对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积C-90%SiC涂层进行不同温度的加热处理及H+注入.对加热处理前后H+注入涂层表面进行了SEM的观察,研究涂层表面加热处理前后鼓泡数量及分布的变化.通过AFM分析,研究涂层内沉积颗粒大小、形状以及分布与加热处理温度的关系.通过SEM-EDAX测量,研究涂层内组元分布的变化.涂层的H+注入的二次离子深度分布测量表明,试样经加热处理后,涂层的阻氢能力得到进一步的提高.
C-90 SiC涂层 SEM AFM 阻氢性能