开发新的膜-基界面结合强度定量检测技术是目前薄膜技术科研人员普遍关注的热点问题.本文提出了表征膜-基界面结合强度的红外激光划痕检测新技术.界面结合状况诊析技术研究和激光划痕机理是该项新技术的两大关键问题,本文在研究激光划痕过程中膜-基系统界面结合状况变化规律的基础上,探讨了界面结合状况应力-应变诊析技术,提出以脱粘层开始发生弹性失稳翘曲的时刻作为激光划痕膜-基界面破坏临界点的诊析判据.
激光 薄膜 界面 结合强度 划痕