以尖晶石结构ZnFe_2O_4材料为研究对象,以可溶性无机盐为原料,利用溶胶-凝胶技术在Al_2O_3基片上制备了ZnFe_2O_4薄膜,研究其对低浓度丙酮气体的敏感特性.通过DTA,TG,XRD及SEM分析手段对制膜过程及薄膜形态进行了表征.研究发现,采用柠檬酸作为络合剂的无机盐原料溶液-溶胶-凝胶(ISG)工艺,在700℃烧结温度下,可以得到覆盖良好、结构均匀、晶粒尺寸约在100 nm的尖晶石结构ZnFe_2O_4薄膜.通过该薄膜对丙酮气敏特性测试表明,ZnFe_2O_4材料对丙酮具有较好的敏感性,在550℃的操作温度下,材料对丙酮气体敏灵敏度为8,响应与恢复时间小于5 s.
ZnFe_2O_4 薄膜 溶胶-凝胶法 丙酮 气敏