磁场能有效地改变介质阻挡放电放电特性.然而,目前对于磁场环境下DBD臭氧发生重要参数的影响鲜有报道.本文主要实验研究了放电电压、频率和气体流量对磁场环境下针板DBD臭氧发生的影响.实验结果表明:磁场增加了放电电流,因此在8 kV和6.5 kHz下放电功率提高了约22.9％;臭氧浓度、臭氧产率和放电功率均随放电电压的增加而增加.同时磁场对臭氧浓度和放电功率有积极的影响,且随着放电电压的增大,这种影响将更明显.在8 kV,6.5 kHz和1 SLPM下臭氧浓度增加约33.1％,但磁场并不能增加臭氧产率;臭氧产率则随着气体流量的增大而逐渐增大;随着放电频率的增加,臭氧浓度和放电功率增加.同时随着放电频率的增加,磁场对臭氧浓度和放电功率将有更积极的影响.
臭氧 介质阻挡放电 磁场 放电参数 低温等离子体