对钛合金基体上的TiN薄膜进行了不同剂量N离子的注入.利用扫描电镜、X射线衍射对离子注入前后组织进行了分析,并进行了硬度、摩擦磨损实验.结果表明:N离子注入使膜层呈现非晶化趋势,并随剂量增大而增强,当剂量为1.2×1018 ions/cm2时膜层非晶化,晶粒得到了细化;当剂量为9×1017 ions/cm2时变化最明显,尺寸约为20nm以下;表面硬度得到提高,其增幅受到剂量及晶粒细化影响,最大增幅约为163.8 HV;摩擦磨损性能在TiN膜层表面硬度提高、粗糙度降低及长程效应的影响下也得到了较大提高,主要受注入剂量影响.
离子注入 TiN 非晶化 细化晶粒 硬度 摩擦磨损