报道了所研制的Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥l模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10～1000 Pa，微波功率800～1000 W的范围内可形成大面(体)积(直径为160 mm)等离子体，其电子温度为1～4 eV,等离子体密度为1010～1011 cm-3量级，实测的等离子体密度与理论计算值基本吻合。
波导型表面波 大面积均匀 等离子体源 表面波模