目前对于小曲率半径微电极的介质阻挡放电还有待深入的研究，而微腔结构是典型的小曲率半径微电极，易于产生表相放电。本文主要对微腔结构的放电发展特性进行研究，分析了未放电时单个微腔电势分布，并建立其放电发生的等效电路模型，并且利用实验获得的Lissajous图形对不同电压下的平均放电功率、等效电容、放电气隙电压和放电通道传输的电荷量进行计算，分析变化情况，以期能够为相关人士提供借鉴和参考。
介质阻挡放电 沿面放电 微腔