Wie das Unternehmen mitteilt , werde man aber dennoch parallel die Entwicklung des bisher favorisierten EPL-Verfahrens ( e-beam projection lithography ) fortsetzen .
1	Wie	Wie	ADV	PWAV	PronType=Int	4	advmod	_	_
2	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Unternehmen	Unternehmen	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
4	mitteilt	mitteilen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	22	acl	_	_
5	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	4	punct	_	_
6	werde	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	22	aux	_	_
7	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	22	nsubj	_	_
8	aber	aber	ADV	ADV	_	22	advmod	_	_
9	dennoch	dennoch	ADV	ADV	_	10	advmod	_	_
10	parallel	parallel	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	22	advmod	_	_
11	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Entwicklung	Entwicklung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	22	obj	_	_
13	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	16	det	_	_
14	bisher	bisher	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
15	favorisierten	favorisieren	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	16	amod	_	_
16	EPL-Verfahrens	Verfahren	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	nmod	_	_
17	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
18	e-beam	e-beam	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	16	appos	_	_
19	projection	projection	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	18	flat	_	_
20	lithography	lithography	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	18	flat	_	_
21	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	18	punct	_	_
22	fortsetzen	fortsetzen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	0	root	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	22	punct	_	_
