用直流溅射法制备了6个不同厚度的超薄Ag膜.结合超薄Ag膜的结构特点,采用了Drude模型联合Lorentz OScillator模型的解谱方法,得到1～6号样品的厚度分别为4.0,6.2,12.5,26.2,30.0和40.6 nm.从拟合结果的消光系数k图谱中发现,在1号到4号样品中分别于430,450,560和570 nm处出现了表面等离子体共振峰(SPR),随膜厚的增加共振峰宽化且峰位红移.最后,利用SPR理论计算出不同厚度Ag薄膜等离子体共振峰出现的位置,并和实验结果进行了比较.
超薄Ag膜 椭偏数据解谱 表面等离子体共振吸收