近年来,在简单体系上形成复杂规则的图案已引起诸多学者的注意,其中以聚合物为母体的体系发展了模板、局部紫外照射和激光诱导等一系列技术,从而得到可控的表面图案[1～6]. 本文用激光刻蚀法对溅射在聚合物膜上的金属薄膜进行处理,在热诱导情况下使金属/聚合物膜系表面产生了规则的图案. 薄膜热应力的可控释放作用和激光刻蚀造成的区域局限作用被认为是诱导这种可控图案产生的两种基本要素. 通过控制激光刻蚀区域,可控制薄膜表面形貌变化,从而实现可控的图案化设计.
PS/Pt聚合物膜 图案化 应力释放 激光刻蚀