电容式传感器微电容检测电路的选用与设计一直是研究的难点问题之一.文章介绍了基于电荷转移原理和基于振荡电路的两种测量方法.分析了两种测量电路的组成及工作原理.电路消除了寄生电容和电子开关的电荷注入效应等因素对测量结果的影响,系统采用直流恒压源作激励信号,不需要滤波,可以提高采样速度,采用差动输出,进一步提高了电路抗干扰能力,这对研究电容式传感器的电容量及其电容的变化量的测量有一定的现实意义.
电容式传感器 电容测量 电荷转移 电容-频率转换