选择电磁激励硅基MEMS谐振式压力传感器作为测试对象,配套了相应的测试设备,设计了一种可以快速测试传感器频率的基于自适应周期的同步测频方法.选择双谐振器结构来配置传感器芯体,以STM32f3系列单片机构建频率测试和压力解算系统.利用McU来实现同步采集传感器的两路频率信号和解算压力值的过程,同时利用RS232通信模块输出传感器的压力值.测试结果得到:以25 ms作为采样条件时可以控制压力输出波动在±5 Pa以内.升温阶段的传感器输出压力和标准器之间的偏差都在±30 Pa以内,符合传感器的测试要求.
传感器 频率测量 频率自适应 响应时间