Um in den Strukturbereich bis 50 nm vorzudringen , wurde in der Vergangenheit mit verschiedenen Alternativ-Verfahren experimentiert , die auf harten oder weichen Röntgenstrahlen oder auf Teilchenstrahlungen mit Elektronen oder Protonen basieren .
1	Um	Um	SCONJ	KOUI	_	8	mark	_	_
2	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	4	case	_	_
3	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	Strukturbereich	Bereich	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	8	obl	_	_
5	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	7	case	_	_
6	50	50	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	7	nummod	_	_
7	nm	nm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
8	vorzudringen	vordringen	VERB	VVIZU	VerbForm=Inf	17	advcl	_	_
9	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	8	punct	_	_
10	wurde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	17	aux:pass	_	_
11	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
12	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	13	det	_	_
13	Vergangenheit	Vergangenheit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	17	obl	_	_
14	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
15	verschiedenen	verscheiden	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	16	amod	_	_
16	Alternativ-Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	17	obl	_	_
17	experimentiert	experimentieren	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	32	punct	_	_
19	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	32	nsubj	_	_
20	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
21	harten	hart	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	24	amod	_	_
22	oder	oder	CCONJ	KON	_	23	cc	_	_
23	weichen	weich	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	21	conj	_	_
24	Röntgenstrahlen	Strahl	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	32	obl	_	_
25	oder	oder	CCONJ	KON	_	27	cc	_	_
26	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	27	case	_	_
27	Teilchenstrahlungen	Strahlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	24	conj	_	_
28	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	29	case	_	_
29	Elektronen	Elektron	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	27	nmod	_	_
30	oder	oder	CCONJ	KON	_	31	cc	_	_
31	Protonen	Proton	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	29	conj	_	_
32	basieren	basieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	16	acl	_	_
33	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	17	punct	_	_
