研制了 MEMS 特种压力传感器的组装系统.首先给出了 MEMS 特种压力传感器组装工艺过程,并通过分析得出组装精度下降将导致传感器灵敏度和线性性能下降的结论.在此基础上确定了自动组装系统的组成结构,并详细介绍了研制的具有力感知功能的微操作手、三工位键合炉以及显微视觉等关键技术模块.通过分析鱿钟泄枘ず概掏夹味猿菩苑植嫉奶氐?给出了一种芯片中心求取方法,为高精度自动组装奠定了基础.最后,将各模块集成建立了自动组装系统,给出了各个模块的控制节拍和流程,并通过实验证明该系统可实现5μm的组装精度和25s/个的组装效率,适用于多种MEMS传感器的自动组装作业.
微机电系统 自动组装 压力传感器 显微视觉