介绍紫外探测技术的新发展.真空型紫外探测器以通道光电倍增管为代表,分析了以MCP为光电阴极基底,输入窗为透镜式的管子的特点;固体紫外探测器以GaN基紫外CCD为代表,把GaN紫外探测器与硅CCD多路传输器通过铟柱倒装互连而成的混合式紫外CCD.由于GaN基材料的禁带宽度与组分有关,光谱响应从200 nm-365 nm,在365nm(紫外光)波段具有很尖的截止响应特性,因而降低了对滤波器的要求,具有光谱响应特性好,灵敏度高,噪声小等优点.并对紫外探测的关键技术和发展动向做了初步分析,为紫外技术的进一步发展提供参考.
紫外探测技术 真空型紫外探测器 通道光电倍增管 固体紫外探测器