Die EUV-Lithografie ( extremes Ultraviolettlicht ) ermögliche Strukturbreiten unterhalb 0,1 µm , Kupfer-Interconnects reichten bis etwa 25 GHz Kerntakt , 20- und 30-nm-Transistoren hatte Intel schon demonstiert .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	2	det	_	_
2	EUV-Lithografie	unknown	NOUN	NN	Person=3	7	nsubj	_	_
3	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	5	punct	_	_
4	extremes	extrem	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Neut|Number=Sing	5	amod	_	_
5	Ultraviolettlicht	Licht	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	2	appos	_	_
6	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	5	punct	_	_
7	ermögliche	ermöglichen	VERB	VVIMP	Mood=Imp|Number=Sing|Person=2|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	Strukturbreiten	Breite	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	7	obj	_	_
9	unterhalb	unterhalb	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Gen	11	case	_	_
10	0,1	0,1	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	11	nummod	_	_
11	µm	µm	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	8	nmod	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	14	punct	_	_
13	Kupfer-Interconnects	unknown	NOUN	NN	Person=3	14	nsubj	_	_
14	reichten	reichen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	7	conj	_	_
15	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	18	case	_	_
16	etwa	etwa	ADV	ADV	_	17	advmod	_	_
17	25	25	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	18	nummod	_	_
18	GHz	GHz	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	14	obl	_	_
19	Kerntakt	Takt	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	18	appos	_	_
20	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	27	punct	_	_
21	20-	20-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	27	obj	_	_
22	und	und	CCONJ	KON	_	23	cc	_	_
23	30-nm-Transistoren	Transistor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	21	conj	_	_
24	hatte	haben	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	27	aux	_	_
25	Intel	Intel	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	27	nsubj	_	_
26	schon	schon	ADV	ADV	_	27	advmod	_	_
27	demonstiert	-	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	7	conj	_	_
28	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
