Auf ein Substrat werden bis zu 80 Schichten von Molybdän und Silizium abwechselnd aufgebracht , um eine Oberfläche zu schaffen , die das EUV-Licht , das eine Wellenlänge im Bereich von 13 Nanometern aufweist , präzise genug reflektiert .
1	Auf	Auf	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	3	case	_	_
2	ein	ein	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Substrat	unknown	NOUN	NN	Person=3	14	obl	_	_
4	werden	werden	AUX	VAFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	14	aux:pass	_	_
5	bis	bis	ADP	APPR	AdpType=Prep	6	case	_	_
6	zu	zu	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	7	nmod	_	_
7	80	80	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	8	nummod	_	_
8	Schichten	Schicht	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	14	nsubj:pass	_	_
9	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
10	Molybdän	unknown	NOUN	NN	Person=3	8	nmod	_	_
11	und	und	CCONJ	KON	_	12	cc	_	_
12	Silizium	Silizium	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	10	conj	_	_
13	abwechselnd	abwechseln	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	14	advmod	_	_
14	aufgebracht	aufbringen	VERB	VVPP	Aspect=Perf|VerbForm=Part	0	root	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	20	punct	_	_
16	um	um	SCONJ	KOUI	_	20	mark	_	_
17	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	18	det	_	_
18	Oberfläche	Oberfläche	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	20	obj	_	_
19	zu	zu	PART	PTKZU	PartType=Inf	20	mark	_	_
20	schaffen	schaffen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	14	advcl	_	_
21	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	39	punct	_	_
22	die	die	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	39	nsubj	_	_
23	das	das	DET	ART	Case=Acc|Gender=Neut|Number=Sing|PronType=Art	24	det	_	_
24	EUV-Licht	Licht	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Sing|Person=3	39	obj	_	_
25	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	35	punct	_	_
26	das	das	PRON	PRELS	Case=Nom|Gender=Neut|Number=Sing|Person=3|PronType=Rel	35	nsubj	_	_
27	eine	eine	DET	ART	Case=Acc|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	28	det	_	_
28	Wellenlänge	Wellenlänge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	35	obj	_	_
29-30	im	_	_	_	_	_	_	_	_
29	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	31	case	_	_
30	dem	der	DET	ART	Case=Dat|Definite=Def|Gender=Masc,Neut|Number=Sing|PronType=Art	31	det	_	_
31	Bereich	Bereich	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	28	nmod	_	_
32	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	34	case	_	_
33	13	13	NUM	CARD	Number=Plur|NumType=Card|Person=3	34	nummod	_	_
34	Nanometern	Meter	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	31	nmod	_	_
35	aufweist	aufweisen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	24	acl	_	_
36	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	35	punct	_	_
37	präzise	präzise	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	39	advmod	_	_
38	genug	genug	ADV	ADV	_	37	advmod	_	_
39	reflektiert	reflektieren	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	18	acl	_	_
40	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	14	punct	_	_
