纳米ZnO具有许多优异的光学性质和物理化学特性而受到广大科研者的广泛关注,而高质量纳米ZnO薄膜具有非常广泛的用途和应用前景.根据最新国内外研究现状,本文重点研究高质量纳米ZnO薄膜的制备方法:溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、分子束外延法、激光脉冲沉积法和溅射法;并比较几种制备方法的优缺点,分析高质量纳米ZnO薄膜在太阳能电池、气敏元件、压电元件和压敏元件等方面的应用.
纳米ZnO薄膜 制备方法 应用 发展