线性运动平台是精密制造和测量的基础,其定位精度直接影响着制造和测量的精度.由于制造和装配误差的影响,运动平台存在六个自由度的运动误差,将影响运动平台的定位精度.为了提高运动平台的定位精度,需要准确地测量各项运动误差.传统的测量方法只能对单一误差进行测量,并且测量仪器体积较大,无法集成在运动平台中进行实时误差测量.本文提出了一系列成本低、体积小、易集成的高精度多自由度几何运动误差同时测量技术,可以根据测量需求选择测量系统的自由度,在提高测量精度的同时,实现在线测量,为提高线性运动平台运动精度起到重要作用.
线性运动平台 多自由度运动误差 激光测量 半导体激光器