采用快电子和重粒子(N2+,N+,Nf)混合的Monte-Carlo模型,研究了氮直流辉光放电等离子体金属表面氮化过程中.e--N2s及N2+-N2s两种碰撞离解过程产生的原子态粒子(N+,N)的产生率和氮化粒子(N+,Nf)轰击靶表面的能量、粒子数密度及入射角分布随气体温度的变化规律.结果表明,使阴极靶处活性粒子(N+,Nf)的能量高且粒子数密度大,存在一个最佳放电温度;粒子(N+,N)的产生率及在靶表面的密度数都随着放电气体温度的升高而减少;有大量中性快原子Nf在工件表面小角入射,且粒子(N+,Nf)角分布受温度的影响很小.
金属表面氮化 氮直流辉光放电 Monte Carlo模拟 N2+-N2离解碰撞