为减小非线性误差对单频激光干涉仪测量精度及稳定性的影响,分析了引起其非线性误差的各种因素.利用琼斯矩阵推导出该系统光学参量的数学表达式.采用常规的优化调校方法提高系统精度会带来其它参数性能降低.提出改善单频激光干涉仪性能的最优控制优化调校方法.实验结果表明,采用该调校方法,使单频激光干涉仪信号的正交性、干涉条纹对比度和灵敏度均得到了一定程度的优化,干涉条纹对比度vimax,o可达到0.97,并且两路信号对1/8波片转角的4倍周期也变为2倍周期.
计量学 单频激光干涉仪 非线性误差 最优控制优化调校 干涉条纹对比度 灵敏度