VIA lässt sie bei TSMC in einem 0,22-Micron-Prozess fertigen .
1	VIA	VIA	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	2	nsubj	_	_
2	lässt	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	sie	sie	PRON	PPER	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	2	obj	_	_
4	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	TSMC	TSMC	PROPN	NE	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	obl	_	_
6	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	8	det	_	_
8	0,22-Micron-Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	9	obl	_	_
9	fertigen	fertigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	2	xcomp	_	_
10	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
