EUV-Lithografie arbeitet mit einer reflektiven Optik , im Gegensatz zur heutigen Technik , bei der die Maske lichtdurchlässig ist .
1	EUV-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	2	nsubj	_	_
2	arbeitet	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
4	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
5	reflektiven	reflektiven	ADJ	ADJA	_	6	amod	_	_
6	Optik	Optik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	obl	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	10	punct	_	_
8-9	im	_	_	_	_	_	_	_	_
8	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	10	det	_	_
10	Gegensatz	Gegensatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	obl	_	_
11-12	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
11	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
12	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
13	heutigen	heutig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	14	amod	_	_
14	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	20	punct	_	_
16	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	17	case	_	_
17	der	der	PRON	PRELS	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	20	obl	_	_
18	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
19	Maske	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	nsubj	_	_
20	lichtdurchlässig	lichtdurchlässig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	14	acl	_	_
21	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	20	cop	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
