以非晶硅薄膜和聚苯乙烯微球为原材料,采用自组装方法和反应离子刻蚀技术制作非晶硅微米结构,以期应用于三维电池银背电极的制备当中.实验表明,对微球的刻蚀时间进行控制、对非晶硅的刻蚀气压、刻蚀时间进行控制,可获得不同的三维微米结构.采用合适的工艺条件可获得梯形结构、三角形结构,蒸镀银薄膜后能获得约95％的可见光、近红外光散射比率,为三维电池制备提供一种新的实现方法.
微球自组装 微米结构 非晶硅薄膜 三维电池