近场扫描光学显微术中,近场距离的检测和控制是需要解决的核心技术之一.本文研究了基于DDS驱动的压电传感器,在一个压电陶瓷片上,电极被分成相同的两部分,分别用于振动驱动和振幅检测.近场扫描的光纤探针固定于此压电陶瓷片上.振动驱动信号采用DDS,在样品的远场时,可以通过频率扫描得到误差在0.006 Hz以内的压电陶瓷片谐振频率驱动信号,而当光纤探针处于样品的近场距离之内时,压电陶瓷片的谐振频率偏离驱动信号频率,振幅明显减小,从而检测出近场距离.高精度振动驱动源DDS和高灵敏度压电传感器的采用提高了检测灵敏度和工作稳定性.
直接数字合成(DDS) 近场扫描光学显微镜 压电传感器 近场距离