随着高性能IC制造装备的需求,提出了一种由升降旋转部件、径向直线伸缩部件、末端执行机构等部分组成的洁净搬运机器人.介绍了这种洁净搬运机器人的机械结构和技术特点,着重分析了其主要部件的运动机理.针对洁净搬运机器人手臂的转动惯量对系统动态性能的影响,利用Lagrange函数得到了计算转动惯量和转矩的公式,并利用Cosmosmotion对运动结果进行了分析与仿真,为动态性能的研究提供了重要的理论基础.
洁净机搬运器人 结构设计 运动分析 仿真