Das Polierverfahren habe einen Durchsatz von 60 Wafern pro Stunde bei Gesamtkosten von etwa 2 US-Dollar pro Wafer .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Polierverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	habe	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Durchsatz	Durchsatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	obj	_	_
6	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	60	60	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	8	nummod	_	_
8	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	nmod	_	_
9	pro	pro	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Stunde	Stunde	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	nmod	_	_
11	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	Gesamtkosten	Kosten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
13	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
14	etwa	etwa	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
15	2	2	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	16	nummod	_	_
16	US-Dollar	Dollar	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
17	pro	pro	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
18	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	16	nmod	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
