简要介绍了利用折叠波导慢波结构的太赫兹真空辐射源的发展现状,重点对折叠波导慢波结构的特点进行了研究,并利用这种慢波结构开展了W、D波段行波管,W波段和650 GHz返渡振荡器,560 GHz反馈振荡放大器的设计、计算和模拟优化,分别得到了较好的结果,并实际研制出W波段连续波行波管,输出功率达到8W.对太赫兹真空辐射源的部件技术、微细加工技术进行了研究和分析.
太赫兹 真空电子器件 折叠波导 微加工技术