利用物体的密度、质量、体积三者之间的数学关系,建立称重法测量金属薄膜厚度的测量模型,基于物体密度为一固定常量原理,提出通过测量薄膜的质量和面积来计算薄膜厚度的方法.用3种不同质量、厚度近似的铜膜对此方法进行了试验,并与X射线荧光分析等其它测量方法进行比对和分析,通过测量不确定度分析,验证了称重法的可靠性、实用性和准确性,是自支撑金属薄膜厚度量值的高精度测量和溯源的重要方法,其测量不确定度不超过0.3％.
计量学 自支撑薄膜 称重法 镀层 X射线荧光分析