Forscher des Chip-Herstellers Motorola melden Fortschritte bei der Entwicklung von EUV-Masken für die Herstellung von Chips mit 50-Nanometer-Strukturen :
1	Forscher	Forscher	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	nsubj	_	_
2	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Chip-Herstellers	Hersteller	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	1	nmod	_	_
4	Motorola	Motorola	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	3	flat:name	_	_
5	melden	melden	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
6	Fortschritte	Fortschritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	5	obj	_	_
7	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
10	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
11	EUV-Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
12	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	14	case	_	_
13	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Herstellung	Herstellung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nmod	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
17	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	18	case	_	_
18	50-Nanometer-Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	16	nmod	_	_
19	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	5	punct	_	_
