氧化钨WO3-x(0 ≤ x＜1)具有丰富的氧化态、亚化学计量比晶相以及可逆的光致/电致变色特性,纳米线具有高比表面积和准一维单晶载流子传输通道,WO3-x纳米线结合了上述两者的优异特性,在智能玻璃、能源转换与存储器件和气体传感器等领域有广阔的应用前景.本文从WO3-x的基本性质出发,分析了液相法和气相法(气-液-固、气-固、热氧化)纳米线生长的机制及特点.其中,热氧化法无需催化剂,有望解决纳米线应用的器件化瓶颈,在＜ 500℃下即可实现纳米线尺寸与生长位置的可控生长,实现桥连纳米线器件的高效、原位集成.随后,本文综述了桥连WO3-x纳米线器件在NOx等气体分子检测中的应用进展,梳理了桥连WO3-x纳米线器件在低功耗、高灵敏气体分子检测中的应用,以期为今后高灵敏、低功耗、高集成的氧化物桥连纳米线器件的开发提供参考.
桥连WO3-x纳米线 热氧化 低功耗 高灵敏度 原位集成 气敏