给出了一种声表面波(SAW)应变传感器石英基片各切向灵敏度的分析方法,以微扰理论为基础构建有限元模型计算应变量,并以此计算出SAW频率相对偏移量,分析计算不同切向下石英基片的应变灵敏度,并选取了应变灵敏度较高且温度灵敏度较低的ST-X切石英进行实验.实验测得应变灵敏度为0.382 kHz/με,与理论计算结果(0.590 kHz/με)基本一致,验证了理论分析方法的正确性.
声表面波(SAW) 石英切向 应变传感器 微扰理论 应变灵敏度