在CO2激光直写聚合物PMMA微流控芯片加工原理基础上,对建立激光直写PMMA微流道的数学模型进行了研究.采用能量守恒原理对激光直写PMMA微流道成形进行分析,结果表明其微流道的形状呈高斯函数型分布,并获得了微流道深度与激光功率、加工速度及加工次数的函数关系模型.实验数据较好地验证了所建模型的正确性,该模型对CO2激光直写聚合物微流控芯片的加工参数选择具有较好的指导作用.
微流控芯片 PMMA CO2激光加工 数学模型