利用磁控溅射方法在Ti、TiZr和TiMo合金膜中引入氦并进行热处理后,用透射电镜观察膜材中的氦泡.所观察到的氦泡可为多面体形或球体形,或多数为球形化的多面体形.在800℃热处理后的Ti和TiZr合金中均观察到规则的六边形和八边形氦泡,对应基体材料单晶平衡外形多面体的投影.720℃热处理40 min后,TiZr合金膜中的氦泡比同样温度热处理130 min后的接近球形.在600～650℃热处理30～60 min后,合金中的氦泡比纯Ti中的氦泡更接近球形,生长受到的阻碍更大.除热处理温度、时间和合金成分外,晶界和其他氦泡也会影响氦泡形貌.在三叉晶界处的氦泡比晶界处的氦泡圆滑.氦泡在与其他氦泡邻近的部分会变得圆滑,促使自身向对方运动,促进氦泡的合并、长大.
氦泡 磁控溅射 Ti TiZr合金 TiMo合金 晶界 球形化多面体