超导转变边沿传感器(TES)是光强单位坎[德拉]量子化所需的单光子探测器,金属超导薄膜物理特性的研究是TES研究的基础.采用不同电源功率磁控溅射制备高纯Al、Ti超导纳米薄膜,分析其薄膜生长速率随气压和功率的变化.利用表面应力仪及电学测量仪,分析薄膜表面应力及电学特征.最后将薄膜放入商用稀释制冷机中,进行超低温测试,获得其超导特性.研究发现超导转变温度Tc以及转变沿宽度△T是影响TES能量分辨率以及时间常数的重要参数.实验结果将为TES器件的制备奠定基础.
计量学 超导薄膜 TES 单光子探测器