为适应未来遥感光学系统研究的需要,研制了一套低温真空实验装置.该实验装置包括低温真空腔体、真空抽气系统、ZYGO干涉仪和防震平台以及监控测温系统.其中的低温真空腔体是针对小型光学元件实验设计的,主要用于测量光学元件的温度场和低温变形,并且把电机产生的局部热量尽可能导出系统.文中还对真空低温腔的关键部件光学窗口和梯形支撑的设计进行了详细分析.
低温真空 低温光学 实验装置 有限元 ZYGO干涉仪 梯形支撑