Eine beeindruckende Demonstration von MEMS-Modulen zeigte Professor David Culler von der University of California , Berkeley .
1	Eine	Eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
2	beeindruckende	beeindrucken	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Gender=Fem|Number=Sing	3	amod	_	_
3	Demonstration	Demonstration	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	6	obj	_	_
4	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	5	case	_	_
5	MEMS-Modulen	Modul	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
6	zeigte	zeigen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
7	Professor	Professor	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	6	nsubj	_	_
8	David	David	PROPN	NE	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	flat:name	_	_
9	Culler	Culler	PROPN	NE	Person=3	7	flat:name	_	_
10	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	12	case	_	_
11	der	der	DET	ART	Case=Dat|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	12	det	_	_
12	University	University	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	7	nmod	_	_
13	of	of	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	12	flat	_	_
14	California	California	PROPN	NE	Person=3	12	flat:name	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
16	Berkeley	Berkeley	PROPN	NE	Number=Sing|Person=3	12	appos	_	_
17	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	6	punct	_	_
