为提高以GaAs为基底的中红外探测器的综合性能,从理论上验证了在GaAs基底上镀TiO2 sol-gel纳米颗粒膜能够较大幅度地提高GaAs红外透过率,并在实验中获得了适合于镀膜的稳定TiO2纳米颗粒溶胶,有效控制镀膜工艺参数,在GaAs基底上成功地镀上了合适的TiO2 sol-gel膜,实现了增透效果,在2.5～6.0μm波段内,透射比的最大值由未镀膜的56%提高到镀膜后的94%.
红外探测器 增透 sol-gel膜 纳米TiO2