在最近10年里超导量子干涉器件(SQUID)得到了广泛的研究,高温超导体的发现进一步促进了这一器件的发展.几个小组已经报道了利用高Tc SQUID测量心磁的实验结果[1～3].然而迄今为止由于尚未解决高Tc线材及其超导连接问题,因而还没有有效地制成高Tc梯度线圈,这无疑限制了它的使用.为此高Tc梯度线圈的研制已成为引人注目的课题.本文报道在SrTiO3(STO)基片上制备三面高Tc YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导薄膜的工艺、形貌及超导性能.由于基片上的薄膜在空间中两个端面相互平行通过中间膜彼此连接,因而只要采取适当的光刻技术,就可以制成SQUID磁场梯度计.
SrTiO3基片 三面YBCO超导薄膜 制备工艺