该文介绍了基于大机电耦合系数乐甫波模式的超宽带低损耗声表滤波器的开发,基底为15°YX-LiNbO3晶体和铜电极.设计采用修正的耦合模模型进行精确仿真以及模拟退火算法进行谐振器参数的优化.通过假指电极宽度/长度加权来抑制横向模式谐振造成的寄生响应,通过在滤波器表面涂覆黏性膜来有效抑制瑞利波模式造成的寄生凹坑,最终制作出一款中心频率约620 MHz,插损0.94 dB,-1 dB相对带宽14.9％,-3 dB相对带宽18.3％,带外抑制大于40 dB性能较优良的器件.
声表面波滤波器 超宽带 铜电极/15°YX-LiNbO3