给出了气压为10～28000 Pa时,环形倾斜裂缝天线等离子体源的放电特性.实验表明,该源在气压为10～2600 Pa范围内是大体积表面波放电,并且在气压为10和230 Pa时清楚地观察到裂缝天线附近石英管内的等离子体有较明显的8个瓣和12个瓣(表面波模式可确定为m=4和m=6);当气压升高到4000～6000 Pa时,在石英管的底端和不锈钢真空室交界处激励起直径约为12 cm的高密度等离子体椭球(1011cm-3量级);在气压为11000～14000 Pa时,发现等离子体有明显的涡动现象;而当气压上升到20000 Pa以上,等离子体有丝状结构出现.
裂缝天线 宽气压 微波等离子体 表面波 涡动