介绍了新型的几何量光学微纳米测量仪器——无限变焦3D形貌仪.简述了该仪器的测量原理,系统分析了其功能与技术特点.结合实际检测需求,介绍了其在几何量微纳米检测中的应用,主要包括长度尺寸、形状、角度、粗糙度等参数的测量.通过对相应实物标准器的测量实验与数据结果分析,给出了该仪器在上述测量应用中各自的精度与误差特性.最后,对可能影响测量结果的因素进行了分析,并给出使用该类光学形貌测量仪进行测量时的建议.
计量学 几何量检测 3D形貌测量 变焦技术 微纳米检测