提出了一种用于三坐标测量机的新型多功能测头,介绍了多功能测头光学系统的设计思路,分析了光路中光学元件的作用,计算了光学元件主要参数,并进行了多功能测头的实验验证.大量实验结果表明,该测头经过标定,激光跟踪瞄准重复性测量的不确定度在±1 μm以内,激光跟踪瞄准被测曲面倾角可以达到30°,能满足三坐标测量机的使用要求,同时也可以用于其它测长仪器对自由曲面进行快速精确的瞄准以及对零件轮廓的图象法测量.
光学系统 电荷耦合器件(CCD) 半导体激光器 两象限硅光电二极管