Dieser stellt wesentlich höhere Anforderungen an die Erschütterungsfreiheit als die heutige Technik mit 0,13 Mikrometer .
1	Dieser	Dieser	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	2	nsubj	_	_
2	stellt	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	wesentlich	wesentlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	4	advmod	_	_
4	höhere	hoch	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	5	amod	_	_
5	Anforderungen	Anforderung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	obj	_	_
6	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	8	case	_	_
7	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	Erschütterungsfreiheit	Freiheit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	5	nmod	_	_
9	als	als	CCONJ	KOKOM	ConjType=Comp	12	case	_	_
10	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
11	heutige	heutig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	12	amod	_	_
12	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	8	obl	_	_
13	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	0,13	0,13	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	15	nummod	_	_
15	Mikrometer	Mikrometer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
