针对直梁型柔性铰链转动存在寄生位移难以实现微机电系统机构高精度运动应用,基于直梁圆角型柔性铰链,提出含平面对称孔隙或偏置孔隙结构、具有局部泊松比特征的新型柔性铰链.结合柔性铰链闭环柔度方程构造对标柔性铰链有限元计算模型;对具有相同孔隙率但不同组合形式孔隙的柔性铰链进行旋转柔度、回转精度及模态分析.结果 表明,相同孔隙率下,对称布置孔隙铰链的柔度、中心回转精度均高于偏置孔隙铰链,其中3×3对称布置孔隙结构可将铰链自由端挠度提升20％,中心回转精度提高11.97％;孔隙结构柔性铰链自由端载荷与该端位移呈近似线性关系.本研究为多孔异构形式新型柔性铰链在特定精度与受多向力场合应用提供新思路.
柔性铰链 孔隙结构 柔度 回转精度 有限元分析