提出了一种液压油污染物多参数测量传感器,该传感器在平面型微流体电感传感器基础上增加了一个单层电感线圈,并将两个单层线圈正对排布在直微通道两侧,在电感参数检测的基础上将两个单层电感线圈等效为一对圆环形电容极板,引入了电容参数检测,从而实现了对液压油中铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡4种污染物的检测.对该多参数传感器进行了设计,并结合仿真和实验对检测位置进行了优化,电容参数检测实验实现了液压油中180 μm水滴和240 μm气泡的区分检测;电感参数检测实验实现了液压油中80μm铁颗粒和150 μm铜颗粒的区分检测.该研究对液压油多污染物的区分检测提供了一种新方法.
液压油 颗粒污染物 多参数检测 双线圈 微传感器