对一种基于微电子机械系统（MEMS）执行器结构的非接触式三维微小力装置测量原理、装置结构、标定方法、力学特性及使用方法等进行分析。结果表明：该装置可产生空间任意方向微小力，实现空间非竖直方向微小力传感器量值溯源；利用该装置对微小力传感器进行量值溯源时，能大幅减小极板间距离测量与控制不确定度对输出微小力影响，装置无需配备复杂昂贵的位移控制与测量辅助装置便可达较高精度。对简化微小力传感器量值溯源装置结构具有较大实际意义。
微电子机械系统(MEMS)执行器 微小力 传感器 量值溯源