Daneben arbeiten Infineon und IMEC an der Optimierung von Siliziden und an neuartigen Konzepten zur Reinigung der Wafer zwischen den einzelnen Verarbeitungsschritten .
1	Daneben	Daneben	ADV	PROAV	_	2	advmod	_	_
2	arbeiten	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	Infineon	Infineon	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	5	cc	_	_
5	IMEC	IMEC	PROPN	NE	Person=3	3	conj	_	_
6	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Optimierung	Optimierung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	obl	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Siliziden	unknown	NOUN	NN	Person=3	8	nmod	_	_
11	und	und	CCONJ	KON	_	14	cc	_	_
12	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	neuartigen	neuartig	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	14	amod	_	_
14	Konzepten	Konzept	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	8	conj	_	_
15-16	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
15	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
17	Reinigung	Reinigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	nmod	_	_
18	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	19	det	_	_
19	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
20	zwischen	zwischen	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
21	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	23	det	_	_
22	einzelnen	einzeln	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	23	amod	_	_
23	Verarbeitungsschritten	Schritt	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
