基于平面时栅传感器原理提出了多读数头平面时栅传感器.利用耦合面积原理分析传感器正方形与正弦形状定子槽形状与激励耦合的谐波特性,对比不同耦合形状对各次谐波的削弱效果,选择最优的耦合形状构建传感器模型.设计了传感器信号处理模型,对感应信号进行解算得到测量角度.设计了对误差补偿模型测量结果进行修正,提高了传感器的测量精度,通过与原始数据的比较误差补偿后,测量精度显著提高.
平面时栅传感器 多读数头 耦合面积 信号处理 误差补偿