采用直流等离子体喷射化学气相沉积(DC arc plasma jet)系统制备了纳米金刚石膜(NCD),研究了不同的金刚石成核剂溶液对NCD膜的成核及生长的影响.研究表明,在成核剂溶液中添加二甲基亚砜(DMSO)后成核密度明显得到提高,而且制备的NCD膜晶粒分布均匀、致密.当金刚石粉体作为成核剂时,随着其粒径的增大,NCD膜成核密度下降,晶粒的尺寸均匀性也变差,而粒径为5 nm的金刚石纳米粒子作为成核剂时,NCD膜晶粒间结合致密、颗粒分布均匀.最后,选择5 nm的金刚石纳米粒子和丙酮/DMSO配制的分散液作为成核剂配方,经过60 min的生长,制备了粒径为50～70 nm的结晶性和品质良好的NCD膜,适用于高频声表面波(SAW)器件及各种光学窗口的研制.
纳米金刚石(NCD)膜 二甲基亚砜(DMSO) 纳米金刚石粉体 分散性 成核密度