准确的等离子体参数信息对射频离子源的研制十分重要,为获得这些关键参数,需要借助朗缪尔探针作为研究手段.研究利用COMSOL软件作为研究平台,建立射频离子源的几何模型,并加入探针作为变量,通过仿真模拟得到不同功率下的电子密度、电子温度分布,通过对比有、无探针加入的情况下所得参数的变化趋势,来分析朗缪尔探针对射频离子源的扰动情况.研究结果表明,探针放入等离子体后,会对等离子体产生扰动,等离子体放电中心向右偏移大于1 cm.该研究结果为射频离子源的设计以及朗缪尔探针的测量分析提供了参考.
射频离子源 朗缪尔探针 理论模拟