Der bisher erhältliche Mobilprozessor bei 166 MHz wurde noch in der 0,35-µm-Technik hergestellt .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
2	bisher	bisher	ADV	ADV	_	3	advmod	_	_
3	erhältliche	erhältlich	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	4	amod	_	_
4	Mobilprozessor	Prozessor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	nsubj:pass	_	_
5	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	166	166	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	7	nummod	_	_
7	MHz	MHz	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
8	wurde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	13	aux:pass	_	_
9	noch	noch	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
10	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	0,35-µm-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
13	hergestellt	herstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
