系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术.从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点.针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施.多重狭缝的采用,使样品室内压强可以大幅提高;而气体二次电子探头(GSED)的发明,使作为成像信号的二次电子信号得到加强.
环境扫描电子显微镜(ESEM) 多重狭缝 成像信号 二次电子 ET探头 环境二次电子探头 气体二次电子探头