由于分布电容的存在而造成对测量仪器的干扰,使得对射频放电电压电流及相位的测量,到目前为止仍然是比较困难和昂贵的;使用简单的电压电流探头而无干扰地精确地测量出电压、电流和相位角,从而计算出复合阻抗几乎是不可能的.这里介绍一种自行研制的传感器,结合网络分析理论,采用数字与计算机技术实现对射频放电电压、电流及相位角精确的测量,经实际使用精度高,抗干扰能力强,价格低廉.
RF放电 传感器 电压 电流 相位角