基于同步辐射聚焦镜的原理,对压弯机构进行设计,对压弯理论进行介绍,并推导了压弯镜理论面形的计算过程;根据设计理论建立了基于柔性铰链的压弯机构的模型,并对压弯机构的参数进行计算,有效长度为84.9 mm,最大力矩为259.8×10-3 N·m.设计并校核了压弯机构,满足了压弯机构在材料力学上的要求;最后针对压弯镜存在的理论面型误差,通过对压弯镜进行有限元仿真得到模拟值,与理论值进行对比,分析了不同的因素对面型误差的影响.
同步辐射 压弯镜 柔性铰链 面形误差