In einem zweiten Programm werden Weiterentwicklungen zur Kupfer-Verdrahtung auf den Chips durchgeführt , wo es zur Verbesserung des Signalverhaltens bei den kleineren Dimensionen wiederum auf Isolationsschichten mit niedrigem k-Wert ( " Low-k-Dielectrics " ) ankommt .
1	In	In	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
2	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
3	zweiten	zweit	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	4	amod	_	_
4	Programm	Programm	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
5	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	13	aux:pass	_	_
6	Weiterentwicklungen	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	nsubj:pass	_	_
7-8	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
7	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Kupfer-Verdrahtung	unknown	NOUN	NN	Person=3	6	nmod	_	_
10	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	12	det	_	_
12	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
13	durchgeführt	durchführen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
14	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	37	punct	_	_
15	wo	wo	ADV	PWAV	PronType=Int	37	advmod	_	_
16	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	37	nsubj	_	_
17-18	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
17	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
18	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
19	Verbesserung	Verbesserung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	37	obl	_	_
20	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Signalverhaltens	Verhalten	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	19	nmod	_	_
22	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	25	case	_	_
23	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	25	det	_	_
24	kleineren	klein	ADJ	ADJA	Degree=Cmp|Number=Plur	25	amod	_	_
25	Dimensionen	Dimension	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	21	nmod	_	_
26	wiederum	wiederum	ADV	ADV	_	37	advmod	_	_
27	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	28	case	_	_
28	Isolationsschichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	37	obl	_	_
29	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	case	_	_
30	niedrigem	niedrig	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Sing	31	amod	_	_
31	k-Wert	Wert	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	28	nmod	_	_
32	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	34	punct	_	_
33	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	34	punct	_	_
34	Low-k-Dielectrics	Low-k-Dielectrics	PROPN	NE	Person=3	28	appos	_	_
35	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	34	punct	_	_
36	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	34	punct	_	_
37	ankommt	ankommen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	13	acl	_	_
38	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
