Das konkurrierende EPL-Verfahren arbeitet mit Elektronenstrahlung , die prinzipbedingt Auflösungen zwischen 0,01 und 0,02 µ erzeugen kann , die auf Grund der beim Eintritt in das Material auftretenden Streuung aber um eine Größenordnung höher liegt .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	konkurrierende	konkurrieren	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	3	amod	_	_
3	EPL-Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
4	arbeitet	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	Elektronenstrahlung	Strahlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
8	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	16	nsubj	_	_
9	prinzipbedingt	prinzipbedingt	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	16	advmod	_	_
10	Auflösungen	Auflösung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	16	obj	_	_
11	zwischen	zwischen	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	12	case	_	_
12	0,01	0,01	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	10	nmod	_	_
13	und	und	CCONJ	KON	_	15	cc	_	_
14	0,02	0,02	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	15	nummod	_	_
15	µ	µ	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	12	conj	_	_
16	erzeugen	erzeugen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	6	acl	_	_
17	kann	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	16	aux	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	36	punct	_	_
19	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	36	nsubj	_	_
20	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	21	case	_	_
21	Grund	Grund	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	36	obl	_	_
22	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	30	det	_	_
23-24	beim	_	_	_	_	_	_	_	_
23	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	25	case	_	_
24	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	25	det	_	_
25	Eintritt	Eintritt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	29	obl	_	_
26	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	28	case	_	_
27	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	28	det	_	_
28	Material	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	29	obl	_	_
29	auftretenden	auftreten	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	30	amod	_	_
30	Streuung	Streuung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	21	nmod	_	_
31	aber	aber	ADV	ADV	_	36	advmod	_	_
32	um	um	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	34	case	_	_
33	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	34	det	_	_
34	Größenordnung	Ordnung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	35	obl	_	_
35	höher	hoch	ADJ	ADJD	Degree=Cmp|Variant=Short	36	advmod	_	_
36	liegt	liegen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	16	conj	_	_
37	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
