为提高MEMS仿生矢量传感器的定位精度，对其误差来源进行分析。对于单个矢量传感器，误差来源于其自身灵敏度不一致及流噪声的影响。提出通过分段插值来绘制线性曲线、选用差分测量结构和调整两路输出信号的大小使灵敏度一致；对于流噪声产生的误差，提出一种加聚氨酯导流罩的新结构，可以使水听器抑制流噪声的能力较之前提高20 dB。对阵列而言，选取不同阵元数进行仿真对比分析，得出随着阵元数的增加，水声传感器阵列DOA估计的准确度会随之增高，分辨力也随之增强。通过对影响MEMS矢量传感器方位估计的误差来源进行分析，进一步提出解决方案，为提高其定位精度提供了有力的科学支撑，从而为MEMS矢量传感器的工程化应用奠定了坚实的基础。
矢量传感器 噪声分析 灵敏度分析 方位估计 误差分析