利用射频溅射法在室温下制备了可作为离子传导层的非晶态钛酸锂(LixTiyOz,LTO)薄膜,并利用XRD,SEM、紫外-可见分光光度计等,探究溅射功率对沉积薄膜微观结构和性能的影响.之后将其应用于电致变色器件,并以器件变色响应速度、变色均匀性、循环测试后的衰减程度等性能作为主要参数,探索最适合作为电致变色器件电解质层的LTO薄膜制备工艺.结果表明,当溅射功率为100 W时,所制备的LTO薄膜为非晶态,表层均一致密,厚度约为165 nm,光学平均透过率达70％ 以上.将其应用到电致变色器件中,器件着色、褪色时间可缩短到13,14秒,变色性能优异.
电致变色 钛酸锂 磁控溅射 器件