Capacitively coupled plasma
کیپیسیٹولی کپلڈ پلازما (سی سی پی) صنعتی پلازما ذرائع کی سب سے عام اقسام میں سے ایک ہے۔ یہ بنیادی طور پر دو دھاتی الیکٹروڈ پر مشتمل ہوتا ہے جو ایک چھوٹے فاصلے سے الگ ہوتے ہیں، جو ایک ری ایکٹر میں رکھے جاتے ہیں۔ ری ایکٹر میں گیس کا دباؤ ماحول سے کم ہو سکتا ہے یا یہ ماحولیاتی ہو سکتا ہے۔ ایک عام سی سی پی نظام ایک واحد ریڈیو فریکوئنسی (آر ایف) بجلی کی فراہمی کے ذریعے چلایا جاتا ہے، عام طور پر 13.56 MHz پر۔ دو الیکٹروڈ میں سے ایک بجلی کی فراہمی سے جڑا ہوا ہے، اور دوسرا گراؤنڈ ہے۔ چونکہ یہ ترتیب اصولی طور پر برقی سرکٹ میں کیپسیٹر سے ملتی جلتی ہے، اس ترتیب میں بننے والے پلازما کو کیپسیٹولی جوڑا پلازما کہا جاتا ہے۔ جب الیکٹروڈ کے درمیان برقی میدان پیدا ہوتا ہے تو ایٹم آئنائز ہوتے ہیں اور الیکٹرانوں کو چھوڑتے ہیں۔ گیس میں موجود الیکٹرانوں کو آر ایف فیلڈ کے ذریعے تیز کیا جاتا ہے اور وہ تصادم کے ذریعے براہ راست یا بالواسطہ طور پر گیس کو آئنائز کر سکتے ہیں، جس سے ثانوی الیکٹران پیدا ہوتے ہیں۔ جب برقی میدان کافی مضبوط ہوتا ہے، تو یہ الیکٹران ایولانچ کا باعث بن سکتا ہے۔ برفانی تودے کے ٹوٹنے کے بعد، وافر مقدار میں آزاد الیکٹرانوں کی وجہ سے گیس برقی طور پر موصل ہو جاتی ہے۔ اکثر یہ گیس میں پرجوش ایٹموں یا مالیکیولز سے روشنی کے اخراج کے ساتھ ہوتا ہے۔ جب نظر آنے والی روشنی پیدا ہوتی ہے تو پلازما کی نسل کو ننگی آنکھوں سے بھی بالواسطہ طور پر دیکھا جا سکتا ہے۔ کیپیسیٹیو طور پر جوڑے ہوئے پلازما پر ایک تغیر میں الیکٹروڈ میں سے ایک کو الگ کرنا شامل ہوتا ہے، عام طور پر ایک کیپسیٹر کے ساتھ۔ کیپسیٹر ہائی فریکوئنسی آر ایف فیلڈ کے لیے شارٹ سرکٹ کی طرح ظاہر ہوتا ہے، لیکن براہ راست کرنٹ (ڈی سی) فیلڈ کے لیے اوپن سرکٹ کی طرح۔ الیکٹران ملحقہ میں الیکٹروڈ پر اثر انداز ہوتے ہیں، اور الیکٹروڈ جلدی سے منفی چارج (یا سیلف بائیس) حاصل کر لیتا ہے کیونکہ کیپسیٹر اسے زمین پر خارج کرنے کی اجازت نہیں دیتا ہے۔ یہ الٹرنیٹنگ کرنٹ (اے سی) فیلڈ کے علاوہ پلازما کے پار ایک ثانوی، ڈی سی فیلڈ قائم کرتا ہے۔ بڑے آئن تیزی سے بدلتے ہوئے اے سی فیلڈ پر رد عمل ظاہر کرنے سے قاصر ہوتے ہیں، لیکن مضبوط، مستقل ڈی سی فیلڈ انہیں خود مختار الیکٹروڈ کی طرف تیز کرتا ہے۔ ان توانا آئنوں کا استحصال بہت سے مائیکرو فیبریکیشن کے عمل میں کیا جاتا ہے (دیکھیں ری ایکٹیو آئن ایچنگ (RIE)) الگ تھلگ (خود تعصب) الیکٹروڈ پر سبسٹریٹ رکھ کر۔ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ انڈسٹری میں پتلی فلم کے جمع ہونے کے لیے سی سی پیز کے وسیع استعمال ہیں (دیکھیں سپٹرنگ، پلازما سے بہتر کیمیائی بخارات کا جمع ہونا (پی ای سی وی ڈی)) اور نقاشی۔ انڈکٹولی کپلڈ پلازما ایچنگ ملٹی فیکٹر ایفیکٹ بھی دیکھیں پلازما فزکس کی فہرست مضامین حوالہ جات پلازما کی اقسام الیکٹرانکس مینوفیکچرنگ