为研制具有较低室温电阻值的NTC薄膜热敏电阻,以La0 6Sr0.4CoO3陶瓷为靶材,采用RF磁控溅射法,在Al2O3基片上沉积了La0.6sr0.4CoO3(LSCO)薄膜.研究了溅射过程中氩氧体积流量比对LSCO薄膜结晶性能和方阻的影响以及LSCO薄膜的阻温特性.结果表明:随着氩氧体积流量比的增加,LSCO薄膜的主晶相衍射峰强度及方阻均先增大后减小.LSCO薄膜具有显著的NTC特性,室温时的电阻温度系数α25为2.24×10-5;其InR-T-1曲线具备良好的线形度,线性偏差仅为2.09%;另外,其室温时的电阻R25仅为18.75 kΩ.
La0.6sr0.4CoO3薄膜 RF磁控溅射法 结晶性能 NTC特性