CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结 构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上，通过流场模拟研究，得到的结果是： ① 在底部进气方式中，采用涡流器与多孔整流器，能消除中心射流与减小上部回流区域， 扩大反应器的有效使用空间；使衬底与气体主流方向成一定的夹角，能有效阻止气体边界层 的分离。② 在侧向进气方式中，气体采用30°喷嘴与衬底成30°角喷入，能在圆柱形衬 底面上形成较理想的边界层；增大衬底直径有利于消除反应器内的下部回流区。
CVI反应器 优化设计 气体流动可视化