Da keine geeigneten Optiken zur Fokussierung von Röntgenstrahlung existieren , ist man auf hochpräzise Maskensysteme angewiesen , die auf Grund des Beschusses mit Röntgenstrahlen zudem erheblichen thermischen Einflüssen und damit möglichen Verzerrungen ausgesetzt sind , was die notwendige nanometer-genaue Ausrichtung der Masken bisher unmöglich werden ließ .
1	Da	Da	SCONJ	KOUS	_	10	mark	_	_
2	keine	kein	DET	PIAT	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	4	det	_	_
3	geeigneten	eignen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	4	amod	_	_
4	Optiken	unknown	NOUN	NN	Person=3	10	nsubj	_	_
5-6	zur	_	_	_	_	_	_	_	_
5	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	case	_	_
6	der	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
7	Fokussierung	Fokussierung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	4	nmod	_	_
8	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
9	Röntgenstrahlung	Strahlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	7	nmod	_	_
10	existieren	existieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	17	advcl	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	10	punct	_	_
12	ist	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	17	aux:pass	_	_
13	man	man	PRON	PIS	Case=Nom|Number=Sing|Person=3|PronType=Ind,Neg,Tot	17	nsubj:pass	_	_
14	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	16	case	_	_
15	hochpräzise	hochpräzise	ADJ	ADJA	_	16	amod	_	_
16	Maskensysteme	System	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	17	obl	_	_
17	angewiesen	anweisen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
18	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	34	punct	_	_
19	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Number=Plur|Person=3|PronType=Rel	34	nsubj:pass	_	_
20	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
21	Grund	Grund	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	34	obl	_	_
22	des	des	DET	ART	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
23	Beschusses	Beschuß	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	21	nmod	_	_
24	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	25	case	_	_
25	Röntgenstrahlen	Strahl	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	23	nmod	_	_
26	zudem	zudem	ADV	PROAV	_	34	advmod	_	_
27	erheblichen	erheblich	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	29	amod	_	_
28	thermischen	thermisch	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	29	amod	_	_
29	Einflüssen	Einfluß	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	34	obj	_	_
30	und	und	CCONJ	KON	_	33	cc	_	_
31	damit	damit	ADV	PROAV	_	33	advmod	_	_
32	möglichen	möglich	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	33	amod	_	_
33	Verzerrungen	Verzerrung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	29	conj	_	_
34	ausgesetzt	aussetzen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	16	acl	_	_
35	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	34	aux:pass	_	_
36	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	47	punct	_	_
37	was	was	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	47	nsubj	_	_
38	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	41	det	_	_
39	notwendige	notwendig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	41	amod	_	_
40	nanometer-genaue	genau	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	41	amod	_	_
41	Ausrichtung	Ausrichtung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	47	obj	_	_
42	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	43	det	_	_
43	Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	41	nmod	_	_
44	bisher	bisher	ADV	ADV	_	46	advmod	_	_
45	unmöglich	unmöglich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	46	advmod	_	_
46	werden	werden	AUX	VAINF	VerbForm=Inf	47	xcomp	_	_
47	ließ	lassen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	34	acl	_	_
48	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	17	punct	_	_
