为研究不同制样方法对导电性较差样品的扫描电镜图片的影响,以介孔硅材料为研究对象,采用场发射扫描电镜(FESEM),分别比较介孔硅粉末样品、溶液样品和薄膜样品在不同制样条件下的FESEM图片.结果表明:当扫描电镜测试参数完全相同时,介孔硅粉末样品在导电基底(液体银导电胶或碳导电胶带)上分散较好时可获得高质量的电镜图片;介孔硅球溶液样品制备在铜网上时,可消除荷电现象;对于连续的介孔硅薄膜样品,基底对扫描电镜图片质量的影响不大.因此,对样品前处理过程进行优化,不仅可获得高质量的扫描电镜图片,而且为实验结果的真实性提供有力保证.
场发射扫描电镜 介孔硅 制样方法 基底