空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片,在同一几何点上同时形成可见光(波长500～720 nm)和近红外(波长(1064±1)nm)两个光谱通道.这两个光谱通道的光谱位置和透射强度均需要进行精确控制.选用JGS-1石英玻璃作为滤光片基片,氧化钽(Ta2O5)和氧化硅(SiO2)分别作为高、低折射率薄膜,由双离子束溅射沉积方法将52层和88层介质薄膜分别镀制在基片的两个表面上.500～720 nm波段的平均透过率达到92％,(1064±1)nm波段的峰值透过率控制在(26±1)％的范围.
光学薄膜 双光谱通道滤光片 离子束溅射沉积 光谱控制