针对宽禁带半导体紫外探测器响应不够灵敏和响应度偏低等问题,将具有高功函数的Pt电极引入TiO2紫外探测器,采用溶胶凝胶法制备了纳米TiO2薄膜.以金属Pt为电极,采用磁控溅射的方法,将Pt电极溅射在TiO2纳米薄膜上,制作了MSM (Metal-Semiconductor-Metal)型紫外探测器件.在5V偏压下,探测器的暗电流为4.5 nA,260 nm波长光照下的光电流为5.7 μA.在260 nm的紫外光照射下,探测器的响应度达到最大值,约为447 A/W,与其他紫外探测器(200 A/W左右)的响应度均值相比有了很大的提升.最后,设计外围电路,制作出功能完整的紫外强度测试仪.实验表明,该探测器成功地解决了传统宽禁带半导体紫外探测器灵敏度及响应度偏低等问题.
紫外探测器 纳米TiO2 MSM