微电子机械系统(MEMS)谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数为MEMS器件的设计提供重要参考.提出一种基于相位相关技术的亚像素运动估计算法,可对相关拟合方法进行误差校准补偿,从而提高对物体运动的分辨力,实现纳米精度测量.利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析,得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线.利用扫频测量原理,获得了MEMS器件的幅频特性.实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量分辨力优于5 nm.
计量学 MEMS谐振器 动态特性 相位相关 亚像素