Patterning by etching at the nanoscale
نینو اسکیل (پی ای این) پر ایچنگ کے ذریعے پیٹرننگ ایک نرم لیتھوگرافک تکنیک ہے جس میں پولی ڈائی میتھائل سائلوکسین (پی ڈی ایم ایس) میٹرکس میں بندھن کو پی ڈی ایم ایس (یعنی پی ڈی ایم ایس) کو کنٹرول کرنے کے لیے توڑا جاتا ہے۔ تحلیل کریں) ایک پی ڈی ایم ایس چینل کے باہر کی طرف سست رفتار سے جو کسی سطح پر لگائے گئے پیٹرن والے پی ڈی ایم ایس ڈاک ٹکٹ کے ساتھ تشکیل دی گئی ہو۔ ڈاک ٹکٹ میں موجود چینل کو دسیوں نینو میٹر کی ترتیب میں کئی مائیکرو میٹر تک بڑھایا جا سکتا ہے۔ کسی سطح کے تازہ علاقے کو بے نقاب کرنا جس کے ساتھ رد عمل ظاہر کیا جا سکتا ہے۔ خلاصہ پی ڈی ایم ایس میں سلکان آکسیجن بانڈز کی پولیمر زنجیراں ہوتی ہیں، ان بانڈز کو فلورائڈ پر مشتمل انواع کے ذریعے توڑا جا سکتا ہے، اسی طرح جیسے سلکان ویفرز کو ہائیڈرو فلورک ایسڈ، امونیم فلورائڈ اور متعلقہ مرکبات کے ساتھ نقاشی کے ذریعے تیار کیا جاتا ہے۔ ایک پی ڈی ایم ایس ڈاک ٹکٹ رکھ کر جس میں ایک چینل ہوتا ہے جسے کسی سطح پر بیرونی طور پر بھرا جا سکتا ہے، اس سطح کو چینل کے علاقے میں فعال کیا جا سکتا ہے۔ تب تک چینل کے ذریعے نقاشی کا حل چلایا جائے گا، پی ڈی ایم ایس کا کچھ حصہ ہٹا دیا جائے گا۔ سطح کے تازہ علاقے کو بے نقاب کرنا۔ اس کے بعد اسے مناسب کیمسٹری کے ذریعے فعال کیا جا سکتا ہے۔ تیار کردہ خصوصیت کی چوڑائی کو ایچنٹ اور وقت کے ذریعے کنٹرول کیا جاتا ہے۔ اس تکنیک کو چھوٹے نمونوں والی خصوصیات کی تیاری کے لیے لاگو کرنے کے لیے یہ ضروری ہے کہ سطح کو چینل کے سامنے والے علاقے میں غیر فعال کرنے کے لیے رد عمل ظاہر کیا جا سکے، اس کے بعد نقاشی اور پھر اس کے بعد رد عمل ظاہر کیا جائے جو صرف نئے بے نقاب علاقے میں ہوگا۔ حوالہ جات پیرینگ ایم، مچل، ایم، کینس پی جے۔ اے۔، بوڈن این۔ بی۔، کیم۔ میٹ 2007 19 (11)، 2903 نینو الیکٹرانکس