Die Zusammenarbeit konzentriert sich auf CMOS-Prozesstechnologien zur Fertigung mit Strukturbreiten von 70 nm sowie neuartige optische Lithografiesysteme .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Zusammenarbeit	Zusammenarbeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	konzentriert	konzentrieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	3	expl:pv	_	_
5	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	6	case	_	_
6	CMOS-Prozesstechnologien	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
7-8	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
7	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Fertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
10	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	Strukturbreiten	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
12	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	70	70	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
15	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	18	cc	_	_
16	neuartige	neuartig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	18	amod	_	_
17	optische	optisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	18	amod	_	_
18	Lithografiesysteme	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	6	conj	_	_
19	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
