我们分别通过直流反应溅射及脉冲激光淀积法制备了ZnO多晶薄膜.X射线衍射结果显示出薄膜的c轴取向.原子力显微镜证实薄膜的多晶结构.两种方法制备的ZnO在光子激发下都发射较强的带边荧光.绿色荧光未被观察到.激光淀积在(001)硅表面的ZnO的发光源自"自由激子"辐射.激光淀积在(0001)氧化铝晶体表面的ZnO的发光机制则在相当宽的激发强度范围内都呈现出电子-空穴等离子体(electron-hole plasma)的复合特性.