该文介绍了一种频率温度系数接近0 的窄带温补型声表面波滤波器.该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌.制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试.测试结果表明,该温补型声表面波滤波器的中心频率约1 360 MHz,在-55～85 ℃内频率漂移仅约390 kHz,频率温度系数约-2×10-6/℃,插入损耗约1.3 dB.
声表面波滤波器 温补型声表面波 频率温度系数