给出了阴极悬挂方式对金刚石-镍复合膜电沉积结果的影响,指出:当阴极完全竖直悬挂时,复合膜中无金刚石颗粒沉积;而将阴极上部远离阳极倾斜悬挂时,则可得到有金刚石颗粒分布的复合膜.阴极倾角越大,复合膜中金刚石颗粒含量越高.倾角为45°时,复合膜中金刚石颗粒含量最高而且分布均匀.阴极悬挂方位对沉积复合膜的厚度均匀性有很大影响,电镀过程中阴极沿其自身平面平均间歇旋转90°后继续电镀,可以得到厚度均匀的复合膜.另外,采用扫描电镜(SEM)检测了复合膜中金刚石颗粒的含量和分布情况,采用数显电子测微仪测量复合膜的厚度,并对检测结果作了简要分析.
阴极 悬挂 金刚石 复合膜 电沉积