本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理.分析结果表明,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数Cs.如果等效球像差系数能降低到0.1×10-2cm的水平,则二次电子像的分辨本领为0.322nm(当扫描电子束的加速电压VA＝30kV).此外,在Cs＝0和扫描电子束的半开角α＝5×10-2rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到0.178nm( 当VA＝30kV).
二次电子像的分辨本领 等效球像差系数 最佳半开角 极限分辨本领