Der Auftragsüberschuss der Produzenten von Halbleitermaschinen nimmt außerdem kontinuierlich zu , teilte die SEMI mit .
1	Der	Der	DET	ART	Case=Nom|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Auftragsüberschuss	Überschuß	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	7	nsubj	_	_
3	der	der	DET	ART	Case=Gen|Number=Plur|PronType=Art	4	det	_	_
4	Produzenten	Produzent	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	2	nmod	_	_
5	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
6	Halbleitermaschinen	Maschine	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	4	nmod	_	_
7	nimmt	nehmen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
8	außerdem	außerdem	ADV	PROAV	_	7	advmod	_	_
9	kontinuierlich	kontinuierlich	ADJ	ADJD	Degree=Pos|Variant=Short	7	advmod	_	_
10	zu	zu	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	7	compound:prt	_	_
11	,	,	PUNCT	$,	PunctType=Comm	12	punct	_	_
12	teilte	teilen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Past|VerbForm=Fin	7	parataxis	_	_
13	die	die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	14	det	_	_
14	SEMI	SEMI	PROPN	NE	Case=Nom|Number=Sing|Person=3	12	nsubj	_	_
15	mit	mit	ADP	PTKVZ	PartType=Vbp	12	compound:prt	_	_
16	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	7	punct	_	_
