Zudem ist das PREVAIL ( Projection Reduction Exposure with Variable Axis Immersion Lenses ) genannte Verfahren in der Lage , gewisse Grundmuster mit einem " Schuss " zu belichten , was sich insbesondere bei hochrepetitiven Strukturen ( z. B. Speicherstrukturen ) anbietet und den Durchsatz erheblich erhöht - ohne allerdings die Geschwindigkeit der lithografischen Verfahren annähernd zu erreichen .
1	Zudem	Zudem	ADV	PROAV	_	19	advmod	_	_
2	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	19	cop	_	_
3	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
4	PREVAIL	PREVAIL	PROPN	NE	Person=3	15	obj	_	_
5	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	6	punct	_	_
6	Projection	Projection	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	appos	_	_
7	Reduction	Reduction	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	6	flat	_	_
8	Exposure	Exposure	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	6	flat	_	_
9	with	with	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	6	flat	_	_
10	Variable	Variable	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	6	flat	_	_
11	Axis	Axis	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	6	flat	_	_
12	Immersion	Immersion	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	6	flat	_	_
13	Lenses	Lenses	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	6	flat	_	_
14	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	6	punct	_	_
15	genannte	nennen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	16	amod	_	_
16	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	19	nsubj	_	_
17	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
18	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
19	Lage	Lage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
20	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	29	punct	_	_
21	gewisse	gewiss	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	22	amod	_	_
22	Grundmuster	Muster	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	29	obj	_	_
23	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	26	case	_	_
24	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	26	det	_	_
25	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	26	punct	_	_
26	Schuss	Schuß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	22	nmod	_	_
27	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	26	punct	_	_
28	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	29	mark	_	_
29	belichten	belichten	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	19	xcomp	_	_
30	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	43	punct	_	_
31	was	was	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	43	nsubj	_	_
32	sich	sich	PRON	PRF	Case=Dat|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	43	expl:pv	_	_
33	insbesondere	insbesondere	ADV	ADV	_	36	advmod	_	_
34	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	36	case	_	_
35	hochrepetitiven	hochrepetitiven	ADJ	ADJA	_	36	amod	_	_
36	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	43	obl	_	_
37	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	41	punct	_	_
38-39	z.	_	_	_	_	_	_	_	_
38	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	40	case	_	_
39	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	40	det	_	_
40	B.	unknown	NOUN	NN	Person=3	41	nmod	_	_
41	Speicherstrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	36	appos	_	_
42	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	41	punct	_	_
43	anbietet	anbieten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	19	acl	_	_
44	und	und	CCONJ	KON	_	48	cc	_	_
45	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	46	det	_	_
46	Durchsatz	Durchsatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	48	obj	_	_
47	erheblich	erheblich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	48	advmod	_	_
48	erhöht	erhöhen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	43	conj	_	_
49	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	59	punct	_	_
50	ohne	ohne	SCONJ	KOUI	_	59	mark	_	_
51	allerdings	allerdings	ADV	ADV	_	59	advmod	_	_
52	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	53	det	_	_
53	Geschwindigkeit	Geschwindigkeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	59	obj	_	_
54	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	56	det	_	_
55	lithografischen	lithografischen	ADJ	ADJA	_	56	amod	_	_
56	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	53	nmod	_	_
57	annähernd	annähern	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	59	advmod	_	_
58	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	59	mark	_	_
59	erreichen	erreichen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	48	advcl	_	_
60	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	19	punct	_	_
