纳米时栅是利用交变电场进行精密位移测量的新型传感器.由于传感器的安装偏差、结构实现、基体加工和工作环境变化等均会导致测量误差.为研究误差的产生原因及对测量精度的影响规律,在纳米时栅传感器的测量模型基础上,建立了由于驻波参数变化产生的测量误差模型,具体分析了驻波信号参数变化中幅值不相等、相位不正交、含有高频干扰这3种情况的误差变化情况,经实验验证了理论的正确性,明确了测量误差产生的原因,为纳米时栅的结构最优化设计提供了理论依据.
误差分析 位移测量 纳米时栅 误差建模