Auf der SEMICON Southwest , einer Veranstaltung der SEMI , der Vereinigung der Hersteller von Chipproduktionsanlagen , stellte Advanced Copper Metallization ( ACM Research ) vergangene Woche neuartige Metallisierungs- und Polierwerkzeuge vor .
1	Auf	Auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	SEMICON	SEMICON	PROPN	NE	Person=3	18	obl	_	_
4	Southwest	West	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	appos	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	7	punct	_	_
6	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Veranstaltung	Veranstaltung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	appos	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	SEMI	SEMI	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	7	nmod	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
11	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Vereinigung	Vereinigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	appos	_	_
13	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	14	det	_	_
14	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	nmod	_	_
15	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	16	case	_	_
16	Chipproduktionsanlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	nmod	_	_
17	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
18	stellte	stellen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
19	Advanced	Advanced	PROPN	NE	Person=3	18	nsubj	_	_
20	Copper	Copper	ADJ	ADJA	_	19	appos	_	_
21	Metallization	Metallization	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	20	appos	_	_
22	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	23	punct	_	_
23	ACM	ACM	PROPN	NE	Person=3	21	appos	_	_
24	Research	Research	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	23	flat	_	_
25	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	23	punct	_	_
26	vergangene	vergehen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	27	amod	_	_
27	Woche	Woche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	18	obl	_	_
28	neuartige	neuartig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	29	amod	_	_
29	Metallisierungs-	Metallisierungs-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	18	obj	_	_
30	und	und	CCONJ	KON	_	31	cc	_	_
31	Polierwerkzeuge	Werkzeug	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	29	conj	_	_
32	vor	vor	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	18	compound:prt	_	_
33	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
