Nachdem Anfang September schon die Hersteller von Chipfertigunsanlagen neue Rekordzahlen für Umsätze und Auftragseingänge vorlegen konnten , zogen jetzt die Halbleiter-Hersteller nach .
1	Nachdem	Nachdem	SCONJ	KOUS	_	15	mark	_	_
2	Anfang	Anfang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	15	obl	_	_
3	September	September	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	2	appos	_	_
4	schon	schon	ADV	ADV	_	15	advmod	_	_
5	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	6	det	_	_
6	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	15	nsubj	_	_
7	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	8	case	_	_
8	Chipfertigunsanlagen	Anlage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	6	nmod	_	_
9	neue	neu	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Plur	10	amod	_	_
10	Rekordzahlen	Rekordzahl	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	15	obj	_	_
11	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	12	case	_	_
12	Umsätze	Umsatz	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	10	nmod	_	_
13	und	und	CCONJ	KON	_	14	cc	_	_
14	Auftragseingänge	Eingang	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	12	conj	_	_
15	vorlegen	vorlegen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	18	ccomp	_	_
16	konnten	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	15	aux	_	_
17	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	15	punct	_	_
18	zogen	ziehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
19	jetzt	jetzt	ADV	ADV	_	18	advmod	_	_
20	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	21	det	_	_
21	Halbleiter-Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	18	nsubj	_	_
22	nach	nach	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	18	compound:prt	_	_
23	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
