采用MEMS技术(包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等)研制了平面磁芯螺旋结构微电感,磁芯材料为铁基纳米晶带材.其中线圈匝数为18匝,线圈导体的宽度和间隙均为30 μm,厚度为20 μm;电感的尺寸为3 mm×3 mm.测试结果表明:在频率为1～10 MHz时,电感量和品质因数分别为3.2～1.2 μH和2.3～1.1;在1 MHz下,电感量和品质因数分别为3.2 μH和2.3,可应用于微型化DC/DC变换器.
平面磁芯螺旋结构微电感 MEMS技术 电感量 品质因数