结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法.在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测.模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5～0.5 μm变化时,位相改变量可实现-150°～150°的变化,检测灵敏度＞1 nm.该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点.
表面等离子体共振(SPR)传感器 角度传感器 纳米间距 共振角度 位相差