根据考虑轴力的两端固支梁挠曲线微分方程,将受电场力作用的两端固支微开关梁的挠度求解问题归结为求解含有未知边界条件的微分方程问题,通过将微分方程的数值解法和一种三重二分迭代求解方法相结合,实现对含有未知边界条件的挠度微分方程问题的数值求解,再通过和优化方法相结合实现失稳挠度及吸合电压的自动计算与识别.给出的部分计算结果包括,不同的梁高下轴力对吸合电压的影响、轴力对失稳挠度的影响、不同的初始驱动电极间隙下轴力对吸合电压的影响、梁高对失稳时轴力引起的应力的影响等.
微机电开关 两端固支梁 静电力驱动 吸合电压 轴力 挠度