为了解决纳米定位平台小型化、定位精度高的问题,采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅的、带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台.介绍了定位平台的工作原理,通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现定位平台的结构设计.提出了一种面内侧壁压阻加工方法,成功地在定位平台上集成了压阻位移检测传感器.实验结果表明,有效驱动电压取23.68 V时,定位平台最大单轴输出位移为10 μm,运动平台的定位精度优于20nm;室温下压阻传感器的阻值为4.2 kΩ,击穿电压为75 V,在平台输出位移为10 nm时,压阻器件的灵敏度(电阻相对变化)达到了3.6×10-5,完全满足设计要求.
体硅微加工工艺 微型定位平台 面内侧壁压阻 有限元方法 压阻灵敏度