在紫铜化学镀锡过程中引入超声波,研究了超声波功率对锡镀层的沉积速率、形貌、相结构和耐蚀性能的影响.结果表明:不同超声波功率下制备的锡镀层物相都为Sn和Cu,无明显择优取向.随着超声波功率提高,锡镀层的沉积速率呈现先增大后减小的趋势,形貌发生显著变化,容抗弧半径和|Z|0.01 Hz都先增大后减小,而腐蚀速率先降低后增加.适当提高超声波功率能促进化学镀锡反应的持续进行,同时提高形核率,实现结晶细化使锡镀层的致密性提高,耐蚀性能逐步提高.较佳的超声波功率为100 W,制备的锡镀层沉积速率达到5.3×10-2 mg/(mm2·h),其形貌质量较好,表面的颗粒大小均匀、紧密堆积,而且具有良好的耐蚀性能,其|Z|0.01 Hz是常规锡镀层的1.7倍,腐蚀速率较常规锡镀层降低了11.1％.
化学镀锡 超声波功率 相结构 耐蚀性能