利用聚焦离子束(focused-ion-beam,FIB)刻蚀在纳米厚的单晶硅悬臂梁表面来制备三维纳米螺旋.单端固支的悬臂梁在FIB刻蚀引入的应力下卷曲,通过控制FIB应力引入的角度和间距,可制备出螺径在540-840 nm、螺距在1 780～2 160 nm间的系列三维纳米螺旋.利用原子力显微镜对纳米螺旋的机械特性进行了测量与研究.实验测得退火前与退火后的螺旋的横向弯曲弹性系数分别为40.74 N/m和16.45 N/m,而与之比较的单端悬臂梁的横向弯曲弹性系数在退火前后没有明显的变化.此外,在环境扫描显微镜中进行了螺旋的机构稳定性研究,实验发现FIB刻蚀制备的螺旋结构的稳定性很好.
聚焦离子束 纳米螺旋 纳机电系统