采用Langmuir探针、扫描电源和微机数据采集系统相结合,实时获得了等离子体的伏安特性曲线及参数计算结果.本数据采集系统是一个虚拟仪器系统,包括数据采集、分析测试和结果显示三部分,用来采集Langmuir探针的电流电压信号,并加以分析处理.整个测试过程非常快,可以在ms级的时间内完成.相对于手动测试,基于数据采集系统的Langmuir探针诊断实验得到的数据更为精确,电压测试范围更大.并能去除因为等离子体电位漂移而产生的曲线失真.根据所得的伏安曲线,讨论了等离子体的电子温度,离子密度等参数的计算方法,进一步研究发现电子温度随真空室气压增大而变小,离子密度随气压增大而变大.
Langmuir探针 等离子体 电子温度 离子密度 数据采集系统