介绍了透射式激光莫尔信号的特性,并建立了双光栅衍射的数学模型.在此基础上设计了一套以工业控制计算机为核心的精密检测定位装置,利用两组衍射光栅,取其透射零次激光莫尔信号的差信号为控制信号,由微机控制实现高精度位置检测及自动定位.系统采用的差动光栅技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度,实验结果表明,精密定位装置可获得±0.15μm的定位精度,对精密加工工程领域具有重要的实用价值.
透射式莫尔信号 差动技术 精密定位 工业控制计算机