当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时,由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数,用CCD接收反射光分布信息并经过计算机分析处理,可实时、在线测量10nm内的铬、钛等金属膜厚,这类金属的复介电常数的实部相对虚部是较小的负数,故具有强反射锐峰及较平坦的吸收峰,该两峰点可作为膜厚测量依据的特征标记点,并通过建库进行曲线匹配而获得膜厚数值.实验结果表明,该方法的平均测量误差可低于0.4nm.
应用光学 表面等离子体振荡 在线纳米测量 膜厚