厚度微米级热界面材料的热物性参数,可通过相敏瞬态热反射测量法拟合得出.本文对该方法的原理进行了发展研究:基于数据测量过程中,不同调制频率区间对应在样品中的热穿透深度不同(高频区间内热穿透深度小,低频区间内热穿透深度大),提出针对多层材料,分频率段依次对各层热参数拟合的方法.本方法的途径是通过不同频率区间的选择,沿着热穿透方向依次对各层参数进行拟合,从而减少后层材料未知参数对当前层参数拟合的影响,同时减少对已知参数条件的要求,提高了拟合结果的质量.用本文方法对四层材料样品做了测量及拟合数据对比,结果表明拟合结果相对误差保持在±8％之内,同时对界面热导的信号敏感度进行了分析,发现拟合参数的信号敏感度依赖于频率的选择.
热界面材料 相敏瞬态热反射系统 多层材料 热物性参数 分层拟合