采用微波等离子化学气相沉积法,使用甲烷、氢气和二氧化碳作为反应气氛进行金刚石膜的沉积研究.实验中通过添加并改变气体组分中CO2/CH4比值金刚石膜在高碳源浓度条件的可控性生长.通过Raman光谱、X射线衍射(XRD)及SEM对金刚石膜的沉积质量,生长取向及表面形貌进行表征.结果表明,在其他参数保持一致时,在高甲烷下,只改变CO2/CH4比值可明显改变金刚石膜的表面形貌并提高金刚石膜的质量,实现纳米、(111)面及(100)面微米金刚石膜的可控性生长.
微波等离子 CO2/CH4流量比 金刚石膜