Wie daraus anschließend die kleinen Transistorenstrukturen entstehen , lässt IBM noch im Unklaren .
1	Wie	Wie	ADV	PWAV	PronType=Int	7	advmod	_	_
2	daraus	daraus	ADV	PROAV	_	7	advmod	_	_
3	anschließend	anschließen	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	7	advmod	_	_
4	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
5	kleinen	klein	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Transistorenstrukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	nsubj	_	_
7	entstehen	entstehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	9	acl	_	_
8	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	7	punct	_	_
9	lässt	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
10	IBM	IBM	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	9	nsubj	_	_
11	noch	noch	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
12-13	im	_	_	_	_	_	_	_	_
12	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
13	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Unklaren	unknown	NOUN	NN	Person=3	9	obl	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
