利用微波等离子体化学气相沉积法,以H2/CH4/CO2为混合气源,在Si基底上沉积金刚石膜,分析了微波功率和CO2对金刚石膜生长的影响.利用Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征金刚石膜,以得到样品质量、表面形貌、晶粒取向等信息.结果表明:适当提高微波功率,可以促进金刚石晶粒长大并提高(100)取向度;加入适量CO2,能提高金刚石膜质量和生长速率,并保持表面形貌不会发生明显变化,但随着CO2含量的增加,金刚石表面形貌发生较大变化,薄膜质量和沉积速率先提高后降低.
微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜