为了提高电感器的自谐频率,采用半导体工艺制作了一款氧化铝陶瓷平面螺旋电感器,应用网络分析仪单端头法测试平面螺旋电感器的S值,推导出它的电感值和Q值.应用有限元分析法分析了平面螺旋电感器电极宽度、电极间距、电极匝数、线圈半径等电极参数对其电感值(L)和品质因数(Q)值的影响.实验结果表明,测试结果在低频段与仿真结果具有很好的一致性,随着频率的升高,测试结果与仿真结果的差别增大,可能是因为测试过程中探头的寄生效应导致.
平面螺旋电感 电极参数 电性能 仿真分析 测试