钇铝石榴石(YAG)是一种应用广泛的硬脆难加工材料,其抛光过程工艺复杂、效率低.固结磨料抛光技术具有平坦化能力优、对工件形貌选择性高、磨料利用率高等优点.试验采用固结磨料抛光YAG晶体,研究固结磨料垫的基体硬度和金刚石磨粒尺寸对YAG晶体的材料去除率和表面质量的影响.结果表明:当基体硬度适中为Ⅱ、金刚石磨粒尺寸3～5μm时,固结磨料抛光YAG晶体效果最优,其材料去除率为255 nm/min,表面粗糙度Sa值为1.79 nm.
固结磨料抛光 YAG晶体 材料去除率 表面粗糙度 磨粒尺寸 基体硬度