化学气相沉积制备纳/微ZnO的过程中,当采用纯锌粉为锌源时,锌源易凝结成块.为了实现均匀的锌蒸汽蒸发速率,以混合SiO2的Zn粉为锌源,研究了纳/微ZnO产物的形貌和光致发光性的变化规律.采用SEM、XRD和PL光谱对产物进行了表征.SEM结果表明上游产物的形貌变化较为显著,下游产物形貌变化较小.XRD结果说明所有产物沿c轴择优生长.PL表明下游产物绿光发射峰相对强度降低,紫外发射峰强度相对增强.
化学气相沉积 微氧化锌 锌源 二氧化硅