Das zugehörige Polierwerkzeug " Ultra SFP " könne im Gegensatz zu herkömmlichen chemomechanischen Verfahren auch auf sehr weiches Kupfer angewendet werden .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	zugehörige	zugehörig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Polierwerkzeug	Werkzeug	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	21	nsubj:pass	_	_
4	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	5	punct	_	_
5	Ultra	Ultra	PROPN	NE	Person=3	3	appos	_	_
6	SFP	SFP	PROPN	NE	Person=3	5	flat:name	_	_
7	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	5	punct	_	_
8	könne	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	21	aux	_	_
9-10	im	_	_	_	_	_	_	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	11	case	_	_
10	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	11	det	_	_
11	Gegensatz	Gegensatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	21	obl	_	_
12	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	15	case	_	_
13	herkömmlichen	herkömmlich	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	15	amod	_	_
14	chemomechanischen	chemomechanischen	ADJ	ADJA	_	15	amod	_	_
15	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	11	nmod	_	_
16	auch	auch	ADV	ADV	_	20	advmod	_	_
17	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	20	case	_	_
18	sehr	sehr	ADV	ADV	Degree=Pos	19	advmod	_	_
19	weiches	weich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	20	amod	_	_
20	Kupfer	Kupfer	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	21	obl	_	_
21	angewendet	anwenden	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
22	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	21	aux:pass	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	21	punct	_	_
