利用电化学、接触角、化学机械抛光等试验研究一种新型环保的铜缓蚀剂聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone,PVP)的效果.结果表明:PVP在铜化学机械抛光中具有一剂多用的效果,将其与另一种环保弱缓蚀剂1 ,2,4-三氮唑(1 ,2,4-triazole,TAZ )混合使用,既能保证平坦化效果,又能实现工业生产所需的低压高去除率抛光,在粗糙度为2.28 nm时,去除率达到1 29 1 nm/min.
铜 弱缓蚀剂 聚乙烯吡咯烷酮 混合缓蚀剂