Das SCALPEL-Verfahren ( Scattering with Angular Limitation in Projection Electron Beam Lithography ) arbeitet mit größeren Elektronenstrahl-Durchmessern und beherrscht das Problem der Maskenerhitzung durch ein Streuungsverfahren .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	SCALPEL-Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	14	nsubj	_	_
3	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
4	Scattering	Scattering	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	2	appos	_	_
5	with	with	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
6	Angular	Angular	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
7	Limitation	Limitation	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
8	in	in	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
9	Projection	Projection	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
10	Electron	Electron	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
11	Beam	Beam	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
12	Lithography	Lithography	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	4	flat	_	_
13	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	4	punct	_	_
14	arbeitet	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
15	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	größeren	groß	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Cmp|Number=Plur	17	amod	_	_
17	Elektronenstrahl-Durchmessern	Durchmesser	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	obl	_	_
18	und	und	CCONJ	KON	_	19	cc	_	_
19	beherrscht	beherrschen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	14	conj	_	_
20	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Problem	Problem	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	19	obj	_	_
22	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	23	det	_	_
23	Maskenerhitzung	unknown	NOUN	NN	Person=3	21	nmod	_	_
24	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	26	case	_	_
25	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	26	det	_	_
26	Streuungsverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	19	obl	_	_
27	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
