Die Züge werden auf ihrer Fahrt durch das Industriegebiet möglicherweise starke Vibrationen des Bodens erzeugen , welche die bei der Chipproduktion eingesetzten hochempfindlichen lithographischen Geräte stören könnten .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	Züge	Zug	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	15	nsubj	_	_
3	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	15	aux	_	_
4	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	ihrer	sein	PRON	PPOSAT	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|Poss=Yes|PronType=Prs	6	det	_	_
6	Fahrt	Fahrt	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	15	obl	_	_
7	durch	durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	9	case	_	_
8	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Industriegebiet	Gebiet	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	6	nmod	_	_
10	möglicherweise	möglicherweise	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
11	starke	stark	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	12	amod	_	_
12	Vibrationen	Ration	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	obj	_	_
13	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	Bodens	Boden	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	12	nmod	_	_
15	erzeugen	erzeugen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
16	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	26	punct	_	_
17	welche	welche	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	26	nsubj	_	_
18	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	25	det	_	_
19	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
20	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Chipproduktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	obl	_	_
22	eingesetzten	einsetzen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	25	amod	_	_
23	hochempfindlichen	hochempfindlichen	ADJ	ADJA	_	25	amod	_	_
24	lithographischen	lithographisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	25	amod	_	_
25	Geräte	Gerät	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	26	obj	_	_
26	stören	stören	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	12	acl	_	_
27	könnten	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	26	aux	_	_
28	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	15	punct	_	_
