Nach Angaben von Infineon sind zum Belichten der 925 DRAM-Schaltkreise eines 300 mm-Wafers immerhin 105 Einzelbelichtungen nötig .
1	Nach	Nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	2	case	_	_
2	Angaben	Angabe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	obl	_	_
3	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	18	cop	_	_
6-7	zum	_	_	_	_	_	_	_	_
6	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Belichten	Belichten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	18	obl	_	_
9	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	11	det	_	_
10	925	925	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	nummod	_	_
11	DRAM-Schaltkreise	Kreis	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
12	eines	eines	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
13	300	300	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	mm-Wafers	Wafer	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
15	immerhin	immerhin	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
16	105	105	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	17	nummod	_	_
17	Einzelbelichtungen	Belichtung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	nsubj	_	_
18	nötig	nötig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
