采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜.这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构.薄膜表面出现不规则起伏.薄膜的晶相主体均为锐钛矿型.TiO2薄膜的光透射谱变化不大.这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面之间的接触角.不同工艺条件下制备的TiO2薄膜接触角相差很大.在纯氧条件下,薄膜制备的真空度对薄膜的亲水性有着决定性的影响.
TiO2薄膜 亲水特性 反应溅射 真空度