Allerdings weiß niemand genau , mit welchen Auswirkungen die Produzenten zu diesem Zeitpunkt rechnen müssen , denn bis dahin wollen die Fabriken auf einen 0,10-Mikrometer-Prozeß umgestellt haben .
1	Allerdings	Allerdings	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	weiß	wissen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	niemand	niemand	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	2	nsubj	_	_
4	genau	genau	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	2	advmod	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
6	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	welchen	welchen	DET	PWAT	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Int	8	det	_	_
8	Auswirkungen	Auswirkung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	obj	_	_
9	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
10	Produzenten	Produzent	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	14	nsubj	_	_
11	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	diesem	dies	DET	PDAT	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Dem	13	det	_	_
13	Zeitpunkt	Zeitpunkt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
14	rechnen	rechnen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	2	ccomp	_	_
15	müssen	müssen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	14	aux	_	_
16	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	26	punct	_	_
17	denn	denn	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
18	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	19	case	_	_
19	dahin	dahin	ADV	ADV	_	26	obl	_	_
20	wollen	wollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	26	aux	_	_
21	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	22	det	_	_
22	Fabriken	Fabrik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	26	nsubj	_	_
23	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	25	case	_	_
24	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	25	det	_	_
25	0,10-Mikrometer-Prozeß	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	26	obj	_	_
26	umgestellt	umstellen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	2	conj	_	_
27	haben	haben	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	26	aux	_	_
28	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
