基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究.模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar+2和氩激发态Ar·等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程.分析了极板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响.给出了电子,Ar+,Ar·和Ar+2密度随极板电压及间距变化的时空演化过程.得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变,对应一定的极板间距,极板电压有一个最佳值,极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值,而对应最佳电场有一个等离子体气体间最佳反应系数,从而使放电空间粒子数密度发生改变.
等离子体 大气压射频放电 极板间距 极板电压