Sieben Werke für 0,13-µm-Kupfer-Prozess sollen in den nächsten zwei Jahren in Betrieb gehen , das erste ( F20 ) im ersten Quartal 2001 .
1	Sieben	Sieben	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	2	nummod	_	_
2	Werke	Werk	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	13	nsubj	_	_
3	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	4	case	_	_
4	0,13-µm-Kupfer-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
5	sollen	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	13	aux	_	_
6	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
7	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
8	nächsten	NULL	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Plur	10	amod	_	_
9	zwei	zwei	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	nummod	_	_
10	Jahren	Jahr	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	13	obl	_	_
11	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	12	case	_	_
12	Betrieb	Betrieb	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
13	gehen	gehen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
14	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
15	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
16	erste	NULL	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Gender=Neut|Number=Sing	2	appos	_	_
17	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
18	F20	F20	PROPN	NE	Person=3	16	appos	_	_
19	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
20-21	im	_	_	_	_	_	_	_	_
20	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
21	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
22	ersten	NULL	ADJ	ADJA	Degree=Sup|Number=Sing	23	amod	_	_
23	Quartal	Quartal	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	18	nmod	_	_
24	2001	2001	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	23	nmod	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
