在高压放电装置以及脉冲气体激光器领域中,电极面型所决定的极间电场直接影响装置性能.选取球头、平球头、Chang、Bruce四种面型的电极,使用有限元分析法对四种面型电极电场在三维空间内进行数值计算,找出各个电极二维截面电场强度最大偏差的位置,给修改造型提供依据.设置电极半径13mm,间距在7～10mm之间变化,分别构建四种电极曲面,设置两电极电势差为30kV,计算得到四种面型的d-f曲线,确定不同间距下最佳面型电极,对工程实践提供指导.在平球头与Bruce电极中心设置10μm半球凸起凹陷,测定烧蚀喷溅对于间隙电场畸变率的影响.
电极面型 有限元方法 Bruce 电场畸变