Advanced silicon etching
ایڈوانسڈ سلکان ایچنگ (اے ایس ای) سلکان میں گہرے اور اعلی پہلو تناسب کے ڈھانچے کو تراشنے کے لیے ایک ڈیپ ری ایکٹیو آئن ایچنگ (ڈی آر آئی ای) تکنیک ہے۔ اے ایس ای کو سرفیس ٹیکنالوجی سسٹمز پی ایل سی (ایس ٹی ایس) نے 1994 میں برطانیہ میں بنایا تھا۔ ایس ٹی ایس نے تیز تر نقاشی کی شرحوں کے ساتھ اس عمل کو تیار کرنا جاری رکھا ہے۔ ایس ٹی ایس نے تبدیل شدہ عمل کو تیار اور سب سے پہلے نافذ کیا، جسے اصل میں ڈاکٹر لارمر نے بوش، اسٹٹ گارٹ میں ایجاد کیا تھا۔ اے ایس ای ایک آئسوٹروپک سی ایچ (عام طور پر ایس ایف 6 پلازما کا استعمال کرتے ہوئے) میں حاصل ہونے والی تیز تر نقاشی کی شرحوں کو جمع کرنے یا غیر فعال ہونے کے عمل (عام طور پر سی 4 ایف 8 پلازما سنکشیپن کے عمل کو استعمال کرتے ہوئے) کے ساتھ دو عمل کے مراحل کو بدل کر جوڑنے پر مشتمل ہوتا ہے۔ یہ نقطہ نظر تیز ترین نقاشی کی شرحوں کو حاصل کرتا ہے جبکہ عام طور پر مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹمز (مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹمز (ایم ای ایم ایس) ایپلی کیشنز میں عمودی طور پر نقاشی کرنے کی صلاحیت کو برقرار رکھتا ہے۔ اے ایس ای ایچ آر ایم آئی سی پی ڈیزائن کی پچھلی نسلوں کی بہتری ہے، جس میں اب ایک ڈیکپلڈ پلازما سورس (پیٹنٹ زیر التواء) شامل ہے۔ ڈیکپلڈ سورس ہائی ڈینسٹی پلازما پیدا کرتا ہے جسے ایک علیحدہ پروسیس چیمبر میں پھیلانے کی اجازت ہے۔ ایک خصوصی چیمبر ڈیزائن کا استعمال کرتے ہوئے، اضافی آئنوں (جو عمل کے کنٹرول کو منفی طور پر متاثر کرتے ہیں) کو کم کیا جاتا ہے، جس سے روایتی آئی سی پی ذرائع سے دستیاب زیادہ کثافت پر فلورائن فری ریڈیکلز کی یکساں تقسیم ہوتی ہے۔ اعلی فلورائن فری ریڈیکل کثافت نقاشی کی شرحوں میں اضافے کی سہولت فراہم کرتی ہے، عام طور پر اصل عمل کے ساتھ حاصل کردہ نقاشی کی شرح سے تین گنا زیادہ۔ حوالہ جات نوٹ کریں۔ مزید پڑھنا سرفیس ٹیکنالوجی سسٹمز سیمی کنڈکٹر ڈیوائس فیبریکیشن مائیکرو ٹیکنالوجی ایچنگ (مائیکرو فیبریکیشن)