Mit der Umstellung auf 193-nm-Argonfluorid-Laser wurden schließlich 0,13 µ- und 0,1 µ-Chiptechnologien möglich , die heute teilweise bei hochintegrierten Grafikkarten zum Einsatz kommen .
1	Mit	Mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Umstellung	Umstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	obl	_	_
4	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	193-nm-Argonfluorid-Laser	Laser	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
6	wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	schließlich	schließlich	ADV	ADV	_	6	advmod	_	_
8	0,13	0,13	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	9	nummod	_	_
9	µ-	µ-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	6	nsubj	_	_
10	und	und	CCONJ	KON	_	12	cc	_	_
11	0,1	0,1	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nummod	_	_
12	µ-Chiptechnologien	Technologie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	conj	_	_
13	möglich	möglich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	6	advmod	_	_
14	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	24	punct	_	_
15	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	24	nsubj	_	_
16	heute	heute	ADV	ADV	_	24	advmod	_	_
17	teilweise	teilweise	ADV	ADV	_	24	advmod	_	_
18	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	20	case	_	_
19	hochintegrierten	hochintegrierten	ADJ	ADJA	_	20	amod	_	_
20	Grafikkarten	Karte	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	24	obl	_	_
21-22	zum	_	_	_	_	_	_	_	_
21	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
22	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
23	Einsatz	Einsatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	24	obl	_	_
24	kommen	kommen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	acl	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
