采用直流磁控溅射法在石英玻璃基片上制备不同厚度的FePd纳米颗粒膜,利用X射线衍射仪、X射线能谱仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜和振动样品磁强计表征薄膜的结构和磁性能.结果表明,经过550℃热处理3h后,薄膜的X射线衍射谱中出现(002)超晶格衍射峰,表明薄膜中出现了四方有序结构.随着薄膜厚度的减小其有序化程度增加,在膜厚为47 nm时,样品矫顽力达到3.5 kOe,剩磁比达到0.94,最大磁能积((BH)max)达到17.6 MGOe.FePd薄膜的相转变温度降低,磁性能较好.
FePd薄膜 磁记录 磁控溅射 磁性能