采用热化学气相沉积的方法首先合成了SiC纳米颗粒.接着,用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱、X射线电子能谱和X射线衍射谱等表征了材料的结构和组成.最后,利用光致发光谱和光致发光谱微区成像系统研究了材料的光学性质.实验结果表明,制备的纳米材料的尺寸约为70～90 nm;发光带由中心波长分别为530和542 nm的绿光发光峰组成,分析认为分别来自于SiC材料本身和表面缺陷;在相同的激发光强度下,材料最大发光强度相对于相同条件下合成的体材料提高5倍左右.制备的SiC纳米材料在绿光光电子器件领域有着潜在的应用价值.
零维SiC颗粒 热化学气相沉积 光致发光 发光机制