建立了一个适用于常压容性耦合氩等离子体诊断的简单碰撞辐射(collision radiation,CR)模型,将发射光谱(optical emission spectrum,OES)与CR模型结合,测量常压容性耦合氩等离子体的电子温度(Te)、电子密度(nc)等重要参数,并和由一维混合整体模型(hybrid global model)模拟得到的电子温度和电子密度进行比较.结果 表明:由两种方法得出的Tc和nc随射频源功率变化的趋势基本一致,表明CR模型是正确的,故OES结合CR模型的方法可用于常压容性耦合等离子体的诊断.
碰撞辐射模型 发射光谱 电子温度 电子密度 一维混合整体模型