电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面微观形貌轮廓纳米尺度微裂纹损伤检测要求越来越高.设计灵敏度高、重现性好、响应快速的微探针系统是实现纳米尺度分辨率、大视场损伤检测的关键部件之一.文中对设计的微探针系统受力阻尼谐振过程进行了分析,给出共振频率的测试方法.在此基础上进行了共振频率测试对比试验,并对微探针振动进行了测试.试验结果表明,设计的微探针系统满足检测性能要求.
光学测量 微探针 共振频率