Thin-film thickness monitor
پتلی فلم موٹائی مانیٹر، جمع کی شرح کنٹرولر، اور اسی طرح، اعلی اور انتہائی اعلی ویکیوم سسٹم میں استعمال ہونے والے آلات کا ایک خاندان ہے۔ وہ ایک پتلی فلم کی موٹائی کی پیمائش کر سکتے ہیں، نہ صرف اسے بنانے کے بعد، بلکہ جب اسے جمع کیا جا رہا ہو، اور کچھ فلم کی حتمی موٹائی، جس شرح پر اسے جمع کیا جاتا ہے، یا دونوں کو کنٹرول کر سکتے ہیں۔ حیرت کی بات نہیں کہ وہ آلات جو عمل کے کچھ پہلو کو کنٹرول کرتے ہیں انہیں کنٹرولر کہا جاتا ہے، اور جو صرف عمل کی نگرانی کرتے ہیں انہیں مانیٹر کہا جاتا ہے۔ اس طرح کے زیادہ تر آلات سینسر کے طور پر کوارٹج کرسٹل مائیکرو بیلنس کا استعمال کرتے ہیں۔ آپٹیکل پیمائش بعض اوقات استعمال کی جاتی ہے۔ یہ خاص طور پر مناسب ہو سکتا ہے اگر جمع کی جانے والی فلم پتلی فلم آپٹیکل ڈیوائس کا حصہ ہو۔ موٹائی مانیٹر اس بات کی پیمائش کرتا ہے کہ اس کے سینسر پر کتنا مواد جمع ہوا ہے۔ جمع کرنے کے زیادہ تر عمل کم از کم کسی حد تک دشاتمک ہوتے ہیں۔ سینسر اور نمونہ عام طور پر جمع ہونے والے ماخذ سے ایک ہی سمت میں نہیں ہو سکتے (اگر وہ ہوتے تو ماخذ کے قریب والا دوسرے کا سایہ ہوتا)، اور ہو سکتا ہے کہ اس سے ایک ہی فاصلے پر بھی نہ ہو۔ لہذا، جس شرح پر مواد سینسر پر جمع کیا جاتا ہے وہ اس شرح کے برابر نہیں ہو سکتا جس پر اسے نمونے پر جمع کیا جاتا ہے۔ دونوں شرحوں کے تناسب کو بعض اوقات "ٹولنگ فیکٹر" کہا جاتا ہے۔ محتاط کام کے لیے، حقیقت کے بعد کچھ نمونوں پر جمع ہونے والے مواد کی مقدار کی پیمائش کرکے اور موٹائی مانیٹر کی پیمائش سے موازنہ کرکے ٹولنگ فیکٹر کی جانچ کی جانی چاہیے۔ ایسا کرنے کے لیے اکثر فیزو انٹرفیرومیٹر استعمال کیے جاتے ہیں۔ پتلی فلم کی موٹائی اور خصوصیات کے لحاظ سے بہت سی دوسری تکنیکیں استعمال کی جا سکتی ہیں، جن میں سرفیس پروفائلرز، ایلپسمیٹری، ڈوئل پولرائزیشن انٹرفیرومیٹری اور نمونے کے کراس سیکشنز کی اسکیننگ الیکٹران مائکروسکوپی شامل ہیں۔ بہت سے موٹائی مانیٹر اور کنٹرولر جمع کرنے سے پہلے آلے میں ٹولنگ عوامل کو داخل کرنے کی اجازت دیتے ہیں۔ صحیح ٹولنگ فیکٹر کا حساب مندرجہ ذیل طریقے سے لگایا جا سکتا ہے: جہاں فائی ابتدائی ٹولنگ فیکٹر ہے، ٹی آئی آلہ کے ذریعہ اشارہ کردہ فلم کی موٹائی ہے، اور ٹی ایم جمع شدہ فلم کی اصل، آزادانہ طور پر ناپی گئی موٹائی ہے۔ اگر کوئی ٹولنگ فیکٹر پہلے سے سیٹ یا استعمال نہیں کیا گیا ہے، تو فائی 1 کے برابر ہے۔ ویکیوم سسٹمز کی پیمائش کرنے والے آلات کے حوالے