采用具有负偏压收集极的二次电子发射系数测试系统，对聚酰亚胺样品的二次电子发射系数与入射电子角度和入射电子能量的关系进行了测量。测量结果表明，在电子小角度入射样品的情况下，随着入射角度的增加，二次电子发射系数单调增加，并符合传统的规律，但是在电子大角度入射时，却与此不符合。测量显示，出现偏差时对应的临界电子入射角度随着入射电子能量的降低而减小。采用简化的电子弹性散射过程和卢瑟福弹性散射截面公式对这种偏差的出现进行了分析，并推导出修正后的二次电子发射系数的计算公式。修正后的二次电子发射系数的计算结果更加符合实验结果。
二次电子发射系数 入射角 聚酰亚胺 电子散射