纯碳膜相当.相对于类金刚石薄膜,本实验制备的碳膜试样更接近于类石墨膜.
离子束辅助沉积技术(IBAD) 碳膜 结合强度 合金元素