微等离子体喷枪是一类重要的微等离子体源,已成为近年国际上低温等离子体研究的热点课题之一.与常规等离子体喷枪相比,微等离子喷枪具有低功耗、低温度、高密度等特性.由于电极间隙小,适合于高气压或大气压下运行,因而微等离子体喷枪具有体积小、易于集成、便携等优势.目前研制的微等离子体喷枪主要有直流微空心阴极型、高频微DBD型、射频电容耦合型、射频电感耦合型、微波耦合型等放电形式.现阶段,微等离子体喷枪已在半导体制造领域、生物医学领域、航天推进领域进入了实用化阶段.本研究组研究制作了高频微DBD和射频电容耦合型结构的喷枪.将其应用于光刻胶去胶、材料表面改性及微生物灭菌领域,并对喷枪的放电特性进行了研究.基于本研究组的实验研究,本文综述了已有的各种微等离子体喷枪.介绍了各种微等离子体喷枪的结构和工作原理,以及在不同领域的研究和应用状况.
常压等离子体 微等离子体喷枪 微空心阴极放电 微介质阻挡放电