Derart kleine Strukturen sind mit der herkömmlichen fotolithografischen Technik nicht mehr herstellbar , weil bei den hierfür nötigen extrem kurzen Wellenlängen die Belichtungswerkzeuge mit Linsen-Projektionssystemen nicht mehr einsetzbar sind :
1	Derart	Derart	ADV	ADV	_	2	advmod	_	_
2	kleine	klein	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	3	amod	_	_
3	Strukturen	Struktur	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	12	nsubj	_	_
4	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	12	cop	_	_
5	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
7	herkömmlichen	herkömmlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	9	amod	_	_
8	fotolithografischen	fotolithografischen	ADJ	ADJA	_	9	amod	_	_
9	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
10	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	12	advmod	_	_
11	mehr	mehr	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
12	herstellbar	herstellbar	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	0	root	_	_
13	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	28	punct	_	_
14	weil	weil	SCONJ	KOUS	_	28	mark	_	_
15	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
16	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	21	det	_	_
17	hierfür	hierfür	ADV	PROAV	_	18	obj	_	_
18	nötigen	nötig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	21	amod	_	_
19	extrem	extrem	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	20	advmod	_	_
20	kurzen	kurz	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	21	amod	_	_
21	Wellenlängen	Wellenlänge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	28	obl	_	_
22	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	23	det	_	_
23	Belichtungswerkzeuge	Werkzeug	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	28	nsubj	_	_
24	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	25	case	_	_
25	Linsen-Projektionssystemen	System	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	23	nmod	_	_
26	nicht	nicht	PART	PTKNEG	Polarity=Neg	28	advmod	_	_
27	mehr	mehr	ADV	ADV	_	26	advmod	_	_
28	einsetzbar	einsetzbar	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	12	ccomp	_	_
29	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	28	cop	_	_
30	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	12	punct	_	_
