针对压电陶瓷执行器输出位移的迟滞非线性现象,基于压电陶瓷铁电效应的微观极化机理,应用电畴转向理论,解释了产生迟滞非线性的原因.为了降低迟滞特性对压电陶瓷执行器的影响,研究了MPT-2MRL103A压电陶瓷微位移执行器迟滞特性,并采用广义非线性Preisach模型建立压电陶瓷执行器迟滞模型,利用建立的的模型作为PID反馈控制的前馈环节进行闭环精密定位控制,进一步改善压电陶瓷执行器驱动电压与输出位移间的线性关系,提高定位精度.
压电陶瓷执行器 铁电效应 迟滞非线性 广义非线性 Preisach模型