为了满足望远镜副镜结构定位精度的要求,提出了一种固定杆长杆端轴向平移运动模式的六杆机构.根据六杆机构的结构和运动模式,对影响末端位姿的各项误差进行了分析,重点讨论了滑块运动误差对六杆机构运行精度的影响,最后通过搭建多自由度位姿检测平台对六杆机构进行了测试.测试结果显示:该副镜六杆机构在整个运动行程范围内平移轴测试精度好于0.25 μm,旋转轴测试精度好于0.2",两维旋转轴最大重复定位精度好于1.4",引起3维平移轴最大变化量＜4 μm,3维平移轴最大重复定位精度好于4.5 μm,引起两维旋转轴最大变化量＜ 3.4".分析和实验结果表明:导轨直线度引起的滑块运动误差是影响精度的主要因素,该六杆机构可以满足实际望远镜观测需要,可为我国建造大口径光学红外望远镜提供可靠的技术支持.
精密仪器 望远镜 副镜 方法:数据分析