为提高常压烧结法制备的掺铝氧化锌(AZO)靶材性能,以sol-gel法制备的Al-ZnO复合纳米粉末为原料,对制备工艺参数进行了优化.结果表明:湿法球磨对生坯的密度均匀性有利;随成型压力提高靶材致密度先升后降,电阻率呈相反趋势;增加烧结保温时间,晶粒尺寸变大,致密度与电阻率改善不明显;采用2 MPa成型压力,在1 250℃烧结1.0 h,所得到的掺杂质量分数为2%的Al的ZnO靶材致密度达99.2%,电阻率约为2×10-2Ω·cm.
AZO靶材 sol-gel法 致密度 电阻率