根据气体探测系统灵敏度的要求,基于甲烷气体红外吸收光谱特性,结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用“拆分技术”对气体滤波器进行膜系结构设计,降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜,根据测试结果逆向分析,优化工艺参数.所研制的滤波器在7.669 μm波长处峰值透过率达到85.14％,通带半宽度为59 nm,覆盖了甲烷气体吸收区域,截止区达到了OD3,很好地抑制了背景噪声.
光学薄膜 窄带滤波器 拆分技术 气体泄漏 探测与识别 灵敏度