针对传统Fe2O3气敏元件工作温度高、响应时间长等缺点,采用分析纯FeCl3·6H2O和乙醇为主要原料,以AI2O3陶瓷片为基底,利用溶胶凝胶法制备了Fe2O3纳米膜及气敏元件.利用XRD(X射线衍射)、AFM(原子力显微镜)对纳米膜的结构及形貌进行了表征,结合Fe2O3纳米膜的形成机理,主要讨论了镀膜次数对薄膜结构、性能的影响;研究了薄膜元件的阻温特性及室温气敏性能.结果表明:镀膜20次后,Fe2O3颗粒粒径约为20～30 mn,镀膜30次后,纳米膜平整、均匀、无裂纹;室温下薄膜元件便对H2CH4有一定的气敏效应,响应时间小于3s,灵敏度随气体浓度变化呈线性关系.
Fe2O3 薄膜 气敏 室温