Dies sei nötig , weil die meisten Materialien EUV-Strahlung einer Wellenlänge von 13 nm absorbierten .
1	Dies	Dies	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	3	nsubj	_	_
2	sei	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	cop	_	_
3	nötig	nötig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
4	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	15	punct	_	_
5	weil	weil	SCONJ	KOUS	_	15	mark	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	8	det	_	_
7	meisten	meist	ADJ	PIDAT	Degree=Sup|Number=Plur|Person=3	8	amod	_	_
8	Materialien	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	15	nsubj	_	_
9	EUV-Strahlung	Strahlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	obj	_	_
10	einer	einer	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Wellenlänge	Wellenlänge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	nmod	_	_
12	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	13	13	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
15	absorbierten	absorbieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	ccomp	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
