为了对高速运动测量装置进行校准,研制了一种闭环控制的高速运动测量机,该测量机可根据需要设定运动参数,按照正弦波和三角波速度曲线进行高速运动.高速运动测量机采用了花岗岩工作台和空气静压导轨技术,其高速驱动控制系统采用直线电机和PMAC运动控制卡,并以反射式钢带光栅作为位移检测和反馈控制传感器.采用铷原子钟作为控制数据采集的时间基准,通过精密时间间隔发生器同步控制基于现场可编程门阵列(FPGA)的高速数据采集系统,实现对位移的高速数据采集.试验表明,采用正弦波和三角波速度曲线进行高速运动时,高速运动测量机在300 mm行程的速度已分别达到5.3 m/s和7.6 m/s,最大位移跟随误差分别为-1.56～1.01 mm和-1.41～2.23 mm.该测量机可用于高速运动装置的校准测量.
高速运动 测量机 直线电机 空气静压轴承 铷原子钟