Auf der in Santa Clara stattfindenden SPIE Microlithography conference buhlten die Verfechter der EUV ( extreme-ultraviolet lithography ) und der EPL ( e-beam projection lithography ) um die Gunst des Publikums und berichteten von ersten Produktionserfolgen .
1	Auf	Auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
3	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	Santa	Santa	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
5	Clara	Clara	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	4	flat:name	_	_
6	stattfindenden	stattfinden	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	7	amod	_	_
7	SPIE	SPIE	PROPN	NE	Person=3	10	obl	_	_
8	Microlithography	Microlithography	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	7	flat	_	_
9	conference	conference	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	7	flat	_	_
10	buhlten	buhlen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
11	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	12	det	_	_
12	Verfechter	Verfechter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nsubj	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	14	det	_	_
14	EUV	unknown	NOUN	NN	Person=3	12	nmod	_	_
15	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	16	punct	_	_
16	extreme-ultraviolet	extreme-ultraviolet	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	14	appos	_	_
17	lithography	lithography	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	16	flat	_	_
18	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	16	punct	_	_
19	und	und	CCONJ	KON	_	21	cc	_	_
20	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	EPL	EPL	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	16	conj	_	_
22	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	23	punct	_	_
23	e-beam	e-beam	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	21	appos	_	_
24	projection	projection	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	23	flat	_	_
25	lithography	lithography	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	23	flat	_	_
26	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	23	punct	_	_
27	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	29	case	_	_
28	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	29	det	_	_
29	Gunst	Gunst	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	obl	_	_
30	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	31	det	_	_
31	Publikums	Publikum	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	29	nmod	_	_
32	und	und	CCONJ	KON	_	33	cc	_	_
33	berichteten	berichten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	10	conj	_	_
34	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	36	case	_	_
35	ersten	NULL	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Sup|Number=Plur	36	amod	_	_
36	Produktionserfolgen	Erfolg	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	33	obj	_	_
37	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	10	punct	_	_
