采用微细加工技术在127.8°YX型LiNbO3压电基底上制造出周期为400μm的铜叉指结构的微型雾化器.该雾化器利用声表面波(SAW)对液滴表面产生的表面张力波作用实现对液滴的雾化.对叉指结构(IDT)周期长度的确定和器件的制作工艺进行了详细说明.利用对液滴驱动速度的测定得出了该雾化器的实际中心频率,并指出实际中心频率与理论值存在差异的原因.得出雾化微粒直径与叉指结构周期之间的关系,并计算得出在施加驱动频率为10.1 MHz、功率为24 W的电信号时,其雾化颗粒直径为2.61μm,雾化速度达到了1 μL/s.
微细加工技术 雾化器 声表面波 叉指换能器 微粒