Das Besondere , meinte ein Intel-Sprecher , bestehe in dem bei EUV-Masken angewandten Reflexionsverfahren :
1	Das	Das	DET	ART	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Besondere	Besonder	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	8	nsubj	_	_
3	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	4	punct	_	_
4	meinte	meinen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	8	parataxis	_	_
5	ein	ein	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	6	det	_	_
6	Intel-Sprecher	Sprecher	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
7	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	4	punct	_	_
8	bestehe	bestehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
9	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	14	case	_	_
10	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
11	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
12	EUV-Masken	Maske	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	obl	_	_
13	angewandten	anwenden	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	14	amod	_	_
14	Reflexionsverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	8	obj	_	_
15	:	:	PUNCT	$.	PunctType=Peri	8	punct	_	_
