Zu den kritischen Bereichen der Prozessorherstellung gehören demnach die Auflösung der Lithografie-Verfahren zum Belichten der Dies , die Verkleinerung der Transistoren , die Laufzeiten der Interconnects - und das Packaging .
1	Zu	Zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
3	kritischen	kritisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	4	amod	_	_
4	Bereichen	Bereich	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	7	obj	_	_
5	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Prozessorherstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	nmod	_	_
7	gehören	gehören	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	demnach	demnach	ADV	PROAV	_	7	advmod	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Auflösung	Auflösung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
11	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	12	det	_	_
12	Lithografie-Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
13-14	zum	_	_	_	_	_	_	_	_
13	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Belichten	Belichten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	nmod	_	_
16	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	17	det	_	_
17	Dies	Dies	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	15	nmod	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	20	punct	_	_
19	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Verkleinerung	Verkleinerung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	conj	_	_
21	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	22	det	_	_
22	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	20	nmod	_	_
23	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	25	punct	_	_
24	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	25	det	_	_
25	Laufzeiten	Laufzeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	10	conj	_	_
26	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	27	det	_	_
27	Interconnects	unknown	NOUN	NN	Person=3	25	nmod	_	_
28	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	31	punct	_	_
29	und	und	CCONJ	KON	_	31	cc	_	_
30	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	31	det	_	_
31	Packaging	unknown	NOUN	NN	Person=3	10	conj	_	_
32	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
