本文研究了硅片狭缝内水分子蒸发过程中的红外光谱吸收特性.通过改变相对于硅片狭缝的红外光偏振方向(水平:偏振方向与硅片狭缝方向平行;垂直:偏振方向与硅片狭缝方向垂直),测量了水分子在3900～3600 cm-1(伸缩振动)和1800～1400 cm-1(弯曲振动)的偏振红外光吸收.结果表明,经硅片间隙蒸发出来的水分子,在3900～3600 cm-1(伸缩振动)和1800～1400 cm-1(弯曲振动)区间,对垂直偏振光吸收较强,对水平偏振光吸收较弱,表明毛细效应导致蒸发的水分子偶极矩方向倾向于硅片狭缝的法线方向.
水分子蒸发 毛细效应 偏振红外光谱