为提高MEMS电容麦克风灵敏度仿真效率,提出了基于反向传播神经网络灵敏度仿真模型.通过有限元软件Ansys仿真得到采样数据,训练神经网络.结果 表明,模型仿真最大相对误差小于2％,仿真时间0.6s.人工神经网络模型计算速度快、精度高,是传统灵敏度仿真模型改进.对比模型仿真结果均方根误差,还研究了训练数据和网络结构对模型仿真精度影响.30个训练数据、单隐层5个神经元是多晶硅固支振膜麦克风灵敏度最优模型.
微机电系统电容麦克风 灵敏度模型 人工神经网络