Das Coating der neuen Masken besteht hierzu aus zahlreichen Schichten einer Molybdän/Silizium-Legierung .
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Coating	unknown	NOUN	NN	Person=3	6	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	5	det	_	_
4	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	5	amod	_	_
5	Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
6	besteht	bestehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	hierzu	hierzu	ADV	PROAV	_	6	advmod	_	_
8	aus	aus	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	zahlreichen	zahlreich	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	10	amod	_	_
10	Schichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	obj	_	_
11	einer	einer	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	Molybdän/Silizium-Legierung	Legierung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	10	nmod	_	_
13	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
