该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线.依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器.采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面波器件样品.研制过程中生长出了a面结构的ZnO薄膜,其中厚膜样品测试得到了3种声波模式,即模式0、1及2,模式0、1和2的频率分别为1 073.79 MHz,1 290.63 MHz和1 572.3 MHz,因此,间接测得了模式0、1和2的相速度分别为3 865.67 m/s,4 646.25 m/s和5 660.27 m/s.
声表面波滤波器 蓝宝石 相速度 机电耦合系数 ZnO膜