简要阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎微米阵列的方法,进行实验装置以及实验方法的设计,利用所设计的粘附力测量装置,观测具有不同几何参数的微米阵列样本在不同条件下的粘附效果.主要比较了微米纤毛长度不同、其他几何参数相同的阵列样本与接触表面间的粘附效果;不同面积的阵列样本与接触表面间的粘附效果;微米阵列与不同材料接触表面间的粘附效果.对实验结果进行了讨论分析,得出三点实验结论.目的是通过实验现象,研究和发现人工合成阵列的接触粘附机理,进行合理的参数设计,从而加工出高性能仿壁虎粘附阵列.
微机电系统 仿壁虎粘附阵列 微米阵列 粘附性能 接触机理