采用胶体晶体模板技术和磁控溅射工艺，通过调制溅射功率，制备了一系列不同形貌的Ag反点阵列修饰TiO2复合薄膜．通过扫描电子显微镜（SEM），X射线衍射（XRD），紫外一可见分光光度计（UV-Vis）和四探针测试仪等手段对样品的结构和光催化性能进行了表征．实验结果表明：Ag反点阵列的形貌对样品光催化性能有显著影响．随着反点孔径的减小，其导电性能迅速提升，样品的光催化性能逐渐增强．孔径为710nm时，复合薄膜的光催化性能达到最高．随后，继续减小孔径，样品的光催化性能出现了一定程度的下降，这是载流子损耗增多和遮光面积增大引起的．经Ag反点阵列修饰的样品的光催化性能均明显优于TiO2薄膜，主要是由于反点阵列可有效分离光生载流子，因此使其光催化活性得到显著提高．
Ag反点阵列 TiO2薄膜 光催化性能 载流子