采用MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃与Al2O3复合烧结,制备了MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2/Al2O3基LTCC复合材料.借助DTA、XRD、SEM和电性能测试手段,系统研究了玻璃/Al2O3比例和烧结温度对复合材料结构与性能的影响.结果表明,MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃是一种微晶玻璃,析出CaMg(SiO3)2相,但复合材料在析晶过程中与Al2O3发生反应,主要物相是Al2O3、BaAl2SiO8以及玻璃相.提高玻璃粉含量和烧结温度均能够提升致密性,当玻璃含量为质量分数50％～55％时,该复合材料在880～900℃即可烧结致密,具有εr=8.1～8.4、tanδ=0.0010～0.0013@13 GHz,σ>300 MPa等优异的综合性能,满足LTCC滤波器集成化、小型化和高可靠性的制作要求.
LTCC滤波器 MgO-SiO2-BaO-CaO-ZrO2玻璃 Al2O3 介电性能 抗弯强度