建立了MEMS悬臂梁的静态、动态力学解析模型.采用遍历搜索和龙格库塔算法,分析了在静电力作用下MEMS悬臂梁的运动规律.考虑到MEMS悬臂梁的引入对检测系统匹配特性的影响,在建立的力学模型的基础上研究了系统匹配特性的解析模型,得到MEMS梁与下拉极板的间距改变对系统匹配特性的影响.在8～12 GHz范围内,在8、9、10、11、12 GHz处的回波损耗仿真结果分别为-22.044 6、-21.141 5、-20.281 7、-19.562 0、-19.155 6 dB,而回波损耗测试结果分别为-22.044 6、-20.931 0、-19.948 2、-19.072 2、-18.285 2 dB.实验结果表明,通过建立的力学解析模型、匹配特性模型仿真得到的回波损耗仿真结果与测试结果较吻合,这对改善电容式微波功率检测系统的综合性能具有一定的指导意义.
悬臂梁 动力学理论 龙格库塔算法 匹配特性