采用阳极氧化法在丙三醇+NH4F+5vol％ H2O的电解液中制备了高度有序的ZrO2纳米管阵列,详细考察了溶液中F含量(0.1～1.1 mol/L)对纳米管形貌、相结构和化学组成的影响.利用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)对不同条件下制备的管径约90～130 nm,管长约4.8～9.1 μm的纳米管形貌和结构进行了表征.结果显示,在含有0.7 mol/L NH4F的电解液中获得了高度有序且垂直导向的四方相ZrO2纳米管阵列,而在较低浓度的电解液中制备的纳米管阵列为无定形结构,较高浓度下纳米管阵列出现坍塌.此外,纳米管近表层处F/O原子比也随F浓度的变化而变化.
ZrO2 纳米管阵列 氟 四方相 阳极氧化