1引言 集成电路装备集成了基础理论、基础材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、真空技术、精密机械、装备制造、统计分析、计量学、环境超洁净控制等科技领域的最新成就,是基础研究和应用研究共同发展的产物,许多技术已经在挑战机械、光学加工等方面的物理极限,集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表.随着中国经济的持续发展和以信息化带动工业化战略的实施,对芯片的市场需求将继续保持快速的增长,市场的增长带来了制造业的繁荣,中国正在成为世界集成电路制造业的重要区域,同时也将成为集成电路装备商争胜的焦点.