该文对中国低活化马氏体（CLAM）钢在室温进行氦离子注入，注量分别为1×1015/cm2、5×1015/cm2和1×1016/cm2。注入后利用透射电子显微镜（TEM）和能谱（EDX）进行微结构分析。TEM的结果表明注入之后没有形成明显的缺陷。对碳化物进行了尺寸统计，结果表明氦离子注入之后的碳化物尺寸较注入之前有所增加。电子衍射斑点和EDX的结果表明碳化物为M6C和M23C6类型，其成分和结构在注入前后均没有发生变化。
离子注入 CLAM钢 碳化物