Wurden hier anfangs noch bestimmte Emissionslinien von Hochdruck-Quecksilberlampen verwendet , ging man im Zuge der geforderten Verfeinerung der Strukturen auf Kryptonfluorid-Laser über , um Strukturbreiten von 0,25 µ auf den Wafern zu ermöglichen .
1	Wurden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	9	aux:pass	_	_
2	hier	hier	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
3	anfangs	anfangs	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
4	noch	noch	ADV	ADV	_	5	advmod	_	_
5	bestimmte	bestimmen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Emissionslinien	Linie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	9	nsubj:pass	_	_
7	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Hochdruck-Quecksilberlampen	Lampe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
9	verwendet	verwenden	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	11	xcomp	_	_
10	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	9	punct	_	_
11	ging	gehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
12	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	11	nsubj	_	_
13-14	im	_	_	_	_	_	_	_	_
13	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
14	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	15	det	_	_
15	Zuge	Zug	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	11	obl	_	_
16	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
17	geforderten	fordern	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	18	amod	_	_
18	Verfeinerung	unknown	NOUN	NN	Person=3	15	nmod	_	_
19	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	20	det	_	_
20	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	nmod	_	_
21	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	22	case	_	_
22	Kryptonfluorid-Laser	Laser	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	11	obl	_	_
23	über	über	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	11	compound:prt	_	_
24	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	34	punct	_	_
25	um	um	SCONJ	KOUI	_	34	mark	_	_
26	Strukturbreiten	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	34	obj	_	_
27	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	29	case	_	_
28	0,25	0,25	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	29	nummod	_	_
29	µ	µ	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	26	nmod	_	_
30	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	32	case	_	_
31	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	32	det	_	_
32	Wafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	26	nmod	_	_
33	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	34	mark	_	_
34	ermöglichen	ermöglichen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	11	ccomp	_	_
35	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
