Ein von Intel geleitetes Konsortium gab bekannt , in seiner EUV-Testanlage erfolgreich erste Linienstrukturen mit 100 nm Abstand generiert und damit die Tauglichkeit des EUV-Verfahrens für derart feine Strukturen belegt zu haben .
1	Ein	Ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
2	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
3	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Dat|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
4	geleitetes	geleiten	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	5	amod	_	_
5	Konsortium	Konsortium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	6	nsubj	_	_
6	gab	geben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	bekannt	bekannt	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	6	compound:prt	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	19	punct	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	seiner	sein	PRON	PPOSAT	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	11	det	_	_
11	EUV-Testanlage	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	19	obl	_	_
12	erfolgreich	erfolgreich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	19	advmod	_	_
13	erste	NULL	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Plur	14	amod	_	_
14	Linienstrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	19	obj	_	_
15	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
16	100	100	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	17	nummod	_	_
17	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
18	Abstand	Abstand	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	17	appos	_	_
19	generiert	generieren	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	6	xcomp	_	_
20	und	und	CCONJ	KON	_	30	cc	_	_
21	damit	damit	ADV	PROAV	_	30	advmod	_	_
22	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
23	Tauglichkeit	Tauglichkeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	30	obj	_	_
24	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	25	det	_	_
25	EUV-Verfahrens	Verfahren	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	23	nmod	_	_
26	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	29	case	_	_
27	derart	derart	ADV	ADV	_	28	advmod	_	_
28	feine	fein	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	29	amod	_	_
29	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	23	nmod	_	_
30	belegt	belegen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	19	conj	_	_
31	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	19	mark	_	_
32	haben	haben	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	19	aux	_	_
33	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
