IBM tritt dem EUV-Konsortium bei , um bei der Entwicklung des Lithografie-Verfahrens Extreme Ultra Violet nicht ins Hintertreffen zu geraten .
1	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
2	tritt	treten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	EUV-Konsortium	Konsortium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	obj	_	_
5	bei	bei	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	2	compound:prt	_	_
6	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	21	punct	_	_
7	um	um	SCONJ	KOUI	_	21	mark	_	_
8	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	21	obl	_	_
11	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Lithografie-Verfahrens	Verfahren	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
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15	Violet	Violet	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	13	flat	_	_
16	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	21	advmod	_	_
17-18	ins	_	_	_	_	_	_	_	_
17	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	19	case	_	_
18	das	der	DET	ART	Case=Acc|Definite=Def|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
19	Hintertreffen	Hintertreffen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	21	obl	_	_
20	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	21	mark	_	_
21	geraten	geraten	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	2	advcl	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
