该文设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线压力传感器.阐述了SAW单端谐振器的原理,对SAW压力传感器的原理进行了分析.选择了基于类似两端固定梁的敏感结构并利用ANSYS软件对其敏感结构进行仿真、分析.利用Mathcad软件对SAW压力传感器进行建模、仿真.并根据仿真结果设计和制作了SAW压力传感器.测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高,误差小,具备良好的压力频率特性.
声表面波 压力传感器 谐振器 ANSYS Mathcad