该文研究了在新型压电材料YCa4O(BO3)3(YCOB)上设计和制备高温声表面波(SAW)谐振器.研究了2种不同切型X-90°、Z-90°YCOB为基底的SAW谐振器的高温性能.研究表明,在600℃下器件的稳定性高,其谐振频率随着温度的升高呈线性降低.Z-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为278.94 MHz和21.22 kHz/℃;X-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为230.53 MHz和13.44 kHz/℃.结果表明,Z-90°切型的YCOB的温度灵敏度较高.
YCa4O(BO3)3 声表面波 高温谐振器