Dazu gehören Silizium-Materialien mit geringen Verlusten sowie hohem spezifischen Widerstand und entsprechenden Chip-Produktionsverfahren .
1	Dazu	Dazu	ADV	PROAV	_	2	obj	_	_
2	gehören	gehören	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
3	Silizium-Materialien	Material	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	2	nsubj	_	_
4	mit	mit	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	6	case	_	_
5	geringen	gering	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	6	amod	_	_
6	Verlusten	Verlust	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	3	nmod	_	_
7	sowie	sowie	CCONJ	KON	_	10	cc	_	_
8	hohem	hoch	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Sing	10	amod	_	_
9	spezifischen	spezifisch	ADJ	ADJA	Degree=Pos|Number=Sing	10	amod	_	_
10	Widerstand	Widerstand	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	6	conj	_	_
11	und	und	CCONJ	KON	_	13	cc	_	_
12	entsprechenden	entsprechen	ADJ	ADJA	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur	13	amod	_	_
13	Chip-Produktionsverfahren	Verfahren	NOUN	NN	Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	10	conj	_	_
14	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	2	punct	_	_
