电子背散射衍射装置是获取材料的亚微米的范畴晶体学信息扫描电镜附件,此装置可在观察材料的形貌及分析成分的同时研究材料的取向关系.本文介绍了电子背散射衍射接收系统,该系统的CCD以快速方式接收的灵敏度为5mlux,积累方式接收的灵敏度为10μlux,分辨率为512dpi,扫描卡最高的分辨率为4096X4096.并成功地安装在北京有色金属研究总院JSM-840扫描电镜上.此系统设计合理、结构简单、操作方便安全.同时根据Hough变换的原理,编写了识别电子背散射衍射花样的软件,实现了全自动实时识别此花样,给出相应的数据.
电子背散射衍射 数字图象 Hough变换 扫描电镜