探讨高温化学腐蚀加工SiC陶瓷工艺参数对加工质量的影响，分析SiC陶瓷的腐蚀机理。分别用失重法和Archimedes法测量试样的腐蚀速率和气孔率；用XRD、SEM、粗糙度测试仪对试样表面的形貌和结构进行表征。结果表明：随着温度和KOH浓度升高，腐蚀速率加快，温度高于碱溶液沸点时，腐蚀效果显著提高；碱溶液浓度过高会造成气孔率下降，升高温度可减缓气孔率下降；在优化的工艺参数下，高温化学腐蚀能够降低样品粗糙度，最低约为1.6 μm；表面质量得到改善，轮廓支承长度率Rmr提高，Rmr（50%）达到89.70%；腐蚀温度过高或时间过长将造成晶粒脱落，导致表面质量大幅下降；此外，与机械加工试样相比，高温化学加工后的样品未出现裂纹，表面经简单清洗无反应物残留。
SiC 高温化学腐蚀 工艺参数 腐蚀机理 粗糙度 表面形貌