Während Masken der bisherigen DUV-Technik ( deep ultraviolett ) transmissiv arbeiteten , reflektierten die neuen Masken die EUV-Strahlung auf den Wafer .
1	Während	Während	SCONJ	KOUS	_	11	mark	_	_
2	Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	11	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	5	det	_	_
4	bisherigen	bisherig	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	5	amod	_	_
5	DUV-Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	2	nmod	_	_
6	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	7	punct	_	_
7	deep	deep	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	5	appos	_	_
8	ultraviolett	ultraviolett	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	7	flat	_	_
9	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	7	punct	_	_
10	transmissiv	transmissiv	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	11	advmod	_	_
11	arbeiteten	arbeiten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	13	advcl	_	_
12	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	11	punct	_	_
13	reflektierten	reflektieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
14	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	16	det	_	_
15	neuen	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	16	amod	_	_
16	Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	nsubj	_	_
17	die	die	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	EUV-Strahlung	Strahlung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	13	obj	_	_
19	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	21	case	_	_
20	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	21	det	_	_
21	Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	13	obl	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	13	punct	_	_
