Die Chip-Industrie boomt und kann die Nachfragen nach vielen Bauteilen kaum noch befriedigen - und die Hersteller von Halbleiterproduktionsmaschinen reiben sich die Hände .
1	Die	Die	DET	ART	Case=Nom|Gender=Fem|Number=Sing|PronType=Art	2	det	_	_
2	Chip-Industrie	Industrie	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Sing|Person=3	3	nsubj	_	_
3	boomt	boomen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
4	und	und	CCONJ	KON	_	13	cc	_	_
5	kann	können	AUX	VMFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin|VerbType=Mod	13	aux	_	_
6	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	7	det	_	_
7	Nachfragen	Nachfrage	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	13	obj	_	_
8	nach	nach	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	vielen	viel	ADJ	PIDAT	Case=Dat|Degree=Pos|Number=Plur|Person=3	10	amod	_	_
10	Bauteilen	Bauteil	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
11	kaum	kaum	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
12	noch	noch	ADV	ADV	_	13	advmod	_	_
13	befriedigen	befriedigen	VERB	VVINF	VerbForm=Inf	3	conj	_	_
14	-	-	PUNCT	$(	PunctType=Brck	20	punct	_	_
15	und	und	CCONJ	KON	_	20	cc	_	_
16	die	die	DET	ART	Case=Nom|Number=Plur|PronType=Art	17	det	_	_
17	Hersteller	Hersteller	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Plur|Person=3	20	nsubj	_	_
18	von	von	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	19	case	_	_
19	Halbleiterproduktionsmaschinen	Maschine	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	17	nmod	_	_
20	reiben	reiben	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Plur|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	13	conj	_	_
21	sich	sich	PRON	PRF	Case=Dat|Person=3|PronType=Prs|Reflex=Yes	20	iobj	_	_
22	die	die	DET	ART	Case=Acc|Number=Plur|PronType=Art	23	det	_	_
23	Hände	Hand	NOUN	NN	Gender=Fem|Number=Plur|Person=3	20	obj	_	_
24	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	3	punct	_	_
