IBM ist der letzte große Chipproduzent , der dem EUV-Konsortium beitritt .
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2	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	cop	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
4	letzte	NULL	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Sup|Gender=Masc|Number=Sing	6	amod	_	_
5	große	groß	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	6	amod	_	_
6	Chipproduzent	Produzent	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	11	punct	_	_
8	der	der	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	11	nsubj	_	_
9	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	EUV-Konsortium	Konsortium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	11	obj	_	_
11	beitritt	beitreten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	6	acl	_	_
12	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
