由于铁电薄膜的诱人应用前景,最近几年受到人们的极大关注.铁电氧化物薄膜可望用于多种微电子学和光子学器件,如:铁电存储器[1],电光调制器[2],红外探测器[3],光学二次谐波发生器[4]以及超导铁电器件[5]等.BaTiO3薄膜是最重要的钙钛矿结构铁电薄膜之一,它具有优良的压电,铁电,热释电和非线性光学性质.所以,很多研究组都很重视BaTiO3薄膜的生长机理和改进薄膜性能的研究.
铁电薄膜 激光淀积 外延生长 晶体结构