为了提高单晶硅太阳电池的光电转换效率,采用了一种新型无毒碳酸钠强碱盐溶液对单晶硅表面进行腐蚀,制备类似金字塔绒面,降低硅片表面的反射率增加光谱吸收,研究溶液的质量分数、制绒时间,以及碳酸氢钠的质量分数对制绒效果的影响.研究结果表明:质量分数为13.0％的Na2CO3溶液在95℃下23 min时制备的绒面反射率最低.向Na2CO3溶液中添加NaHCO3制备出的绒面反射率更低,在400～800 nm光谱范围平均反射率可达11.150％,而且绒面上的金字塔体积更小,分布更均匀.比较传统的碱与醇的混合液,碳酸钠溶液制绒过程中无需添加异丙醇(IPA),无毒无污染,成本更低廉.
单晶硅 碳酸钠 各向异性刻蚀 金字塔 反射率