在扫描隧道显微镜轮廓测量过程中,探针自身的几何形状会混入测量结果中,从而造成相应的测量误差.本文提出了根据对标准样品的测量结果,反算出探针的几何形状的算法,并应用于实测图像求解出探针的几何形状.在求得探针的几何形状后,文中推导了去除探针几何形状造成的误差,对扫描隧道显微镜图像进行重建的算法,并对实测样品进行了处理.结果表明上述算法可有效地减小探针自身形状造成的测量误差.
扫描隧道显微镜 图像重建 探针