对前期采用电子束物理气相沉积法制备的Ti/TiAl微层板进行了高温氧化研究.利用XRD、SEM、EDS对涂层的相结构变化、表面形貌、化学成分进行了实验分析.结果表明,随着温度升高,Al向富Ti区域的扩散越来越快,界面融混现象愈加严重.微层板的高温氧化机制为:Ti原子的不断外扩散使氧化膜中各层的Ti含量都有增加.Al2O3和TiO2分别具有热力学生成优势和动力学生长优势,表面氧化由最初的Al2O3膜逐渐向(TiO2+Al2O3)及TiO2过渡.
微层板 氧化 微观形貌 氧化热力学 氧化动力学