本文综述入射电子在样品中的散射、二次电子的产生机制和低能电子逸出的能量阈值效应.在大能隙半导体或绝缘体中,低能电子的非弹性散射自由程显著大于金属,从而为纳米材料的表征提供了条件.综述了低能电子显微术(LEEM)、低能电子投影显微术、弹道电子发射显微术(BEEM)、光发射电子显微术(PEEM)等低能电子显微方法,介绍了这些方法得到的许多结果.
弹性散射 非弹性散射 二次电子 能量阈值效应 低电子显微术