采用线切割和真空压力热扩散焊组合工艺制备了高深宽比的三维微结构.分别研究了线切割与热扩散焊工艺并获得了较好的工艺参数用于制备微模具.首先,在脉冲宽度为10 μs,脉冲间隔为40 μs,线切割电流为0.28 A,电压为60 V的条件下,对100 μm厚的铜箔进行线切割,获得了多层二维微结构.然后,在热扩散温度为850℃,热扩散时间为10 h,压力为1.0μPa的工艺参数作用下,对多层铜箔二维微结构进行真空压力热扩散焊接,通过多层二维微结构的叠加形成微模具,并制备了六棱台微型腔模具及微型级联齿轮模具.实验结果表明:三维微模具表面形貌较好,制作结果较理想,与设计模型基本相符.最后,通过超声模压成型分别获得了二阶和三阶的塑料级联齿轮.这些微塑件质量良好,验证了该工艺方法的可行性.
三维微结构 微注塑模具 线切割 真空压力热扩散焊