微滴沉积制造过程中,微滴产生是一个随机变化过程.为了精确控制微滴的产生,利用现场采集的关键参量反馈控制,建立一个闭环的金属微滴产生系统.采用模块化结构设计该系统,并采用虚拟仪器技术实现了关键参量的有效控制.试验结果表明,该系统能够通过调整激振频率有效地提高微滴尺寸精度与形状精度.在优化激振频率的条件下,系统能产生具有窄带尺寸分布的金属颗粒,其直径相对偏差小于3%,满足制造过程对微滴的要求,为后续微小型金属件的成形提供必要的基础.
金属微滴产生 反馈控制 关键参量 优化条件 微滴直径