利用悬浮床,以Si粉为原料,在0.2 L/min的高纯氮气中,维持反应温度1～600 ℃,悬浮反应30 min,在预先放置的收集器上得到了SiC纳米线,XRD结果表明所得SiC纳米线为部分结晶状态,结晶态晶型为六方6H型.SEM形貌观察结果表明,所得SiC为纳米线.进一步SEM观察发现,大量纳米线的端部有球状液滴存在,VLS机制为该纳米线的主要形成机制, 通过EDX能谱对比分析,纳米线端部球状液滴中相对纳米线本身含有较多的氧元素,因此,氧元素对于通过VLS机制形成SiC纳米线起到了促进作用.TEM观察显示,纳米线中存在大量的堆垛层错缺陷.
碳化硅 纳米线 反应机制