Damit bringen die Forscher alle 40 Nanometer ( Millionstel Millimeter ) ein Bit in Form einer Vertiefung unter .
1	Damit	Damit	ADV	PROAV	_	2	advmod	_	_
2	bringen	bringen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	Forscher	Forscher	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nsubj	_	_
5	alle	all	DET	PIDAT	Case=Acc|Number=Plur|Person=3	7	det	_	_
6	40	40	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	7	nummod	_	_
7	Nanometer	Meter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	obl	_	_
8	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
9	Millionstel	Millionstel	PROPN	NE	Person=3	7	appos	_	_
10	Millimeter	Millimeter	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	9	appos	_	_
11	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	9	punct	_	_
12	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Bit	Bit	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	obj	_	_
14	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
15	Form	Form	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	nmod	_	_
16	einer	einer	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Vertiefung	Vertiefung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	nmod	_	_
18	unter	unter	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	2	compound:prt	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
