我们研制了一套以微电子光刻为应用背景的紧凑型高重复率、高性能、工作气体为氖气的等离子焦点装置 (NX2) 做为软X射线源.其储能电容由四组电容器组成.每一组又包括12个并联的0.6 μF电容器,共用一个轨道式开关.充电电压为11.5 kV时,其峰值电流可达400 kA.该装置中采用水冷式电极与真空室设计,以16 Hz 重复率连续运行几分钟产生300 W的软X射线.初步的光刻实验结果表明连续放电300次便可取得足够软X射线暴光量.
光刻 等离子体焦点 X射线