应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属Ti靶、纯Fe靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同氧流量的Fe掺杂TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上.薄膜的制备用程序控制.通过在TiO2薄膜中形成一定的结构,并利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响.实验表明程序自动控制不同氧流量Fe掺杂TiO2薄膜的特性有了很大改变.
纳米二氧化钛薄膜 氧流量 亲水性 磁控溅射