随着科学技术的发展，超精密定位技术在各领域得到了广泛应用，它的研究对MEMS技术的发展具有重要的意义。对具有纳米定位精度的二维微动工作台的定位误差进行研究。首先，对分辨率为0.15 nm的双频激光干涉仪进行了测量误差分析，其标定二维微动工作台时的测量精度为14.4 nm；利用该激光干涉仪标定时温漂的近线性关系去除了定位误差中的综合误差，采用反相补偿法对定位误差中的系统误差进行了补偿。测得该工作台补偿前的定位误差在250～300 nm之间，在空气弹簧隔振平台上进行了误差补偿实验，测得补偿后两轴的定位误差分别为20 nm和25 nm左右。实验证明了该种方法用于补偿纳米定位系统的可行性。
二维微动工作台 纳米定位 定位误差 反相法