Ion beam deposition
آئن بیم جمع کرنا (آئی بی ڈی) آئن بیم کے استعمال کے ذریعے کسی ہدف پر مواد لگانے کا عمل ہے۔ آئن بیم جمع کرنے کا آلہ عام طور پر آئن ماخذ، آئن آپٹکس، اور جمع کرنے کے ہدف پر مشتمل ہوتا ہے۔ اختیاری طور پر ایک بڑے پیمانے پر تجزیہ کار شامل کیا جا سکتا ہے۔ آئن ماخذ مواد میں گیس کی شکل میں، ایک بخارات شدہ ٹھوس، یا حل (مائع) آئنائزڈ ہوتے ہیں۔ جوہری آئی بی ڈی کے لیے، الیکٹران آئنائزیشن، فیلڈ آئنائزیشن (پیننگ آئن سورس) یا کیتھوڈک آرک ذرائع استعمال کیے جاتے ہیں۔ کیتھوڈک آرک ذرائع خاص طور پر کاربن آئن کے جمع ہونے کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔ سالماتی آئن بیم کا ذخیرہ الیکٹروسپرے آئنائزیشن یا مالڈی ذرائع کو استعمال کرتا ہے۔ اس کے بعد آئنوں کو تیز کیا جاتا ہے، مرکوز کیا جاتا ہے یا ہائی وولٹیج یا مقناطیسی شعبوں کا استعمال کرتے ہوئے موڑ دیا جاتا ہے۔ سبسٹریٹ پر اختیاری تخفیف کو جمع توانائی کی وضاحت کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ یہ توانایٔی عام طور پر چند ای وی سے لے کر چند کے وی تک ہوتی ہے۔ کم توانائی پر سالماتی آئن بیم برقرار جمع ہوتے ہیں (آئن سافٹ لینڈنگ)، جبکہ زیادہ جمع ہونے پر توانائی سالماتی آئن کا ٹکڑا اور جوہری آئن مواد میں مزید گھس سکتے ہیں، یہ عمل آئن امپلانٹیشن کے نام سے جانا جاتا ہے۔ آئن آپٹکس (جیسے ریڈیو فریکوئنسی کواڈروپولز) بڑے پیمانے پر منتخب ہو سکتے ہیں۔ آئی بی ڈی میں وہ آلودگی سے بچنے کے لیے جمع کرنے کے لیے ایک واحد، یا آئن پرجاتیوں کی ایک رینج کو منتخب کرنے کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔ خاص طور پر نامیاتی مواد کے لیے، اس عمل کی اکثر ماس سپیکٹرومیٹر کے ذریعے نگرانی کی جاتی ہے۔ آئن بیم کرنٹ، جو مواد کی جمع شدہ مقدار کے لیے مقداری پیمائش ہے، کی نگرانی جمع کرنے کے عمل کے دوران کی جا سکتی ہے۔ منتخب ماس رینج کی تبدیلی کو اسٹوچیومیٹری کی وضاحت کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ کیتھوڈک آرک ڈیپوزیشن اسپٹر ڈیپوزیشن آئن بیم اسسٹڈ ڈیپوزیشن آئن بیم انڈیوسڈ ڈیپوزیشن الیکٹروسپرے آئنائزیشن مالڈی پتلی فلم ڈیپوزیشن بھی دیکھیں۔