Der Verband der Hersteller von Chip-Produktionsmaschinen und Materialzulieferern ( Semiconductor Equipment and Materials Industry , SEMI ) berichtete von massiven Steigerungen bei den Auftragseingängen und Auslieferungen für den fünften Monat in Folge .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Verband	Verband	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	18	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
5	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	Chip-Produktionsmaschinen	Maschine	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
7	und	und	CCONJ	KON	_	8	cc	_	_
8	Materialzulieferern	Zulieferer	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	6	conj	_	_
9	(	(	PUNCT	$(	PunctType=Brck	10	punct	_	_
10	Semiconductor	Semiconductor	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	2	appos	_	_
11	Equipment	Equipment	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	10	flat	_	_
12	and	and	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	10	flat	_	_
13	Materials	Materials	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	10	flat	_	_
14	Industry	Industry	X	FM	Foreign=Yes|Person=3	10	flat	_	_
15	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	16	punct	_	_
16	SEMI	SEMI	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	10	appos	_	_
17	)	)	PUNCT	$(	PunctType=Brck	10	punct	_	_
18	berichtete	berichten	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	0	root	_	_
19	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	21	case	_	_
20	massiven	massiv	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	21	amod	_	_
21	Steigerungen	Steigerung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	18	obj	_	_
22	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	24	case	_	_
23	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	24	det	_	_
24	Auftragseingängen	Eingang	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	21	nmod	_	_
25	und	und	CCONJ	KON	_	26	cc	_	_
26	Auslieferungen	Auslieferung	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	24	conj	_	_
27	für	für	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	30	case	_	_
28	den	den	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	30	det	_	_
29	fünften	fünfte	ADJ	ADJA	Case=Acc|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	30	amod	_	_
30	Monat	Monat	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	21	nmod	_	_
31	in	in	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	32	case	_	_
32	Folge	Folge	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	30	nmod	_	_
33	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	18	punct	_	_
