The near-interface traps results show that the dry oxide has a density around 1013 cm − 2 while the N2O annealed has density of 4 · 1012 cm − 2 and the best results are found in the oxide grown in the presence of Na with density of about 3 · 1011 cm − 2.
Þó er grannveiluþéttleikin lægstur fyrir oxíð ræktað við nærveru Na en hin sýnin og hæstur fyrir þurr oxíð sýnin.