为将等离子体用于材料表面局部处理的研究,对自行设计的一种用于大气环境中的辉光放电氮等离子体枪的放电特性和束流强度进行了实验测量和理论分析,得出了放电伏安特性曲线和气流量对枪炬工作电压电流的影响,分析了其原因,并给出了拟合解析方程式,发现工作电压和工作电流分别与气流量成e-指数增长和e-指数衰减关系;同时得出了该等离子体枪束流先膨胀后收缩特征分布,在束流喷出5 mm处达到最大作用面积,找到了得到最佳强度气流量值0.2 m3/h,给出了有关的机理分析,进而得出制备样品的最佳条件.
辉光放电 等离子体枪 伏安特性 束流强度 放电特性 束型