提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷(PZT)厚膜致动器.采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况,优化了内外圈电极尺寸,制作了61单元六边形分布的致动器阵列.测试结果表明,致动器在100V工作电压下的冲程约为6.6μm,谐振频率为58 kHz,位移迟滞为8％～9％,通过采用单边电压-位移曲线的策略有效降低了位移迟滞,并进一步提出了分时驱动的电路方案.
变形镜 压电陶瓷(PZT) 致动器 双电极