Für die EUV-Lithografie wird dies erst 2005 erwartet .
1	Für	Für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	3	case	_	_
2	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	EUV-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	8	obl	_	_
4	wird	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	8	aux:pass	_	_
5	dies	dies	PRON	PDS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Dem	8	nsubj:pass	_	_
6	erst	erst	ADV	ADV	_	7	advmod	_	_
7	2005	2005	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	8	obl	_	_
8	erwartet	erwarten	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
9	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
