气浮沉积法简称AD法,是一种新近开发的表面涂层制备方法,属于热喷涂技术范畴.AD法由低真空沉积室,喷咀,粉末雾化室,机械真空泵等组成.AD法具有沉积温度低(室温),沉积率高,涂层密度高,结合强度高等优点.AD法的一个突出的应用就是制备铁电薄膜陶瓷涂层,如PZT (Pb(Zr,Ti)O3).AD法制备的PZT涂层成分均匀,且由于沉积中的液相烧结机理而致密化.退火处理可以很好地提高PZT涂层的铁电特性.载流气体种类对PZT涂层的结合强度没有明显影响.
AD法 MEMS PZT 冷喷涂 热喷涂