太赫兹技术因其在医疗诊断，安全检查等领域具有很大的应用价值，使其成为当前各国争先研究的领域。太赫兹源则是太赫兹技术研究中极为关键的器件之一，而基于真空电子学方法的太赫兹源又是当前太赫兹源研究领域的重要分支之一。综述行波管、返波管以及回旋管这几类真空电子太赫兹源的结构、原理，结合器件的频率、功率等问题进行了重点讲解，同时对纳米速调管这一极具发展潜力的技术进行了展望。
太赫兹源 真空电子学 微加工技术 慢波结构