21世纪初,GOL'TSMAN等人开启了超导纳米线单光子探测器(SNSPD)这一研究领域.历经整整20年的发展,SNSPD已经成为综合性能优异的单光子探测器,被广泛用于量子与经典的弱光探测.本文从性能指标、器件物理、薄膜材料、器件结构、加工工艺、光学耦合、信号读出、制冷系统、应用演示等9个方面,回顾了过去20年里SNSPD的重要研究进展;在此基础上,展望和评述了未来可能的研究与发展方向.
量子光学 单光子探测 超导纳米线单光子探测器 超导纳米条单光子探测器 超导电子器件 量子信息