对国内外亚微米球形二氧化硅微粉(以下简称亚微米球形硅微粉)的制备技术进行了综述.重点描述了江苏联瑞新材料股份有限公司通过与南京理工大学开展紧密产学研合作,自主创新,对亚微米球形硅微粉的制备机理进行了研究,建立了亚微米球形硅微粉制备过程中炉膛内的温度场及球化过程模型,研究了一种制备亚微米球形硅微粉的新方法.分析结果表明,制备的产品具有无定型含量高 、表面光滑 、分散性好 、粒度分布适当和纯度高等特点,并已成功进行数吨级大批量工业化生产,此方法及其产品应用前景广阔.
亚微米 球形硅微粉 粉末技术 火焰法 特种功能无机非金属材料 集成电路技术