为优化微机械平面螺旋电感，提出了一种计算品质因数（Q值）的方法。通过系统分析影响平面螺旋电感Q值的主要因素，获得硅微机械电感的简化模型，在此基础上采用电磁分析法讨论了射频条件下高频电磁场效应对电感寄生电阻的影响，从而得到了计算平面螺旋电感Q值的方法。利用此方法对几何参数不同的几种线圈进行分析，获得了具有较高Q值电感的优化结构。在2 GHz的工作频率下，优化的平面螺旋结构线圈导线宽度和厚度分别为10 μm和5 μm。
微机械 电感 Q值 射频 硅