Gegenüber den 200-Millimeter-Wafern soll die neue Technologie die Produktionskosten um mehr als 30 Prozent senken .
1	Gegenüber	Gegenüber	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	3	det	_	_
3	200-Millimeter-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	15	obl	_	_
4	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	15	aux	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
6	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	7	amod	_	_
7	Technologie	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	nsubj	_	_
8	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	9	det	_	_
9	Produktionskosten	Kosten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	15	obj	_	_
10	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	14	case	_	_
11	mehr	mehr	ADV	ADV	Degree=Cmp	13	advmod	_	_
12	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	11	case	_	_
13	30	30	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	14	nummod	_	_
14	Prozent	Prozent	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	15	obl	_	_
15	senken	senken	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	15	punct	_	_
