Die mit dem EUV-Verfahren auf einmal belichtbare Fläche ist übrigens nicht sonderlich groß :
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
2	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
3	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
4	EUV-Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	7	obl	_	_
5	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	einmal	einmal	ADV	ADV	_	7	obl	_	_
7	belichtbare	belichtbare	ADJ	ADJA	_	8	amod	_	_
8	Fläche	Fläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	nsubj	_	_
9	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	13	cop	_	_
10	übrigens	übrigens	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
11	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	13	advmod	_	_
12	sonderlich	sonderlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	13	advmod	_	_
13	groß	groß	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
14	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
