提出了一种基于微流体芯片的液压油多污染物检测方法,所设计的传感器由一个平面电感线圈以及插入平面电感线圈中心孔的金属导线组成,既能当作电感传感器,也能等效成一个圆柱极板电容传感器,从而可实现一个传感器检测多种参数变化量的目的.并且芯片采用竖直式流道有效防止了检测流道的堵塞现象.在搭建的检测系统上进行相关实验,实验结果证明了环形流道可确保电感检测时金属颗粒物流经检测最为敏感的区域,降低颗粒的位置效应对检测的影响.电感模式下用20匝的平面电感线圈传感器实现了液压油中40 μm铁颗粒和140 μm铜颗粒的区分检测;在电容模式下用该传感器实现了油液中50 μm水滴和120 μm气泡的区分检测.该研究为液压油污染物快速检测提供了技术支持,对液压系统的故障诊断与预防具有重要意义.
液压油 多污染物 多参数检测 微流体芯片