详细介绍了Tl+-Na+离子交换制备玻璃波导1×4功分器的工艺制作过程.首先采用BPM软件设计波导光路图,设计并制作出具有10 μm和20 μm两种线宽的1×4模板,加工出3.5 cm×1.5 cm×0.5 cm基底玻璃板.然后按照工艺在玻璃面上镀上1 μm厚度的钛膜.依照母板模型对基底玻璃板进行光刻,得到理想对称S形状的钛膜窗口.在480 ℃交换温度下,把基底玻璃板放在 Tl2SO4 ,ZnSO4的混合熔液中经过10 h的交换.一块低损耗S型多模光波导功分器形成.接着经过研磨、抛光等工艺制作出体积小、操作方便、性能稳定、光损伤小和与光纤匹配的光功分器样品.
光波导 功分器 离子交换 玻璃