Nach einer Studie von VLSI Research vom Juni diesen Jahres wächst das Markt für Kupfermetallisierungs- und -polierwerkzeuge von etwa 800 Millionen US-Dollar in diesem Jahr auf 1,2 Milliarden US-Dollar im kommenden Jahr und soll sich bis 2003 auf 2,2 Milliarden beinahe verdoppeln .
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2	einer	einer	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Studie	Studie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	VLSI	VLSI	PROPN	NE	Person=3	3	nmod	_	_
6	Research	Research	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	5	flat	_	_
7-8	vom	_	_	_	_	_	_	_	_
7	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	9	case	_	_
8	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	9	det	_	_
9	Juni	Juni	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	3	nmod	_	_
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11	Jahres	Jahr	NOUN	NN	Case=Gen|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	9	nmod	_	_
12	wächst	wachsen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
13	das	das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
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16	Kupfermetallisierungs-	Kupfermetallisierungs-	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	14	nmod	_	_
17	und	und	CCONJ	KON	_	18	cc	_	_
18	-polierwerkzeuge	-polierwerkzeuge	NOUN	TRUNC	Hyph=Yes	16	conj	_	_
19	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	23	case	_	_
20	etwa	etwa	ADV	ADV	_	21	advmod	_	_
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22	Millionen	Million	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	23	nummod	_	_
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24	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	26	case	_	_
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26	Jahr	Jahr	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	12	obl	_	_
27	auf	auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	30	case	_	_
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31-32	im	_	_	_	_	_	_	_	_
31	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	34	case	_	_
32	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	34	det	_	_
33	kommenden	kommen	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	34	amod	_	_
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35	und	und	CCONJ	KON	_	44	cc	_	_
36	soll	sollen	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	44	aux	_	_
37	sich	sich	PRON	PRF	Case=Acc|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	44	expl:pv	_	_
38	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	39	case	_	_
39	2003	2003	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	44	obl	_	_
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43	beinahe	beinahe	ADV	ADV	_	44	advmod	_	_
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