用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器，对高损伤阈值薄膜常采用的HfO2/SiO2薄膜进行了表面显微图象研究，分析了薄膜常见的表面缺陷，如节瘤，孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明，不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同，节瘤缺陷最低，约为15J/cm2，薄膜的损伤阈值主要由其决定，孔洞的激光损伤能力与节瘤相比较高，约为节瘤的2～3倍。节瘤缺陷在低能量密度的激光损伤所形成的孔洞，与镀制过程中形成的孔洞形貌相似，激光再损伤能力也相似。低能量密度的激光把节瘤缺陷变为孔洞缺陷是激光预处理提高薄膜损伤阈值的原因之一。
HfO2/SiO2高反射薄膜 表面缺陷 激光损伤