采用蒙特卡罗方法,模拟了O2非平衡态直流放电等离子体过程.计算了不同E/N条件下电子在氧气中的漂移速度,结果与实验数据符合得很好.模拟了电子平均能量和电子激发态粒子数随E/N的变化关系.提出了一种通过监测两条紫外谱线202.6和280 nm强度之比来监测电子平均能量的方法.该方法对于非平衡态气体放电等离子体在材料制备、激光应用及微电子技术等领域中的应用具有重要意义.
非平衡态等离子体 电子平均能量 蒙特卡罗模拟