通过射频磁控溅射技术,成功制备了具有金属-半导体-金属(MSM)结构的ZnO紫外光电探测器.研究了外加偏压对探测器响应度和截止波长的影响.随着偏压的增大,器件的响应度逐渐增加并且趋于饱和,探测器的响应截止波长红移了12 nm.这是电场引起的耗尽层的展宽以及带隙倾斜造成的.提出了一种利用外加偏压控制探测器截止波长的有效方法,该方法对紫外光电探测器的进一步研究和应用具有重要意义.
探测器 光电探测器 氧化锌 金属-半导体-金属结构 响应度 截止波长 红移