采用V2O5熔体淬水制成胶体,并浸涂于不同的基片上,分别用于电阻检测和组织结构分析.经过真空加热分解V2O5凝胶薄膜,得到了具有相变特性的VO2薄膜.在真空热处理温度为500℃,时间为34h,真空气压为2Pa,得到的VO2相变薄膜电阻突变量级达3.4,相变温度在67℃左右.另外.TEM组织观察表明,VO2薄膜为多晶组织,VO2薄膜晶粒尺寸对电阻突变量级影响较大.晶粒尺寸增加,电阻突变量级增大.VO2晶界对相变有阻碍作用.
VO2薄膜 V2O5凝胶 电阻特性