文中开展了具有阿基米德曲线形驱动臂的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)双晶压电执行器的设计、模拟仿真以及实验验证.为验证不同设计的表现,分别设计并制造了全驱动型和半驱动型压电执行器.这2种压电执行器通过商业化的生产工艺制造,与更复杂的MEMS系统兼容.采用有限元法分析了2种执行器的位移与驱动力,还开展实验分别测试了2种执行器的位移与驱动力.研究表明,在相同的驱动电压下,全驱动型压电执行器的性能优于半驱动型压电执行器.当驱动电压为110V时,半驱动型和全驱动型执行器的实验测量位移分别约为17μm和29μm,相应的驱动力的实验测量值分别约为9 mN和15 mN,实验结果与有限元分析结果相符.仿真和实验结果表明文中提出的执行器设计方案是合理的.
阿基米德曲线 压电执行器 有限元分析 电极构型