Stand der Technik sind heute 200-mm-Scheiben ; verglichen damit versprechen die " Pizza-Wafer " den 2,5-fachen Ausstoß an Chips pro Prozess .
1	Stand	Stand	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	0	root	_	_
2	der	der	DET	ART	Case=Gen|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Technik	Technik	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	1	nmod	_	_
4	sind	sein	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	1	cop	_	_
5	heute	heute	ADV	ADV	_	1	advmod	_	_
6	200-mm-Scheiben	Scheibe	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	1	nsubj	_	_
7	;	;	PUNCT	$.	PunctType=Peri	1	punct	_	_
8	verglichen	vergleichen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	10	advcl	_	_
9	damit	damit	ADV	PROAV	_	8	advmod	_	_
10	versprechen	versprechen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	1	parataxis	_	_
11	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	13	det	_	_
12	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	13	punct	_	_
13	Pizza-Wafer	Wafer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nsubj	_	_
14	"	"	PUNCT	$(	PunctType=Brck	13	punct	_	_
15	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	17	det	_	_
16	2,5-fachen	2,5-fachen	ADJ	ADJA	_	17	amod	_	_
17	Ausstoß	Ausstoß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	10	obj	_	_
18	an	an	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
19	Chips	Chip	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
20	pro	pro	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
21	Prozess	Prozeß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	17	nmod	_	_
22	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	1	punct	_	_
