Im Jahr 2003 soll diese mit UV-Licht von 157 nm Wellenlänge stattfinden für 2005 ist ein Riesensprung auf nur 13 nm ( EUV ) geplant .
1-2	Im	_	_	_	_	_	_	_	_
1	In	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
4	2003	2003	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	3	nmod	_	_
5	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	13	aux	_	_
6	diese	diese	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	13	nsubj	_	_
7	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	UV-Licht	Licht	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	157	157	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	nummod	_	_
11	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
12	Wellenlänge	Wellenlänge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	appos	_	_
13	stattfinden	stattfinden	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
14	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	15	case	_	_
15	2005	2005	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	26	obl	_	_
16	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	26	aux:pass	_	_
17	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	Riesensprung	Sprung	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	26	nsubj:pass	_	_
19	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	22	case	_	_
20	nur	nur	ADV	ADV	_	21	advmod	_	_
21	13	13	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	22	nummod	_	_
22	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	18	nmod	_	_
23	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	24	punct	_	_
24	EUV	EUV	PROPN	NE	Person=3	22	appos	_	_
25	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	24	punct	_	_
26	geplant	planen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	13	parataxis	_	_
27	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
