带腐蚀性物料的真空系统，往往对密封性要求严格。为了进行带腐蚀性物料的真空系统在线检漏而进行研究，分析可行的检漏方法，提出适用手段。通过分析，经过分级冷冻、物料处理及选用适合的检漏步骤，能够使氦质谱检漏仪满足负压检漏条件，从而使用喷氦法确定漏点位置，使用氦罩法获得准确的漏率。实际应用证明，该方法用于带腐蚀性物料的真空系统在线检漏，能够准确、有效的检测漏点位置及漏率。该研究为带腐蚀性物料的真空系统在线检漏提供了技术支持。
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