ESD截面是电子诱导脱附研究中的用以描述脱附产物的一个重要物理量,中性粒子ESD脱附截而的测量一直是ESD截面测量中比较难以解决的问题.本文介绍了利用信号调制法测量了中性粒子ESD脱附截面的原理,同时利用该方法测量了1×10-3Pa下,N2从多晶W表面脱附时N2的中性脱附产物的ESD截面,并对实验方法及测量结果进行了分析讨论.该方法有效地解决了中性粒子ESD截面的测量问题.
电子诱导脱附 ESD 截面 信号调制法