用扫描电子显微镜研究了室温下氦离子辐照Fe77Ni5B18等10种非晶态合金的表面形貌.氦离子的能量为40keV和60keV,总注量为1.0×1018-4.0×1018He/cm2.对于不同的注量和不同的材料,观察到了层离、发泡、剥落、发泡破裂、二代发泡和多孔结构等多种表面损伤类型.测量了泡的直径和剥落泡皮的厚度,并讨论了表面损伤类型和初现的临界注量与材料种类和离子能量的关系.
发泡 层离 氦离子注入 表面损伤 非晶态合金