Der Wettlauf um die Entwicklung der nächsten Generation von Chip-Lithografie-Systemen geht in eine neue Runde :
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Wettlauf	Wettlauf	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	nsubj	_	_
3	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	5	case	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
5	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
7	nächsten	NULL	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Sing	8	amod	_	_
8	Generation	Generation	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Chip-Lithografie-Systemen	System	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
11	geht	gehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
12	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	15	case	_	_
13	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
14	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	15	amod	_	_
15	Runde	Runde	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
16	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
