Ein Forschungsprogramm widmet sich den Gate-Dielektrika mit hohen k-Werten ( spezifische Dielektrizitäts-Konstante ) für Sub-100-nm-Schaltungen , wo das bisher verwendete Siliziumdioxid zur Isolierung der Gate-Elektroden der Transistoren auf den Chips bei der weiteren Strukturverkleinerung an physikalische Grenzen stößt .
1	Ein	Ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Forschungsprogramm	Programm	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	widmet	widmen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	sich	sich	PRON	PRF	Case=Dat|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	3	expl:pv	_	_
5	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Gate-Dielektrika	Gate-Dielektrika	PROPN	NE	Person=3	3	obj	_	_
7	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	hohen	hoch	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	9	amod	_	_
9	k-Werten	wert	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	3	obl	_	_
10	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	12	punct	_	_
11	spezifische	spezifisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	12	amod	_	_
12	Dielektrizitäts-Konstante	Konstante	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	appos	_	_
13	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	12	punct	_	_
14	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	15	case	_	_
15	Sub-100-nm-Schaltungen	Schaltung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	3	obl	_	_
16	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	39	punct	_	_
17	wo	wo	ADV	PWAV	PronType=Int	39	advmod	_	_
18	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
19	bisher	bisher	ADV	ADV	_	20	advmod	_	_
20	verwendete	verwenden	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	21	amod	_	_
21	Siliziumdioxid	Oxid	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	39	obj	_	_
22-23	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
22	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
23	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
24	Isolierung	Isolierung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	21	nmod	_	_
25	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	26	det	_	_
26	Gate-Elektroden	Elektrode	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	24	nmod	_	_
27	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	28	det	_	_
28	Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	26	nmod	_	_
29	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	case	_	_
30	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	31	det	_	_
31	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	28	nmod	_	_
32	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	35	case	_	_
33	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	35	det	_	_
34	weiteren	weit	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Sing	35	amod	_	_
35	Strukturverkleinerung	Verkleinerung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	31	nmod	_	_
36	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	38	case	_	_
37	physikalische	physikalisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	38	amod	_	_
38	Grenzen	Grenze	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	39	obl	_	_
39	stößt	stoßen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	conj	_	_
40	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
