Das Bundesforschungsministerium hatte allerdings die Hälfte der Entwicklungskosten von rund 500 Millionen Mark getragen - und für das Infineon-Projekt 167 Millionen Mark sowie für den Hersteller der Silizum-Scheiben , Wacker Siltronic in Burghausen ( Oberbayern ) , 83 Millionen Mark an Fördermitteln bewilligt .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Bundesforschungsministerium	Ministerium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	14	nsubj	_	_
3	hatte	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	14	aux	_	_
4	allerdings	allerdings	ADV	ADV	_	14	advmod	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Hälfte	Hälfte	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	14	obj	_	_
7	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	8	det	_	_
8	Entwicklungskosten	Kosten	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	13	case	_	_
10	rund	rund	ADV	ADV	_	11	advmod	_	_
11	500	500	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	12	nummod	_	_
12	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	nummod	_	_
13	Mark	Mark	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
14	getragen	tragen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
15	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	43	punct	_	_
16	und	und	CCONJ	KON	_	43	cc	_	_
17	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	19	case	_	_
18	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
19	Infineon-Projekt	Projekt	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	43	obl	_	_
20	167	167	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	21	nummod	_	_
21	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	22	nummod	_	_
22	Mark	Mark	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	43	obj	_	_
23	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	40	cc	_	_
24	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	26	case	_	_
25	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	26	det	_	_
26	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	40	nmod	_	_
27	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	28	det	_	_
28	Silizum-Scheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	26	nmod	_	_
29	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	30	punct	_	_
30	Wacker	Wacker	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	26	appos	_	_
31	Siltronic	Siltronic	PROPN	NE	Person=3	30	flat:name	_	_
32	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	33	case	_	_
33	Burghausen	Burghausen	PROPN	NE	Person=3	30	nmod	_	_
34	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	35	punct	_	_
35	Oberbayern	Oberbayern	PROPN	NE	Person=3	33	appos	_	_
36	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	35	punct	_	_
37	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	40	punct	_	_
38	83	83	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	39	nummod	_	_
39	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	40	nummod	_	_
40	Mark	Mark	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	22	conj	_	_
41	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	42	case	_	_
42	Fördermitteln	Fördermittel	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	40	nmod	_	_
43	bewilligt	bewilligen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	14	conj	_	_
44	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
