设计了基于恒压自动控制的正压漏孔校准装置,装置由供气和稳压系统、抽气系统、校准系统、测量与控制系统、恒温系统等五部分组成,可采用比例积分微分(PID)控制模式和压力微小波动控制模式校准正压漏孔.在装置的设计中,解决了计算机控制系统的设计、精密小活塞的加工和计量、平动机构的设计、恒温系统的设计等关键技术.装置的预计测量范围为4×10-7 Pa·m3/s～5×10-5 Pa·m3/s,标准不确定度小于5%.
真空计量学 正压漏孔 漏率校准 校准装置 恒压法