微光电子机械系统（ MOEMS）扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势，在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上，针对静电驱动中的微机械集成方式，展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨，并给出了典型产品及系统应用，总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状，并分析了与国外产品的差距。
微光电子机械系统 扫描镜 静电驱动 框架式