采用液相溶液选择性刻蚀法制备风琴状二维碳化钛(Ti3C2Tx),并采用O2-Ar微波等离子体在不同热处理温度下对Ti3C2Tx进行表面官能团调控.研究了不同等离子体处理温度下材料的微结构和表面官能团变化,探讨了Ti3C2Tx对甲醛和苯系物的气敏响应和选择性,从材料氧官能团变化角度探讨了可能的气体敏感机制.结果表明:O2-Ar等离子体处理可增加Ti3C2Tx材料中的表面氧官能团含量,经500℃热处理样品在最佳工作温度下对0.01％(体积分数)甲醛响应可达到169,同时在室温下对甲醛也表现出良好的气敏性能.
微波等离子体 二维碳化钛 表面官能团 气敏