采用sol-gel法在SiO2/Si(100)衬底上制备了0.68(Bi0.98La0.02)FeO3-0.32PbTiO3(BLFPT)薄膜.采用快速退火技术,以2～40 ℃/s速率升温、在700 ℃下保温100 s对BLFPT薄膜进行了后续处理.研究了升温速率对BLFPT薄膜结构性能的影响.XRD测试结果显示BLFPT薄膜为赝立方结构.SEM和AFM结果表明,当升温速率为2 ℃/s时,BLFPT薄膜表面晶粒更为均匀致密,粗糙度最小.XPS分析显示,Bi、Fe和Ti分别主要以化合态Bi2O3、Fe2O3和TiO2的形式存在.
BLFPT薄膜 sol-gel法 快速退火