1 引言 21世纪,是人类全面进入信息电子化的时代.随着人类探知领域和空间的拓展,使得人们更依赖于获取外界信息的采集技术.敏感元件及传感器是人类探知自然界信息的触角,它可以将人们需要探知的各种非电量信息转化为电量信息,为人们认识和控制相应的对象提供条件和依据.在过去的几十年里,传感器这一用语经历了从诞生到家喻户晓的过程.今天,很难找到一个科学领域或产业部门,能够完全脱离传感器而存在.如今,作为现代信息技术的三大支柱之一的传感器技术,已成为21世纪人们在高新技术发展方面争夺的一个制高点.