提出一种具有光束会聚功能的单层亚波长光栅结构,该结构能实现光束会聚及四路分光.利用严格耦合波分析法和波前相位控制原理设计并优化该亚波长光栅结构,并给出具体相位设计规则.基于有限元软件COMSOL对其进行仿真分析,结果表明,当波长为1550 nm的横磁(TM)偏振光入射时,该结构可实现四路分束,每束光功率都相等且可实现光束会聚,经计算得到总体透射率为92.670％.该亚波长光栅结构有望在光通信集成以及空间光耦合等领域得到重要应用.
光栅 亚波长光栅 会聚光束 功率分束器 波前相位控制原理 光学器件