Mit einem Sprühverfahren bauen die Forscher schichtweise das Transistormaterial auf ; hohe Temperaturen sind dabei nicht notwendig .
1	Mit	Mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
2	einem	einem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Sprühverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
4	bauen	bauen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	Forscher	Forscher	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	4	nsubj	_	_
7	schichtweise	schichtweise	ADV	ADV	_	4	advmod	_	_
8	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Transistormaterial	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	4	obj	_	_
10	auf	auf	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	4	compound:prt	_	_
11	;	;	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
12	hohe	hoch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Temperaturen	Temperatur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	nsubj	_	_
14	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	17	cop	_	_
15	dabei	dabei	ADV	PROAV	_	17	advmod	_	_
16	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	17	advmod	_	_
17	notwendig	notwendig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	4	parataxis	_	_
18	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
