本文对典型的MEMS结构在运动过程中产生和辐射电磁波的机理以及产生的效应进行了研究.基于对MEMS结构的机械、电与电磁的耦合机制的研究,分析了MEMS结构运动过程中产生电磁波的机理.MEMS结构的相对运动以及基板上所携带电荷的运动都可以产生电磁波.在距离电磁波源1 cm处,MEMS结构辐射出的电磁波的频率为100 kHz;当MEMS结构间距为1.5 μm,辐射出的电磁波的电场强度为0.45 V/m.产生的电磁波的频率与幅度受到距离,结构运动的频率以及具体形状的影响.本文还考虑了辐射出的电磁波对同一个芯片上其他器件的影响.
MEMS 电磁波 可动结构 静电荷