Das System " Ultra ECP " zur galvanischen Beschichtung von Wafern erlaube Kupferlagen mit einer Schichtdicke von 50 bis 5 Nanometern bei einer Abweichung von weniger als einem Prozent .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	System	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	13	nsubj	_	_
3	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
4	Ultra	Ultra	PROPN	NE	Person=3	2	appos	_	_
5	ECP	ECP	PROPN	NE	Person=3	4	flat:name	_	_
6	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
7-8	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
7	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
9	galvanischen	galvanischen	ADJ	ADJA	_	10	amod	_	_
10	Beschichtung	Beschichtung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
11	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
13	erlaube	erlauben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
14	Kupferlagen	Lage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	obj	_	_
15	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Schichtdicke	Dicke	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
18	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
19	50	50	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	17	nmod	_	_
20	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	22	case	_	_
21	5	5	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	22	nummod	_	_
22	Nanometern	Meter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	19	nmod	_	_
23	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	25	case	_	_
24	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	25	det	_	_
25	Abweichung	Abweichung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	nmod	_	_
26	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	30	case	_	_
27	weniger	weniger	ADV	ADV	Degree=Cmp	29	advmod	_	_
28	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	27	case	_	_
29	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	30	det	_	_
30	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	25	nmod	_	_
31	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
