Die Wafer seien deutlich schwieriger zu handhaben als die herkömmlichen mit 200 Millimetern Durchmesser , weshalb die Chip-Bratereien große Teile ihrer Anlagen ersetzen müßten .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	7	nsubj	_	_
3	seien	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	7	aux	_	_
4	deutlich	deutlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	5	advmod	_	_
5	schwieriger	schwierig	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	7	advmod	_	_
6	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	7	mark	_	_
7	handhaben	handhaben	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
8	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	10	mark	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
10	herkömmlichen	herkömmlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	7	advcl	_	_
11	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	200	200	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	13	nummod	_	_
13	Millimetern	Millimeter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	obl	_	_
14	Durchmesser	Durchmesser	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	13	appos	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	23	punct	_	_
16	weshalb	weshalb	ADV	PWAV	PronType=Int	23	advmod	_	_
17	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	18	det	_	_
18	Chip-Bratereien	unknown	NOUN	NN	Person=3	23	nsubj	_	_
19	große	groß	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	20	amod	_	_
20	Teile	Teil	NOUN	NN	Number=Plur|Person=3	23	obj	_	_
21	ihrer	sein	PRON	PPOSAT	Case=Gen|Number=Plur|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	22	det	_	_
22	Anlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	20	nmod	_	_
23	ersetzen	ersetzen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	7	acl	_	_
24	müßten	müssen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	23	aux	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
