Weiche Röntgenstrahlung lässt sich noch mit hochpräzisen Spiegeloptiken fokussieren , wobei deren Effizienz derzeit noch problematisch ist : heutige Spiegelsysteme der hier benötigten Art erzielen einen Gesamt-Wirkungsgrad von nur 1-2 % , was zu einer extrem schwachen Lichtleistung und damit in der Serie zu langen Belichtungszeiten mit einem entsprechend niedrigen Produktions-Output an Wafern führen würde .
1	Weiche	weich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	2	amod	_	_
2	Röntgenstrahlung	Strahlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	lässt	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	9	obj	_	_
5	noch	noch	ADV	ADV	_	9	advmod	_	_
6	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	hochpräzisen	hochpräzisen	ADJ	ADJA	_	8	amod	_	_
8	Spiegeloptiken	unknown	NOUN	NN	Person=3	9	obl	_	_
9	fokussieren	fokussieren	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	3	xcomp	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
11	wobei	wobei	ADV	PWAV	PronType=Int	16	advmod	_	_
12	deren	deren	DET	PDAT	PronType=Dem	13	det	_	_
13	Effizienz	Effizienz	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	nsubj	_	_
14	derzeit	derzeit	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
15	noch	noch	ADV	ADV	_	16	advmod	_	_
16	problematisch	problematisch	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	8	acl	_	_
17	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	16	cop	_	_
18	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
19	heutige	heutig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	20	amod	_	_
20	Spiegelsysteme	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	25	nsubj	_	_
21	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
22	hier	hier	ADV	ADV	_	23	advmod	_	_
23	benötigten	benötigen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	24	amod	_	_
24	Art	Art	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	nmod	_	_
25	erzielen	erzielen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	3	parataxis	_	_
26	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	27	det	_	_
27	Gesamt-Wirkungsgrad	Wirkungsgrad	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	25	obj	_	_
28	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	case	_	_
29	nur	nur	ADV	ADV	_	30	advmod	_	_
30	1-2	1-2	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	31	nummod	_	_
31	%	%	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	27	nmod	_	_
32	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	54	punct	_	_
33	was	was	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	54	nsubj	_	_
34	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	38	case	_	_
35	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	38	det	_	_
36	extrem	extrem	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	37	advmod	_	_
37	schwachen	schwach	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	38	amod	_	_
38	Lichtleistung	Leistung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	54	obj	_	_
39	und	und	CCONJ	KON	_	46	cc	_	_
40	damit	damit	ADV	PROAV	_	46	advmod	_	_
41	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	43	case	_	_
42	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	43	det	_	_
43	Serie	Serie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	46	nmod	_	_
44	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	46	case	_	_
45	langen	lang	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	46	amod	_	_
46	Belichtungszeiten	Belichtungszeit	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	38	conj	_	_
47	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	51	case	_	_
48	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	51	det	_	_
49	entsprechend	entsprechen	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	50	advmod	_	_
50	niedrigen	niedrig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	51	amod	_	_
51	Produktions-Output	Output	NOUN	NN	Number=Sing|Person=3	46	nmod	_	_
52	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	53	case	_	_
53	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	51	nmod	_	_
54	führen	führen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	25	acl	_	_
55	würde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	54	aux	_	_
56	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
