Die japanische Toppan Printing Co. etwa , einer der weltweit führenden Maskenhersteller , stellte zwar Anfang dieser Woche einen Prototypen einer 0,05 µ-Maske auf Silikonbasis vor , die sich in der Theorie auch für EPL-Verfahren eigne , es sei aber frühestens 2005 mit der Marktreife zu rechnen .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	japanische	japanisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Toppan	unknown	NOUN	NN	Person=3	14	nsubj	_	_
4	Printing	Printing	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	3	appos	_	_
5	Co.	unknown	NOUN	NN	Person=3	4	appos	_	_
6	etwa	etwa	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	8	punct	_	_
8	einer	ein	PRON	PIS	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	5	appos	_	_
9	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	12	det	_	_
10	weltweit	weltweit	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	11	advmod	_	_
11	führenden	führen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	12	amod	_	_
12	Maskenhersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	8	punct	_	_
14	stellte	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
15	zwar	zwar	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
16	Anfang	Anfang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obl	_	_
17	dieser	dies	DET	PDAT	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Dem	18	det	_	_
18	Woche	Woche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	16	nmod	_	_
19	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	20	det	_	_
20	Prototypen	Prototyp	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	14	obj	_	_
21	einer	einer	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
22	0,05	0,05	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	23	nummod	_	_
23	µ-Maske	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	nmod	_	_
24	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	25	case	_	_
25	Silikonbasis	Basis	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	23	nmod	_	_
26	vor	vor	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	14	compound:prt	_	_
27	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	36	punct	_	_
28	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	36	nsubj	_	_
29	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	36	expl:pv	_	_
30	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	32	case	_	_
31	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	32	det	_	_
32	Theorie	Theorie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	36	obl	_	_
33	auch	auch	ADV	ADV	_	35	advmod	_	_
34	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	35	case	_	_
35	EPL-Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	36	obl	_	_
36	eigne	eignen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	23	acl	_	_
37	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	47	punct	_	_
38	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	47	expl	_	_
39	sei	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	47	aux	_	_
40	aber	aber	ADV	ADV	_	47	advmod	_	_
41	frühestens	frühestens	ADV	ADV	_	42	advmod	_	_
42	2005	2005	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	47	obl	_	_
43	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	45	case	_	_
44	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	45	det	_	_
45	Marktreife	unknown	NOUN	NN	Person=3	47	obj	_	_
46	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	47	mark	_	_
47	rechnen	rechnen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	14	conj	_	_
48	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
