Fortschritte bei 0,035-Mikron-Prozessen für die Chipproduktion
1	Fortschritte	Fortschritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	0	root	_	_
2	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	3	case	_	_
3	0,035-Mikron-Prozessen	Prozeß	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	1	nmod	_	_
4	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	6	case	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Chipproduktion	Produktion	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
