透镜面形精度是影响透射式光学系统性能的主要因素之一，支撑结构、自重和热载荷是引起透镜面形发生变化的三个主要原因。为了实现大口径透镜(Φ>200 mm)的高面形精度，本文设计了一种新的基于多点柔性支撑的透镜支撑结构，通过有限元分析，给出该柔性支撑结构下自重和热载荷对透镜面形的影响。分析结果表明：重力作用下透镜上、下表面面形RMS值分别为6.78 nm和3.46 nm；热载荷作用下透镜上、下表面面形RMS值分别为8.30 nm和5.57 nm。由此得出，本文设计的多点柔性支撑结构可以有效减少自重和热载荷对大口径镜面面形的影响，满足透射式光学系统对透镜面形的精度要求(RMS<λ/50，λ=632.8 nm)。
柔性支撑 透镜支撑 热变形 自重变形 有限元分析