为了高精度高效率地测量数学模型未知的复杂几何形状,介绍了“免形状测量模式”,分析了该测量模式对仪器的基本要求,基于该模式设计了一台移动工作台式测量机.测量机以直线电机为驱动元件,以高精度长光栅为测量元件.为减小被测件重量对测量机的影响,设计了封闭式真空负压的空气静压气浮导轨和共平面的H形二维结构.设计了具有制动功能的Z轴和气浮隔振等关键部件.仪器量程为300 mm × 300 mm×300 mm,测量不确定度为1.8μm,能测量数学模型未知的复杂几何形状.
免形状测量 气浮导轨 共平面结构 直线电机