为了满足高性能光电器件对单层MoS2的需要,文中采用扫描电镜和拉曼光谱,研究了保温生长时间和氩气流速对硫化三氧化钼化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长MoS2形貌、尺寸、结构和层数的影响.研究结果表明:在反应物质量比和反应温度一样的条件下,沉积产物的种类主要受氩气流速的影响,氩气流速为30 sccm时,沉积产物为菱形MoS2与MoO2的混合物;氩气流速为50,70 sccm时,沉积产物为单层三角形MoS2.MoS2的结构主要受保温生长时间的影响,保温生长时间为15,30 min时,沉积产物为单层三角形MoS2;保温生长时间达到60 min后,生长物为连成一片的多层MoS2.单层MoS2的尺寸随保温生长时间和氩气流速的增大而增大,当保温时间为30 min,氩气流速为70 sccm时,生长出了尺寸达到90 μm的单层三角形MoS2.
单层二硫化钼 化学气相沉积 微纳米光电器件 拉曼光谱