介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9 m3/s量级的精密小孔,通过在10-1～10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8～ 10-10 Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%.利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-10～ 10-12 Pa· m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%.利用极小气体流量测量技术校准了小于10- Pa· m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度.与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级.
极小气体流量 固定流导法 分流法 漏率校准