液晶衍射光栅在电控下能够实现光束控制和偏转,与传统的光束控制器件相比具有稳定性强、速度快、体积和质量小等优点.对液晶衍射光栅的光波调制相位分布进行精密测量是该器件研制过程的重要环节和评价其性能的关键手段.提出正交移相干涉测量液晶衍射光栅调制相位分布的方法.通过透射式相位板的对比实验对测量方法的可行性和准确性进行验证,分析测量精度和误差.使用该方法实现对液晶光栅相位分布的测量.实验表明,此方法简单、快速、可靠,能够准确测量出液晶衍射光栅±2级的波前调制相位信息.
液晶衍射光栅 波前相位检测 琼斯矩阵 PZT相移 Zernike多项式