利用偏光显微镜、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对聚酰亚胺(PI)表面正常区域和静电损伤区域进行系统观测.偏光显微镜的观测基于超扭曲向列相液晶显示(STN-LCD)的关态透射原理,并确定损伤区域的线度在50～100 μm.用SEM区分静电损伤引起的"白点"与尘粒引起的"白点",同时观测到电极被局域破坏,其线度沿电极边缘约20 μm.通过AFM的直接观测发现,与正常区域比较损伤区域失去了沟槽结构,但仍然保持深度在10 nm以内的二维无序凹凸结构,其原因为:损伤后PI对液晶分子取向作用失效的机制是沟槽结构的消失.
液晶显示 聚酰亚胺 静电损伤 偏光显微镜 扫描电镜 原子力显微镜