Microelectromechanical system oscillator
مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم آسکیلیٹر (ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر) وہ آلات ہیں جو وقت کی پیمائش کے لیے انتہائی مستحکم حوالہ تعدد پیدا کرتے ہیں (جو الیکٹرانک سسٹم کی ترتیب، ڈیٹا ٹرانسفر کا انتظام، ریڈیو تعدد کی وضاحت، اور گزرے ہوئے وقت کی پیمائش کے لیے استعمال ہوتے ہیں)۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز میں استعمال ہونے والی بنیادی ٹیکنالوجیز 1960 کی دہائی کے وسط سے ترقی میں ہیں، لیکن 2006 سے صرف تجارتی ایپلی کیشنز کے لیے کافی ترقی یافتہ ہیں۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز کو شامل کرتے ہیں، جو مائیکرو الیکٹرو مکینیکل ڈھانچے ہیں جو مستحکم تعدد کی وضاحت کرتے ہیں۔ ایم ای ایم ایس کلاک جنریٹر ایم ای ایم ایس ٹائمنگ ڈیوائسز ہیں جن میں ان سسٹمز کے لیے متعدد آؤٹ پٹ ہوتے ہیں جن کے لیے ایک سے زیادہ حوالہ فریکوئنسی کی ضرورت ہوتی ہے۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر پرانے، زیادہ قائم شدہ کوارٹج کرسٹل آسکیلیٹرز کا ایک درست متبادل ہیں، جو کمپن اور مکینیکل شاک کے خلاف بہتر لچک، اور درجہ حرارت میں تغیر کے حوالے سے وشوسنییتا پیش کرتے ہیں۔ ایم ای ایم ایس ٹائمنگ ڈیوائسز ریزونیٹرز ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز چھوٹے الیکٹرو مکینیکل ڈھانچے ہیں جو اعلی تعدد پر کمپن کرتے ہیں۔ ان کا استعمال ٹائمنگ ریفرنسز، سگنل فلٹرنگ، ماس سینسنگ، بائیولوجیکل سینسنگ، موشن سینسنگ، اور دیگر متنوع ایپلی کیشنز کے لیے کیا جاتا ہے۔ یہ مضمون تعدد اور وقت کے حوالوں میں ان کے اطلاق سے متعلق ہے۔ تعدد اور وقت کے حوالہ جات کے لیے، ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز الیکٹرانک سرکٹس سے منسلک ہوتے ہیں، جنہیں اکثر سسٹیننگ ایمپلیفائرز کہا جاتا ہے، تاکہ انہیں مسلسل حرکت میں لایا جا سکے۔ زیادہ تر معاملات میں یہ سرکٹس ریزونیٹرز کے قریب اور ایک ہی فزیکل پیکیج میں واقع ہوتے ہیں۔ ریزونیٹرز کو چلانے کے علاوہ، یہ سرکٹس ڈاون اسٹریم الیکٹرانکس کے لیے آؤٹ پٹ سگنلز تیار کرتے ہیں۔ آسکیلیٹرز روایت کے مطابق، آسکیلیٹرز کی اصطلاح عام طور پر انٹیگریٹڈ سرکٹس (ICs) کی نشاندہی کرتی ہے جو واحد آؤٹ پٹ فریکوئنسی فراہم کرتے ہیں۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز میں ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز، برقرار رکھنے والے ایمپس، اور اضافی الیکٹرانکس شامل ہیں جو ان کی آؤٹ پٹ فریکوئنسیز کو سیٹ یا ایڈجسٹ کرتے ہیں۔ ان سرکٹس میں اکثر فیز لاک لوپس (پی ایل ایل) شامل ہوتے ہیں جو اوپر کی طرف ایم ای ایم ایس حوالہ تعدد سے منتخب یا پروگرام کے قابل آؤٹ پٹ تعدد پیدا کرتے ہیں۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر عام طور پر 4-یا 6-پن آئی سی کے طور پر دستیاب ہوتے ہیں جو پرنٹڈ سرکٹ بورڈ (پی سی بی) سولڈر فٹ پرنٹس کے مطابق ہوتے ہیں جو پہلے کوارٹز کرسٹل آسکیلیٹرز کے لیے معیاری بنائے گئے تھے۔ کلاک جنریٹر اصطلاح کلاک جنریٹر عام طور پر ایک سے زیادہ آؤٹ پٹ کے ساتھ ٹائمنگ آئی سی کی نشاندہی کرتا ہے۔ اس رواج کی پیروی کرتے ہوئے، ایم ای ایم ایس کلاک جنریٹر ملٹی آؤٹ پٹ ایم ای ایم ایس ٹائمنگ ڈیوائسز ہیں۔ یہ پیچیدہ الیکٹرانک نظاموں میں وقت کے اشاروں کی فراہمی کے لیے استعمال ہوتے ہیں جن کے لیے متعدد تعدد یا گھڑی کے مراحل کی ضرورت ہوتی ہے۔ مثال کے طور پر، زیادہ تر کمپیوٹرز کو پروسیسر ٹائمنگ، ڈسک I/O، سیریل I/O، ویڈیو جنریشن، ایتھرنیٹ I/O، آڈیو کنورژن، اور دیگر افعال کے لیے آزاد گھڑیوں کی ضرورت ہوتی ہے۔ گھڑی جنریٹر عام طور پر ان کی ایپلی کیشنز کے لیے مخصوص ہوتے ہیں، بشمول تعدد کی تعداد اور انتخاب، مختلف معاون خصوصیات، اور پیکیج کی ترتیبات۔ ان میں اکثر متعدد آؤٹ پٹ فریکوئنسیز یا فیزز پیدا کرنے کے لیے متعدد پی ایل ایل شامل ہوتے ہیں۔ ریئل ٹائم گھڑیاں ایم ای ایم ایس ریئل ٹائم گھڑیاں (آر ٹی سی) وہ آئی سی ہیں جو دن اور تاریخ کے وقت کو ٹریک کرتی ہیں۔ ان میں ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز، برقرار رکھنے والے ایمپس، اور رجسٹر شامل ہیں جو وقت کے ساتھ بڑھتے ہیں، مثال کے طور پر دن، گھنٹے، منٹ اور سیکنڈ کی گنتی۔ ان میں الارم آؤٹ پٹ اور بیٹری مینجمنٹ جیسے معاون افعال بھی شامل ہیں۔ گزرے ہوئے وقت پر نظر رکھنے کے لیے آر ٹی سی کو مسلسل چلنا چاہیے۔ ایسا کرنے کے لیے انہیں بعض اوقات چھوٹی بیٹریوں سے چلانا پڑتا ہے اور اس لیے انہیں بہت کم بجلی کی سطح پر کام کرنا پڑتا ہے۔ وہ عام طور پر اعتدال پسند سائز کے آئی سی ہوتے ہیں جن میں پاور، بیٹری بیک اپ، ڈیجیٹل انٹرفیس، اور مختلف دیگر افعال کے لیے 20 پن ہوتے ہیں۔ ایم ای ایم ایس ٹائمنگ ڈیوائسز کی تاریخ کوارٹج کرسٹل آسکیلیٹرز کی کوتاہیوں سے متاثر ہونے والا پہلا مظاہرہ، محققین 1965 سے ایم ای ایم ایس ڈھانچوں کی گونج کی خصوصیات تیار کر رہے ہیں۔ تاہم، حال ہی میں سیلنگ، پیکیجنگ، اور ریزونیٹر عناصر کو ایڈجسٹ کرنے سے متعلق مختلف درستگی، استحکام، اور مینوفیکچرنگ کے مسائل نے لاگت سے موثر تجارتی مینوفیکچرنگ کو روکا۔ پانچ تکنیکی چیلنجوں پر قابو پانا پڑا: پہلے مظاہر مستحکم اور پیش گوئی کے قابل گونج مواد تلاش کرنا، کافی صاف ہرمیٹک پیکیجنگ ٹیکنالوجیز تیار کرنا، آؤٹ پٹ فریکوئنسیز کو تراشنا اور معاوضہ دینا، گونجنے والے عناصر کے معیار کے عنصر کو بڑھانا، اور مختلف درخواست کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے سگنل کی سالمیت کو بہتر بنانا۔ پہلے ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز دھاتی ریزونیٹر عناصر کے ساتھ بنائے گئے تھے۔ ان ریزونیٹرز کا تصور آڈیو فلٹرز کے طور پر کیا گیا تھا اور ان میں 500 کے اعتدال پسند معیار کے عوامل (کیو ایس) اور 1 کلو ہرٹز سے 100 کلو ہرٹز کی تعدد تھی۔ فلٹرنگ ایپلی کیشنز، جو اب ہائی فریکوئنسی ریڈیو کے لیے ہیں، اب بھی اہم ہیں اور ایم ای ایم ایس تحقیق اور تجارتی مصنوعات کے لیے ایک فعال علاقہ ہیں۔ تاہم، ابتدائی ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز میں کافی مستحکم تعدد نہیں تھی جو ٹائمنگ ریفرنسز یا کلاک جنریشن کے لیے استعمال کی جا سکے۔ دھاتی ریزونیٹر عناصر وقت کے ساتھ تعدد کو تبدیل کرنے کا رجحان رکھتے ہیں (وہ بوڑھے ہوتے ہیں) اور استعمال کے ساتھ (وہ تھک جاتے ہیں)۔ درجہ حرارت میں تغیر کے تحت ان کی تعدد میں بڑی اور مکمل طور پر پیش گوئی کے قابل تبدیلیاں نہیں ہوتی تھیں (ان میں درجہ حرارت کی حساسیت زیادہ ہوتی تھی) اور جب وہ درجہ حرارت پر سائیکل کرتے تھے تو وہ مختلف تعدد کی طرف لوٹ جاتے تھے (وہ ہسٹیریٹک تھے)۔ 1970 کی دہائی سے لے کر 1990 کی دہائی تک مواد کی ترقی کے کام نے کافی مستحکم ریزونیٹر مواد اور متعلقہ من گھڑت تکنیکوں کی نشاندہی کی۔ خاص طور پر، سنگل اور پولی کرسٹلائن سلکان فریکوئنسی حوالہ جات کے لیے موزوں پایا گیا جس میں مؤثر طریقے سے صفر عمر بڑھنے، تھکاوٹ اور ہسٹیریسیس، اور معتدل درجہ حرارت کی حساسیت کے ساتھ۔ ایم ای ایم ایس ریزونیٹر ریسرچ میں مادی ترقی اب بھی جاری ہے۔ سلکان جرمینیئم (سی جی ای) میں اس کے کم درجہ حرارت کی تعمیر کے لیے اور ایلومینیم نائٹرائڈ (اے ایل این) میں اس کے پیزو الیکٹرک ٹرانسڈکشن کے لیے اہم کوشش کی گئی ہے۔ مائیکرو مشین والے کوارٹج پر کام جاری ہے، جبکہ پولی کرسٹل ڈائمنڈ کو اعلی فریکوئنسی ریزونیٹرز کے لیے اس کی غیر معمولی سختی سے بڑے پیمانے کے تناسب کے لیے استعمال کیا گیا ہے۔ پیکیجنگ ڈویلپمنٹ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز کے لیے ایسی کھوکھڑیوں کی ضرورت ہوتی ہے جس میں وہ آزادانہ طور پر حرکت کر سکیں، اور فریکوئنسی حوالہ جات کے لیے ان کھوکھڑیوں کو خالی کرنا ضروری ہے۔ ابتدائی ریزونیٹرز سلکان ویفرز کے اوپر بنائے گئے تھے اور ویکیوم چیمبرز میں ٹیسٹ کیے گئے تھے، لیکن انفرادی ریزونیٹر کیپسولشن کی واضح طور پر ضرورت تھی۔ ایم ای ایم ایس کمیونٹی نے دیگر ایم ای ایم ایس اجزاء کو منسلک کرنے کے لیے بانڈڈ کور تکنیک کا استعمال کیا تھا، مثال کے طور پر پریشر سینسر، ایکسلرومیٹر، اور گائروسکوپ، اور ان تکنیکوں کو ریزونیٹرز کے لیے ڈھال لیا گیا تھا۔ اس نقطہ نظر میں، کور ویفرز کو چھوٹے سوراخوں کے ساتھ مائیکرو مشین کیا جاتا تھا اور ریزونیٹر ویفرز سے منسلک کیا جاتا تھا، جس سے ریزونیٹرز کو چھوٹے خالی شدہ سوراخوں میں گھیر لیا جاتا تھا۔ ابتدائی طور پر ان ویفرز کو کم پگھلنے والے درجہ حرارت والے شیشے کے ساتھ بانڈ کیا گیا تھا، جسے گلاس فریٹ کہا جاتا ہے، لیکن حال ہی میں دھاتی کمپریشن اور دھاتی مرکب سمیت دیگر بانڈنگ ٹیکنالوجیز نے شیشے کے فریٹ کی جگہ لے لی ہے۔ ریزونیٹرز پر بانڈنگ کور کے بجائے من گھڑت عمل میں ریزونیٹرز کے اوپر براہ راست کور بنا کر بند کھوکھڑیوں کی تشکیل کے لیے پتلی فلم اینکیپسولیشن تکنیک تیار کی گئی تھی۔ ان تکنیکوں کا فائدہ یہ تھا کہ انہوں نے سیلنگ ڈھانچے کے لیے زیادہ ڈائی ایریا کا استعمال نہیں کیا، انہیں کور بنانے کے لیے دوسرے ویفرز کی تیاری کی ضرورت نہیں تھی، اور اس کے نتیجے میں ڈیوائس ویفرز پتلے تھے۔ تعدد حوالہ جات کے لیے عام طور پر 100 حصوں فی ملین (پی پی ایم) یا اس سے بہتر تعدد استحکام کی ضرورت ہوتی ہے۔ تاہم، ابتدائی کور اور اینکیپسولیشن ٹیکنالوجیز نے گہاوں میں کافی مقدار میں آلودگی چھوڑی۔ کیونکہ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز چھوٹے ہوتے ہیں، اور خاص طور پر اس وجہ سے کہ ان کا حجم سے سطح کا رقبہ چھوٹا ہوتا ہے، وہ خاص طور پر بڑے پیمانے پر لوڈنگ کے لیے حساس ہوتے ہیں۔ یہاں تک کہ پانی یا ہائیڈرو کاربن جیسے آلودگیوں کی واحد جوہری پرتیں بھی ریزونیٹر کی تعدد کو تفصیلات سے باہر منتقل کر سکتی ہیں۔ جب ریزونیٹرز عمر رسیدہ ہوتے ہیں یا درجہ حرارت سائیکل ہوتا ہے، تو آلودگیاں چیمبروں میں منتقل ہو سکتی ہیں، اور ریزونیٹرز کے اوپر یا باہر منتقل ہو سکتی ہیں۔ ریزونیٹرز پر بڑے پیمانے پر تبدیلی ہزاروں پی پی ایم کا ہسٹیریسیس پیدا کر سکتی ہے، جو عملی طور پر تمام فریکوئنسی ریفرنس ایپلی کیشنز کے لیے ناقابل قبول ہے۔ شیشے کی فریٹ مہروں کے ساتھ ابتدائی ڈھکے ہوئے ریزونیٹرز غیر مستحکم تھے کیونکہ سگ ماہی کے مواد سے آلودگیاں باہر نکل جاتی تھیں۔ اس پر قابو پانے کے لیے، غاروں میں گیٹر بنائے گئے تھے۔ گیٹر وہ مواد ہیں جو گہاوں کو سیل کرنے کے بعد گیس اور آلودگیوں کو جذب کر سکتے ہیں۔ تاہم، گیٹرز آلودگیوں کو بھی چھوڑ سکتے ہیں اور مہنگے بھی ہو سکتے ہیں، اس لیے اس ایپلی کیشن میں ان کا استعمال کلینر کور بانڈنگ کے عمل کے حق میں بند کیا جا رہا ہے۔ اسی طرح، پتلی فلم کیپسولشن جوفوں میں من گھڑت ضمنی مصنوعات کو پھنسا سکتی ہے۔ اس کو ختم کرنے کے لیے ایپیٹیکسیل سلکان کے جمع ہونے پر مبنی ایک اعلی درجہ حرارت والی پتلی فلم کیپسولشن تیار کی گئی تھی۔ یہ ایپیٹیکسیل سیلنگ (ایپی سیل) عمل غیر معمولی طور پر صاف پایا گیا ہے اور سب سے زیادہ استحکام ریزونیٹرز پیدا کرتا ہے۔ الیکٹرانک فریکوئنسی کا انتخاب اور ٹرمنگ ابتدائی ایم ای ایم ایس ریزونیٹر ڈویلپمنٹ میں، محققین نے ٹارگٹ ایپلیکیشن فریکوئنسیز پر ریزونیٹرز بنانے اور ان فریکوئنسیز کو درجہ حرارت پر برقرار رکھنے کی کوشش کی۔ اس مسئلے کو حل کرنے کے طریقوں میں ٹرمنگ اور درجہ حرارت شامل تھا جو ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز کو کوارٹز کرسٹل کے لیے استعمال ہونے والے طریقوں سے معاوضہ دیتے تھے۔ تاہم، یہ تکنیکیں تکنیکی طور پر محدود اور مہنگی پائی گئیں۔ ایک زیادہ موثر حل یہ تھا کہ ریزونیٹرز کی فریکوئنسیز کو الیکٹرانک طور پر آسکیلیٹرز کی آؤٹ پٹ فریکوئنسیز میں منتقل کیا جائے۔ اس کا فائدہ یہ تھا کہ ریزونیٹرز کو انفرادی طور پر تراشنے کی ضرورت نہیں تھی۔ اس کے بجائے ان کی تعدد کو ماپا جا سکتا تھا اور آسکیلیٹر آئی سی میں مناسب اسکیلنگ کوفیشنٹس ریکارڈ کیے جا سکتے تھے۔ اس کے علاوہ، ریزونیٹرز کے درجہ حرارت کو الیکٹرانک طور پر ماپا جا سکتا ہے، اور درجہ حرارت پر ریزونیٹرز کے فریکوئنسی کے فرق کی تلافی کے لیے فریکوئنسی اسکیلنگ کو ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے۔ سگنل کی سالمیت کو بہتر بنانا مختلف ایپلی کیشنز کے لیے پہلے سے طے شدہ سگنل اور کارکردگی کی خصوصیات والی گھڑیوں کی ضرورت ہوتی ہے۔ ان میں سے کلیدی وضاحتیں فیز شور اور فریکوئنسی استحکام ہیں۔ ریزونیٹر کی قدرتی تعدد (ایف) اور معیار کے عوامل (کیو) کو بڑھا کر فیز شور کو بہتر بنایا گیا ہے۔ ق اس بات کی وضاحت کرتا ہے کہ ڈرائیو بند ہونے کے بعد گونجنے والے کتنی دیر تک بجتے رہتے ہیں، یا اس کے مساوی جب فلٹرز کے طور پر دیکھا جائے تو ان کے پاس بینڈ کتنے تنگ ہوتے ہیں۔ خاص طور پر، کیو ٹائمز ایف، یا کیو ایف پروڈکٹ، قریب کیریئر مرحلے کے شور کا تعین کرتا ہے۔ ابتدائی ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز نے حوالہ کے لیے ناقابل قبول طور پر کم کیو ایف پروڈکٹ دکھائے۔ اہم نظریاتی کام نے بنیادی طبیعیات کو واضح کیا جبکہ تجرباتی کام نے اعلی کیو ایف ریزونیٹرز تیار کیے۔ فی الحال دستیاب ایم ای ایم ایس کیو ایف کارکردگی عملی طور پر تمام ایپلی کیشنز کے لیے موزوں ہے۔ ریسونٹر ساختی ڈیزائن، خاص طور پر موڈ کنٹرول، اینکرنگ کے طریقوں، تنگ گیپ ٹرانسڈیوسرز، لکیریٹی، اور صف بند ڈھانچوں نے اہم تحقیقی کوششوں کو استعمال کیا۔ مطلوبہ تعدد کی درستگی پروسیسر کلاکنگ کے لیے نسبتا ڈھیلے سے لے کر، عام طور پر 50 سے 100 پی پی ایم تک، تیز رفتار ڈیٹا کلاکنگ کے لیے عین مطابق، اکثر 2.5 پی پی ایم اور اس سے نیچے تک ہوتی ہے۔ تحقیق سے پتہ چلتا ہے کہ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز اور آسکیلیٹرز کو ان سطحوں کے اندر اچھی طرح سے بنایا جا سکتا ہے۔ تجارتی مصنوعات اب 0.0 پی پی ایم پر دستیاب ہیں، جو درخواست کی زیادہ تر ضروریات کو پورا کرتی ہیں۔ آخر میں، فریکوئنسی کنٹرول الیکٹرانکس اور متعلقہ سپورٹ سرکٹری کو تیار کرنے اور بہتر بنانے کی ضرورت ہے۔ اہم شعبے درجہ حرارت سینسر اور پی ایل ایل ڈیزائن میں تھے۔ سرکٹ کی حالیہ پیشرفتوں نے سب-پائکو سیکنڈ انٹیگریٹڈ جٹر کے ساتھ تیز رفتار سیریل ایپلی کیشنز کے لیے موزوں ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر تیار کیے ہیں۔ تجارتی کاری یو ایس ڈیفنس ایڈوانسڈ ریسرچ پروجیکٹس ایجنسی (ڈی اے آر پی اے) نے ایم ای ایم ایس تحقیق کی ایک وسیع رینج کو مالی اعانت فراہم کی جس نے اوپر بیان کردہ پیشرفتوں کے لیے بنیادی ٹیکنالوجیز فراہم کیں۔ 2001 اور 2002 میں، ڈی اے آر پی اے نے خاص طور پر ایم ای ایم ایس ہائی اسٹیبلٹی ریزونیٹر اور پیکیجنگ ٹیکنالوجیز تیار کرنے کے لیے نینو مکینیکل ارے سگنل پروسیسرز (این ایم اے ایس پی) اور ہرش انوائرمنٹ روبسٹ مائیکرو مکینیکل ٹیکنالوجی (ایچ ای آر ایم آئی ٹی) پروگرام شروع کیے۔ یہ کام نتیجہ خیز تھا اور ٹیکنالوجی کو اس سطح تک بڑھایا جس پر وینچر کیپیٹل فنڈڈ اسٹارٹ اپس تجارتی مصنوعات تیار کر سکتے تھے۔ ان اسٹارٹ اپس میں 2001 میں ڈسیرا، 2004 میں سیٹائم، 2006 میں سلیکن کلاکس، اور 2006 میں ہارمونک ڈیوائسز شامل تھے۔ سیٹائم نے 2006 میں پہلا پروڈکشن ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر متعارف کرایا، اس کے بعد 2007 میں ڈسیرا۔ ہارمونک ڈیوائسز نے اپنا فوکس سینسر مصنوعات پر تبدیل کر دیا اور اسے کوالکوم نے 2010 میں خریدا تھا۔ سلیکن کلاکس نے کبھی تجارتی مصنوعات متعارف نہیں کروائیں اور اسے سلیکن لیبز نے 2010 میں خریدا تھا۔ اضافی داخلہ لینے والوں نے ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر تیار کرنے کے اپنے ارادے کا اعلان کیا ہے، جن میں سینڈ 9 اور وی ٹی آئی ٹیکنالوجیز شامل ہیں۔ فروخت کے حجم کے لحاظ سے، ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر سپلائرز نزولی ترتیب میں سیٹائم اور ڈسیرا کے طور پر درجہ بندی کرتے ہیں۔ متعدد کوارٹج آسکیلیٹر سپلائرز ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کو دوبارہ فروخت کرتے ہیں۔ سیٹائم نے اعلان کیا کہ اس نے 2011 کے وسط تک مجموعی طور پر 50 ملین یونٹ بھیجے ہیں۔ دوسروں نے فروخت کے حجم کا انکشاف نہیں کیا ہے۔ آپریشن ون ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز کو چھوٹی گھنٹیوں کے طور پر سوچ سکتا ہے جو زیادہ تعدد پر بجتی ہیں۔ چھوٹی گھنٹیاں بڑی گھنٹیوں کے مقابلے زیادہ تعدد پر بجتی ہیں، اور چونکہ ایم ای ایم ایس ریزونیٹر چھوٹے ہوتے ہیں اس لیے وہ زیادہ تعدد پر بج سکتے ہیں۔ عام گھنٹیاں میٹر سے سینٹی میٹر تک ہوتی ہیں اور سینکڑوں ہرٹز سے کلو ہرٹز پر بجتی ہیں۔ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز ایک ملی میٹر کا دسواں حصہ ہوتے ہیں اور دسیوں کلو ہرٹز سے سینکڑوں میگا ہرٹز پر بجتے ہیں۔ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز نے ایک گیگا ہرٹز سے زیادہ پر کام کیا ہے۔ عام گھنٹیاں میکانکی طور پر بجائی جاتی ہیں، جبکہ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز برقی طور پر چلائے جاتے ہیں۔ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز بنانے کے لیے دو بنیادی ٹیکنالوجیز استعمال کی جاتی ہیں جو مکینیکل حرکت سے برقی ڈرائیو اور احساس کے اشاروں کو منتقل کرنے کے طریقے میں مختلف ہوتی ہیں۔ یہ الیکٹروسٹیٹک اور پیزو الیکٹرک ہیں۔ تمام تجارتی ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر الیکٹروسٹیٹک ٹرانسڈکشن کا استعمال کرتے ہیں جبکہ ایم ای ایم ایس فلٹر پیزو الیکٹرک ٹرانسڈکشن کا استعمال کرتے ہیں۔ پیزو الیکٹرک ریزونیٹرز نے فریکوئنسی ریفرنس ایپلی کیشنز کے لیے کافی فریکوئنسی استحکام یا کوالٹی فیکٹر (ق) نہیں دکھایا ہے۔ الیکٹرانک پائیدار ایمپس ریزونیٹرز کو مسلسل ارتعاش میں چلاتے ہیں۔ یہ یمپلیفائرز ریزونیٹر کی حرکت کا پتہ لگاتے ہیں اور ریزونیٹرز میں اضافی توانائی چلاتے ہیں۔ انہیں مناسب طول و عرض پر ریزونیٹرز کی حرکت کو برقرار رکھنے اور کم شور آؤٹ پٹ گھڑی کے اشاروں کو نکالنے کے لیے احتیاط سے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اضافی سرکٹس جنہیں فریکشنل-این فیز لاک لوپس (ایف آر سی-این پی ایل ایل) کہا جاتا ہے، ریزونیٹر کی مکینیکل فریکوئنسیز کو آسکیلیٹر کی آؤٹ پٹ فریکوئنسیز سے ضرب دیتے ہیں۔ یہ انتہائی خصوصی پی ایل ایل آؤٹ پٹ فریکوئنسیز کو ڈیجیٹل اسٹیٹ مشینوں کے کنٹرول میں رکھتے ہیں۔ ریاستی مشینیں غیر مستحکم میموری میں محفوظ کردہ انشانکن اور پروگرام ڈیٹا کے ذریعے کنٹرول کی جاتی ہیں اور درجہ حرارت میں تغیرات کی تلافی کے لیے پی ایل ایل ترتیبات کو ایڈجسٹ کرتی ہیں۔ ریاستی مشینیں اضافی صارف افعال فراہم کرنے کے لیے بھی بنائی جا سکتی ہیں، مثال کے طور پر اسپریڈ سپیکٹرم کلاکنگ اور وولٹیج کنٹرول فریکوئنسی ٹرمنگ۔ ایم ای ایم ایس کلاک جنریٹر اپنے مرکز میں ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کے ساتھ بنائے جاتے ہیں اور اضافی آؤٹ پٹ کی فراہمی کے لیے اضافی سرکٹری شامل کرتے ہیں۔ یہ اضافی سرکٹری عام طور پر ایپلی کیشنز کے ذریعہ مطلوبہ مخصوص خصوصیات فراہم کرنے کے لیے ڈیزائن کی جاتی ہے۔ ایم ای ایم ایس آر ٹی سی آسکیلیٹرز کی طرح کام کرتے ہیں لیکن کم بجلی کی کھپت کے لیے بہتر بنائے جاتے ہیں اور تاریخ اور وقت کو ٹریک کرنے کے لیے معاون سرکٹس شامل ہوتے ہیں۔ کم طاقت پر کام کرنے کے لیے وہ کم فریکوئنسی والے ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز کے ساتھ بنائے جاتے ہیں۔ مطلوبہ وقت کی درستگی فراہم کرتے ہوئے بجلی کی کھپت کو کم سے کم کرنے کے لیے سرکٹ ڈیزائن میں خیال رکھا جاتا ہے۔ ریزونیٹر کی قسم پر منحصر ہے، من گھڑت عمل یا تو ایک خصوصی ایم ای ایم ایس فاب یا سی ایم او ایس فاؤنڈری میں کیا جاتا ہے۔ مینوفیکچرنگ کا عمل ریزونیٹر اور انکوپیسولیشن ڈیزائن کے ساتھ مختلف ہوتا ہے، لیکن عام طور پر ریزونیٹر ڈھانچے لیتھوگرافک انداز میں ہوتے ہیں اور سلکان ویفرز میں یا اس پر پلازما سے کندہ ہوتے ہیں۔ تمام تجارتی ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر پولی یا سنگل کرسٹل سلکان سے بنائے جاتے ہیں۔ الیکٹروسٹیٹک طور پر ٹرانسڈیوسڈ ریزونیٹرز میں تنگ اور اچھی طرح سے کنٹرول شدہ ڈرائیو اور سینس کیپسیٹر گیپس بنانے کے لیے یہ ضروری ہے۔ یہ یا تو لیٹرل ہو سکتے ہیں مثال کے طور پر ریزونیٹرز کے نیچے، یا ریزونیٹرز کے ساتھ عمودی ہو سکتے ہیں۔ ہر آپشن کے اپنے فوائد ہیں اور دونوں تجارتی طور پر استعمال ہوتے ہیں۔ ریزونیٹرز کو یا تو ریزونیٹر ویفرز پر بانڈنگ کور ویفرز کے ذریعے یا ریزونیٹرز پر پتلی فلم اینکیپسولیشن تہوں کو جمع کرکے منسلک کیا جاتا ہے۔ یہاں پھر، دونوں طریقے تجارتی طور پر استعمال کیے جاتے ہیں۔ بانڈڈ کور ویفرز کو چپکنے والی چیز کے ساتھ منسلک ہونا چاہیے۔ دو اختیارات استعمال کیے جاتے ہیں، گلاس فریٹ بانڈ رنگ یا دھاتی بانڈ رنگ۔ گلاس فریٹ بہت زیادہ آلودگی پیدا کرنے کے لیے پایا گیا ہے، اور اس طرح بہہ جاتا ہے، اور اب عام طور پر استعمال نہیں ہوتا ہے۔ پتلی فلم اینکیپسولیشن کے لیے ریزونیٹرز کے ڈھانچے کو آکسائڈ اور سلکان کی تہوں سے ڈھانپ دیا جاتا ہے، پھر آس پاس کے آکسائڈ کو ہٹا کر فری اسٹینڈنگ ریزونیٹرز بنا کر چھوڑ دیا جاتا ہے، اور آخر میں اضافی جمع کے ساتھ سیل کر دیا جاتا ہے۔ سرکٹری برقرار رکھنے والے ایمپس، پی ایل ایل، اور معاون سرکٹس سی ایم او ایس فاؤنڈریوں میں بنائے گئے معیاری مخلوط سگنل سی ایم او ایس کے عمل کے ساتھ بنائے جاتے ہیں۔ ایک ہی آئی سی ڈائی پر سی ایم او ایس سرکٹس کے ساتھ مربوط ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کا مظاہرہ کیا گیا ہے لیکن آج تک یہ یکساں انضمام تجارتی طور پر قابل عمل نہیں ہے۔ اس کے بجائے، ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز اور سی ایم او ایس سرکٹری کو علیحدہ ڈائی پر تیار کرنا اور پیکیجنگ مرحلے پر ان کو جوڑنا فائدہ مند ہے۔ اس طرح سے ایک ہی پیکیج میں متعدد ڈائی کو یکجا کرنے کو متنوع انضمام یا محض ڈائی اسٹیکنگ کہا جاتا ہے۔ پیکیجنگ مکمل شدہ ایم ای ایم ایس ڈیوائسز، جو چھوٹے چپ سطح کے ویکیوم چیمبرز میں بند ہیں، کو ان کے سلکان ویفرز سے ڈائس کیا جاتا ہے، اور ریزونیٹر ڈائی کو سی ایم او ایس ڈائی پر اسٹیک کیا جاتا ہے اور آسکیلیٹر بنانے کے لیے پلاسٹک کے پیکجوں میں مولڈ کیا جاتا ہے۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر اسی فیکٹریوں میں اور اسی سامان اور مواد کے ساتھ پیک کیے جاتے ہیں جو معیاری آئی سی پیکیجنگ کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔ یہ کوارٹج آسکیلیٹرز کے مقابلے میں ان کی لاگت کی تاثیر اور وشوسنییتا میں ایک اہم معاون ہے، جو اپنی مرضی کے مطابق تعمیر شدہ فیکٹریوں میں خصوصی سیرامک پیکجوں کے ساتھ جمع ہوتے ہیں۔ پیکیج کے طول و عرض اور پیڈ کی شکلیں معیاری کوارٹج آسکیلیٹر پیکجوں سے ملتی ہیں لہذا ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کو بورڈ میں ترمیم یا دوبارہ ڈیزائن کی ضرورت کے بغیر کوارٹج کے لیے ڈیزائن کیے گئے پی سی بی پر براہ راست سولڈر کیا جا سکتا ہے۔ جانچ اور انشانکن پروڈکشن ٹیسٹ ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز اور سی ایم او ایس آئی سیز کی جانچ اور انشانکن کرتے ہیں تاکہ یہ تصدیق کی جا سکے کہ وہ تفصیلات کے مطابق کارکردگی کا مظاہرہ کر رہے ہیں اور اپنی تعدد کو کم کر رہے ہیں۔ اس کے علاوہ، بہت سے ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز میں پروگرام کے قابل آؤٹ پٹ فریکوئنسیز ہوتی ہیں جنہیں ٹیسٹ کے وقت ترتیب دیا جا سکتا ہے۔ یقینا مختلف قسم کے آسکیلیٹرز کو خصوصی سی ایم او ایس اور ایم ای ایم ایس ڈائی سے ترتیب دیا گیا ہے۔ مثال کے طور پر، کم طاقت اور اعلی کارکردگی والے آسکیلیٹر ایک ہی ڈائی کے ساتھ نہیں بنائے جاتے ہیں۔ اس کے علاوہ، اعلی صحت سے متعلق آسکیلیٹرز کو اکثر کم صحت سے متعلق آسکیلیٹرز کے مقابلے میں زیادہ محتاط انشانکن کی ضرورت ہوتی ہے۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کی جانچ معیاری آئی سی کی طرح کی جاتی ہے۔ پیکیجنگ کی طرح، یہ معیاری آئی سی فیکٹریوں میں معیاری آئی سی ٹیسٹ آلات کے ساتھ کیا جاتا ہے۔ معیاری آئی سی پیکیجنگ اور ٹیسٹ کی سہولیات کا استعمال (جسے آئی سی انڈسٹری میں سبکونز کہا جاتا ہے) ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کو پیداوار کی پیمائش فراہم کرتا ہے۔ یہ سہولیات بڑی مقدار میں پیداوار کرنے کی صلاحیت رکھتی ہیں، اکثر روزانہ سیکڑوں لاکھوں آئی سی۔ یہ صلاحیت بہت سی آئی سی کمپنیوں میں مشترک ہے، اس لیے مخصوص آئی سیز کی پیداوار کی مقدار کو بڑھانا، یا اس معاملے میں مخصوص ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز، معیاری پیداوار کا سامان مختص کرنے کا ایک کام ہے۔ اس کے برعکس، کوارٹج آسکیلیٹر فیکٹریاں فطرت میں واحد فنکشن ہیں، لہذا ریمپنگ پروڈکشن کے لیے کسٹم آلات نصب کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، جو معیاری آلات مختص کرنے سے زیادہ مہنگا اور وقت طلب ہے۔ ایم ای ایم ایس اور کوارٹز آسکیلیٹرز کا موازنہ کرتے ہوئے کوارٹز آسکیلیٹرز ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کے مقابلے میں بہت زیادہ مقدار میں فروخت ہوتے ہیں، اور الیکٹرانکس انجینئرز بڑے پیمانے پر استعمال اور سمجھتے ہیں۔ لہذا، کوارٹج آسکیلیٹر بیس لائن فراہم کرتے ہیں جس سے ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کا موازنہ کیا جاتا ہے۔ حالیہ پیشرفتوں نے ایم ای ایم ایس پر مبنی ٹائمنگ ڈیوائسز کو کوارٹج ڈیوائسز سے ملتی جلتی اور بعض اوقات اعلی کارکردگی کی سطح پیش کرنے کے قابل بنایا ہے۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر سگنل کا معیار جیسا کہ فیز شور سے ماپا جاتا ہے اب زیادہ تر ایپلی کیشنز کے لیے کافی ہے۔ 10 میگاہرٹز سے 10 کلو ہرٹز پر −150 ڈی بی سی کا فیز شور اب دستیاب ہے، ایک ایسی سطح جو عام طور پر صرف ریڈیو فریکوئنسی (آر ایف) ایپلی کیشنز کے لیے درکار ہوتی ہے۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر اب 1 پیکو سیکنڈ کے تحت مربوط جٹر کے ساتھ دستیاب ہیں، جن کی پیمائش 12 کلو ہرٹز سے 20 میگاہرٹز تک کی جاتی ہے، یہ ایک ایسی سطح ہے جو عام طور پر تیز رفتار سیریل ڈیٹا لنکس، جیسے ایس او این ای ٹی اور مطابقت پذیری، اور کچھ آلات کی ایپلی کیشنز کے لیے درکار ہوتی ہے۔ قلیل مدتی استحکام، اسٹارٹ اپ کا وقت، اور بجلی کی کھپت، کوارٹز سے ملتی جلتی ہیں۔ کچھ معاملات میں، ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر کوارٹج کے مقابلے میں کم بجلی کی کھپت ظاہر کرتے ہیں۔ ہائی سپیسیشن ایم ای ایم ایس ٹمپریچر کمپینسیٹڈ آسکیلیٹرز (ٹی سی ایکس اوز) کا اعلان حال ہی میں کیا گیا ہے جس میں درجہ حرارت پر ± 0.1 پی پی ایم فریکوئنسی استحکام ہے۔ یہ بہت اعلی درجے کے کوارٹج ٹی سی ایکس اوز اور اوون کنٹرولڈ آسکیلیٹرز (او سی ایکس اوز) کے علاوہ سب کی کارکردگی سے زیادہ ہے۔ ایم ای ایم ایس ٹی سی ایکس او اب 100 میگاہرٹز سے زیادہ آؤٹ پٹ فریکوئنسی کے ساتھ دستیاب ہیں، ایک ایسی صلاحیت جو صرف چند خصوصی کوارٹج آسکیلیٹر (مثال کے طور پر، الٹا میسا) فراہم کر سکتے ہیں۔ آر ٹی سی ایپلی کیشنز میں ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر درجہ حرارت اور سولڈر ڈاؤن شفٹ پر فریکوئنسی استحکام کے لحاظ سے بہترین کوارٹج ٹیوننگ فورکس سے قدرے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کر رہے ہیں، جبکہ کوارٹج اب بھی سب سے کم پاور ایپلی کیشنز کے لیے بہتر ہے۔ صارفین کو درکار مختلف قسم کی خصوصیات کے مطابق کوارٹج آسکیلیٹرز کی تیاری اور ذخیرہ کرنا مشکل ہے۔ مختلف ایپلی کیشنز کو مخصوص تعدد، درستگی کی سطح، سگنل کے معیار کی سطح، پیکیج کے سائز، سپلائی وولٹیج اور خصوصی خصوصیات کے ساتھ آسکیلیٹرز کی ضرورت ہوتی ہے۔ ان کا امتزاج پارٹ نمبروں کے پھیلاؤ کا باعث بنتا ہے جو اسٹاکنگ کو ناقابل عمل بناتا ہے اور طویل پیداوار لیڈ ٹائم کا باعث بن سکتا ہے۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر سپلائرز سرکٹ ٹیکنالوجی کا فائدہ اٹھاتے ہوئے تنوع کے مسئلے کو حل کرتے ہیں۔ جبکہ کوارٹج آسکیلیٹر عام طور پر مطلوبہ آؤٹ پٹ فریکوئنسی پر چلنے والے کوارٹج کرسٹل کے ساتھ بنائے جاتے ہیں، ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر عام طور پر ریزونیٹرز کو ایک فریکوئنسی پر چلاتے ہیں اور اسے ڈیزائن کردہ آؤٹ پٹ فریکوئنسی سے ضرب دیتے ہیں۔ اس طرح، سینکڑوں معیاری ایپلی کیشن فریکوئنسیز اور کبھی کبھار اپنی مرضی کے مطابق فریکوئنسی کو ایم ای ایم ایس ریزونیٹرز یا سرکٹس کو دوبارہ ڈیزائن کیے بغیر فراہم کیا جا سکتا ہے۔ یقینا حصوں کے مختلف زمروں کے لیے ریزونیٹر، سرکٹس، یا انشانکن میں فرق درکار ہوتے ہیں، لیکن ان زمروں کے اندر فریکوئنسی ٹرانسلیشن پیرامیٹرز کو اکثر پیداوار کے عمل میں دیر سے ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز میں پروگرام کیا جا سکتا ہے۔ چونکہ اجزاء کو عمل میں دیر تک مختلف نہیں کیا جاتا ہے اس لیے لیڈ ٹائم مختصر ہو سکتا ہے، عام طور پر چند ہفتے۔ تکنیکی طور پر، کوارٹج آسکیلیٹرز کو سرکٹ پر مبنی پروگرام کے قابل آرکیٹیکچرز کے ساتھ بنایا جا سکتا ہے جیسے کہ ایم ای ایم ایس میں استعمال ہوتے ہیں، لیکن تاریخی طور پر صرف ایک اقلیت کو اس طرح بنایا گیا ہے۔ ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر بھی صدمے اور کمپن سے نمایاں طور پر مدافعتی ہوتے ہیں اور انہوں نے کوارٹز سے وابستہ پیداوار کے معیار کی سطح کو زیادہ دکھایا ہے۔ کوارٹج آسکیلیٹر مخصوص ایپلی کیشنز میں محفوظ ہیں جہاں مناسب ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر متعارف نہیں کیے گئے ہیں۔ مثال کے طور پر، ان ایپلی کیشنز میں سے ایک سیل فون ہینڈ سیٹس کے لیے وولٹیج کنٹرولڈ ٹی سی ایکس او (وی سی ٹی سی ایکس او) ہے۔ اس ایپلی کیشن کے لیے صلاحیتوں کے ایک بہت ہی مخصوص سیٹ کی ضرورت ہوتی ہے جس کے لیے کوارٹز مصنوعات کو انتہائی بہتر بنایا جاتا ہے۔ کوارٹج آسکیلیٹر کارکردگی کی حد کے انتہائی اونچے سروں میں بہتر ہوتے ہیں۔ ان میں او سی ایکس او شامل ہیں جو چند حصوں فی ارب (پی پی بی) کے اندر استحکام برقرار رکھ سکتے ہیں، اور سرفیس ایکوسٹک ویو (ایس اے ڈبلیو) آسکیلیٹر جو اعلی تعدد پر 100 فیمٹوسیکنڈز سے کم جٹر فراہم کر سکتے ہیں۔ حال ہی تک، ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز ٹی سی ایکس او پروڈکٹ رینج میں مقابلہ نہیں کرتے تھے، لیکن نئے پروڈکٹ تعارف نے ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کو اس مارکیٹ میں لایا ہے۔ کوارٹز اب بھی کلاک جنریٹر ایپلی کیشنز میں غالب ہے۔ ان ایپلی کیشنز کو انتہائی خصوصی آؤٹ پٹ امتزاج اور اپنی مرضی کے مطابق پیکجوں کی ضرورت ہوتی ہے۔ ان مصنوعات کے لیے سپلائی چین خصوصی ہے اور اس میں ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر سپلائر شامل نہیں ہے۔ عام ایپلی کیشنز ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز مختلف ایپلی کیشنز جیسے کمپیوٹنگ، کنزیومر، نیٹ ورکنگ، کمیونیکیشنز، آٹوموٹو اور انڈسٹریل سسٹمز میں کوارٹز آسکیلیٹرز کی جگہ لے رہے ہیں۔ پروگرام کے قابل ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر زیادہ تر ایپلی کیشنز میں استعمال کیے جا سکتے ہیں جہاں فکسڈ فریکوئنسی کوارٹز آسکیلیٹر استعمال کیے جاتے ہیں، جیسے پی سی آئی-ایکسپریس، ایس اے ٹی اے، ایس اے ایس، پی سی آئی، یو ایس بی، گیگابٹ ایتھرنیٹ، ایم پی ای جی ویڈیو، اور کیبل موڈیم۔ ایم ای ایم ایس کلاک جنریٹر پیچیدہ نظاموں میں مفید ہیں جن میں متعدد تعدد کی ضرورت ہوتی ہے، جیسے ڈیٹا سرورز اور ٹیلی کام سوئچ۔ ایم ای ایم ایس ریئل ٹائم گھڑیاں ان نظاموں میں استعمال ہوتی ہیں جن میں عین وقت کی پیمائش کی ضرورت ہوتی ہے۔ گیس اور بجلی کے لیے اسمارٹ میٹر ایک ایسی مثال ہے جو ان آلات کی کافی مقدار استعمال کر رہی ہے۔ آسکیلیٹر کی اقسام کے ناموں میں "X" اصل میں "کرسٹل" کی نشاندہی کرتا ہے۔ کچھ مینوفیکچررز نے ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز کو شامل کرنے کے لیے اس روایت کو اپنایا ہے۔ دوسرے ایم ای ایم ایس پر مبنی آسکیلیٹرز کو کوارٹز پر مبنی آسکیلیٹرز سے الگ کرنے کے لیے "ایکس" کے لیے "ایم" کو تبدیل کر رہے ہیں (جیسا کہ "وی سی ایم او" بمقابلہ "وی سی ایکس او" میں)۔ حدود ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر ہیلیم سے نقصان دہ طور پر متاثر ہو سکتے ہیں۔ ایک ہسپتال میں ہیلیم کا رساو 2018 میں ایم ای ایم ایس آسکیلیٹرز استعمال کرنے والے آلات کی بڑے پیمانے پر ناکامی کا سبب بنا۔ 2 فیصد سے کم ہیلیم کا ارتکاز ایم ای ایم ایس آسکیلیٹر کی مکمل ناکامی کا سبب بنتا ہے۔ مزید دیکھیں الیکٹرانک اجزاء حوالہ جات امریکی ایجادات آسکیلیٹر مائیکرو الیکٹرانک اور مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم