Die SVG-Übernahme durch die niederländische ASML - erfolgreich mit Lithografiesystemen für die Chipherstellung - stelle einen Rückschlag für die führende Rolle der US-amerikanischen Lithografiebranche dar .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	SVG-Übernahme	Übernahme	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	nsubj	_	_
3	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	6	case	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
5	niederländische	niederländisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	6	amod	_	_
6	ASML	unknown	NOUN	NN	Person=3	2	nmod	_	_
7	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	8	punct	_	_
8	erfolgreich	erfolgreich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	6	advmod	_	_
9	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Lithografiesystemen	System	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	8	obl	_	_
11	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
12	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Chipherstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
14	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	8	punct	_	_
15	stelle	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
16	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Rückschlag	Rückschlag	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	15	obj	_	_
18	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	21	case	_	_
19	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
20	führende	führen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	21	amod	_	_
21	Rolle	Rolle	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	nmod	_	_
22	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
23	US-amerikanischen	amerikanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	24	amod	_	_
24	Lithografiebranche	Branche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	21	nmod	_	_
25	dar	dar	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	15	compound:prt	_	_
26	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	15	punct	_	_
