研制了一种用于KDP晶体加工的平面飞切机床,该机床直线轴基于直线电动机驱动、液体静压导轨支承;刀具旋转轴采用高刚度气浮主轴+高刚度主轴旋转机构.基于高精度分辨率位置反馈+线性驱动器+PID控制算法,直线轴获得了1mm/min速度下,0.018 mm/min的低速波动以及+0.01μm的位置精度;刀具微进给装置采用差动螺纹进给来实现,最终获得了进给分辨率1μm、锁紧后位置移动量小于1μm高精度进给.在优化工艺参数后,金刚石飞切机床加工100 mm×100 mm×10mm的KDP晶体后获得表面粗糙度Rq优于2nm高精度指标;加工400 mim×400 mm×30 mm的铝镜后获得面形PV值优于3μm的高精度指标.
KDP晶体 液体静压导轨 直线电动机驱动 飞切机床