采用SiO2水溶胶(ACS)为硅源， H3PO4为桥联剂， H2O2为活化剂在玻璃表面成功制备了一种性能优异的新型减反膜。利用FTIR、XRD、FESEM、TEM、AFM对薄膜结构、形成机理及性能进行了研究，结果表明，在成胶过程中， H2O2的导入有效修复了SiO2胶粒的表面羟基，提高了SiO2的反应活性；而在焙烧过程中， H3PO4通过其自身脱水形成的偏磷酸链状体分别与 SiO2胶粒及玻璃基底表面的 Si-OH 进行了脱羟基缩聚，构架了坚固的Si-O-P网络交联，最终形成了稳定的磷硅酸盐凝胶网络结构，提高了成膜质量。当n(H3PO4)：n(H2O2)：n(EtOH)：n(SiO2)=0.49：0.52：30：1时，制备的SiO2减反膜在可见光区平均透光率高达98%，硬度可达6H。
SiO2水溶胶 磷酸 双氧水 Si-O-P桥键 减反膜