为获得薄膜金属玻璃在可见-近红外波段的光学常数,采用真空磁控溅射技术在Si基底上制备Zr基(ZrCuNiAl(64.13:15.75:10.12:10％at))薄膜金属玻璃.使用椭圆偏振光谱仪测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数,并用Drude-Lorentz双振子模型对测出的椭偏参数进行拟合,得到薄膜在可见-近红外波段的光学常数与膜厚.用掠入射X射线反射法进一步测量样品的膜厚以验证椭圆偏振光谱仪测量结果的可靠性.结果 表明,两种方法测出的样品膜厚一致,Drude-Lorentz双振子模型很好地描述了Zr基薄膜金属玻璃样品在可见-近红外波段的光学特性.在可见-近红外波段,样品在同一波长的椭偏参数Ψ和Δ随入射角增大而减小,介电常数实部为负值且随波长增大而减小,介电常数虚部为正值且随波长增大而增大;样品折射率明显小于消光系数,且折射率在1070 nm处出现极大值,消光系数则在1070 nm附近出现拐点,表明金属玻璃兼具一般金属和玻璃的光学性能.本文研究结果对Zr基及其它薄膜金属玻璃光学特性的研究和测量具有一定指导作用.
Zr基金属玻璃 薄膜 光学常数 可见-近红外波段 椭圆偏振法 Drude-Lorentz双振子模型 磁控溅射