采用有限元方法,计算了不同温度下敏感元件内的温度场和流场.结果表明:在输入恒定角速度时,敏感元件内的温度场和流场随环境温度发生变化,温度增加,在两个检测热电阻丝处的气流速度之差减小,检测电桥输出电压减小,传感器灵敏度降低;温度下降,在两个检测热电阻丝处的气流速度之差增加,检测电桥输出电压增加,传感器灵敏度增加.当输入角速度为20°/s时,传感器的灵敏度随温度平均变化率为0.033 6mV/(°)·s-1·℃-1.
电子技术 环境温度 角速度 流场 传感器