Die Fertigung von Halbleitern sei ein komplexes chemisches Verfahren ohne Metall verarbeitende Prozesse , das wegen der erforderlichen Flexibilität langfristig in den Chemietarif gehöre .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Fertigung	Fertigung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	9	nsubj	_	_
3	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	4	case	_	_
4	Halbleitern	Halbleiter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
5	sei	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	9	cop	_	_
6	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
7	komplexes	komplex	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	9	amod	_	_
8	chemisches	chemisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	9	amod	_	_
9	Verfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
10	ohne	ohne	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	13	case	_	_
11	Metall	Metall	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	obj	_	_
12	verarbeitende	verarbeiten	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Prozesse	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	9	nmod	_	_
14	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	24	punct	_	_
15	das	das	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	24	nsubj	_	_
16	wegen	wegen	ADP	APPR	AdpType=Prep	19	case	_	_
17	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	19	det	_	_
18	erforderlichen	erforderlich	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	19	amod	_	_
19	Flexibilität	Flexibilität	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	24	obl	_	_
20	langfristig	langfristig	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	24	advmod	_	_
21	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	23	case	_	_
22	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	23	det	_	_
23	Chemietarif	Tarif	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	24	obj	_	_
24	gehöre	gehören	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	9	acl	_	_
25	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	9	punct	_	_
