持续光电导(PPC)现象是影响Al_xGa_(1-x)N薄膜紫外探测器探测快速变化信号的一个不利因素,它的存在会大大延长探测器的响应时间.文章讨论了晶界对Al_xGa_(1-x)N薄膜紫外探测器时间响应性能的影响.实验结果表明,制作在高晶界密度薄膜上的紫外探测器表现出显著的PPC现象,而制作在低晶界密度薄膜上的紫外探测器则具有较快的时间响应,PPC现象明显减弱.这表明存在于晶界的缺陷可能是导致PPC现象的主要原因.通过提高薄膜结晶质量、降低薄膜晶界密度,可大大改善探测器的时间响应特性.
AlGaN薄膜 紫外探测器 时间响应 陷阱效应 晶界