采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2 :λ=165.7 nm)以及CH(A2△→X2Ⅱ:λ=420～440 nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化,研究了不同反应室气压及衬底温度下的光发射谱特性.结果表明,不同衬底温度下各谱线强度均随气压的增大先增大后减小,当气压较低时,谱线强度随衬底温度的增大而减少,而气压较高时,谱线强度随衬底温度的增大而增大.
电子助进化学气相沉积 金刚石 蒙特卡罗模拟 发射光谱