数字闭环石英挠性加速度计可以有效地解决传统模拟式加速度计在模数转换中引起的精度损失问题，而数字式加速度计的精度主要取决于差动电容检测环节。阐述了数字式加速度计的工作原理，重点设计了差动电容检测方法，利用单载波调制与数字自相关解调技术构建完整的数字式加速度计信号检测方案。搭建数字式加速度计原理样机，对其进行0 g/±1 g稳定性测试，得到数字式加速度计0 g/±1 g零偏稳定性分别为17.5950μg、19.3637μg、20.7153μg。测试结果表明，当前的数字式加速度计精度达到了模拟式加速度计精度量级，有效验证了该方案的可行性及正确性。
自相关检测 加速度计 数字闭环 差动电容 调制解调