Die maximale monatliche Fertigungskapazität werde bei 20.000 Stück von 300-Millimeter-Chipwafern liegen , hieß es .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	4	det	_	_
2	maximale	maximal	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	4	amod	_	_
3	monatliche	monatlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	4	amod	_	_
4	Fertigungskapazität	Kapazität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	11	nsubj	_	_
5	werde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	11	aux	_	_
6	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
7	20.000	20.000	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	8	nummod	_	_
8	Stück	Stück	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	11	obl	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	300-Millimeter-Chipwafern	Wafer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
11	liegen	liegen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	13	punct	_	_
13	hieß	heißen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	11	parataxis	_	_
14	es	es	PRON	PPER	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Prs	13	nsubj	_	_
15	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	11	punct	_	_
