通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器.计算其灵敏度为2700pF/W、噪声等效功率为8.4×10(-8)W/Hz(1/2)和响应时间为0.5ms.利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响.
微电子机械系统 红外探测器 气动 Golay腔