Derzeit werden die Strukturen auf Mikrochip-Wafern mit Hilfe von Licht erzeugt , das über Maskensysteme auf die lichtempfindlich beschichten Wafer geleitet wird .
1	Derzeit	Derzeit	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
2	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	11	aux:pass	_	_
3	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nsubj:pass	_	_
5	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	Mikrochip-Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
7	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Hilfe	Hilfe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Licht	Licht	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	8	nmod	_	_
11	erzeugt	erzeugen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	21	punct	_	_
13	das	das	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	21	nsubj:pass	_	_
14	über	über	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	15	case	_	_
15	Maskensysteme	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	21	obl	_	_
16	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	20	case	_	_
17	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	20	det	_	_
18	lichtempfindlich	lichtempfindlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	19	advmod	_	_
19	beschichten	beschichten	ADJ	ADJA	_	20	amod	_	_
20	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	21	obl	_	_
21	geleitet	leiten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	10	acl	_	_
22	wird	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	21	aux:pass	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
