研究了一种基于FeCoSiB/SiO2多层膜的磁声表面波(MSAW)传感器,其中FeCoSiB/SiO2多层膜制备在石英声表面波(SAW)谐振器上.在外加磁场发生变化时,FeCoSiB/SiO2多层膜通过巨杨氏模量效应影响压电衬底表层的相速度,进而改变SAW的谐振频率.通过设计和优化磁致伸缩多薄膜的结构和软磁性能,不仅获得磁致伸缩层总厚度与谐振器品质因数的关系,而且成功使磁敏传感器的灵敏度(Δf/H,即施加单位磁场时的谐振频率的变化量)提升了2个数量级,达到419 Hz/μT.在此基础下,探讨了 Δf-H曲线在难、易轴方向表现出蝴蝶型和回线型特性的机理.由于该传感器具有很高的磁场灵敏度和良好的方向选择性,在微弱磁场(如地磁场)检测领域将具有极高的实用价值.
磁传感器 软磁薄膜 杨氏模量效应 各向异性 声表面传感器