利用多弧离子镀技术,在4Cr13不锈钢表面制备CrN薄膜,并掺杂不同含量的Mo原子,制备CrMoN复合薄膜.用XRD、附着力划痕仪、显微硬度计和电化学测量仪分别检测复合薄膜的相结构、结合力、硬度以及在3.5％ NaCl溶液、1 mol·L-1 NaOH溶液和1 mol·L-1 H2SO4溶液中的电化学腐蚀性能.结果表明;CrMoN复合薄膜形成了以NaCl型面心立方CrN结构为基础的(Cr,Mo)N结构;当Mo含量达到31.08％(原子分数)时,在(311)、(111)方向上出现Mo2N的衍射峰,此时薄膜出现了CrN、(Cr,Mo)N和Mo2N相结构并存的情况.当Mo的原子分数为7.09％时,结合力最大为57 N,显微硬度(HV)达到最大值29623 MPa;当Mo含量为14.26％时,在H2SO4溶液和NaOH溶液中耐蚀性能最好;当Mo含量为5.15％时,在NaCl溶液中耐蚀性能最好.复合薄膜腐蚀机理主要是局部腐蚀中的小孔腐蚀,缝隙腐蚀和电偶腐蚀也会发生.
多弧离子镀 CrMoN复合薄膜 耐腐蚀性能