采用溶胶-凝胶法在Si (100) 基底上制备Ca0.925Sm0.05Cu3-yMgyTi4O12 (y=0, 0.05, 0.10, 0.15, 0.20, 物质的量分数/％, 下同) 薄膜, 研究了镁掺杂量对薄膜物相组成、微观形貌以及介电和压敏性能的影响.结果表明:不同镁掺杂量薄膜均主要由多晶CaCu3Ti4O12相以及少量SiC和CaTiO3相组成;随着镁掺杂量的增加, 薄膜的晶粒尺寸和相对介电常数增大;当镁掺杂量为0.10％时, 薄膜的致密性能最好, 在低频下的介电损耗最小;不同镁掺杂量薄膜的电流密度和电场强度均为非线性关系, 当镁掺杂量为0.10％时的非线性系数最大, 漏电流较小.
溶胶-凝胶法 CaCu3Ti4O12薄膜 介电性能 非线性 压敏性能