Microoptoelectromechanical systems
مائیکروپٹو الیکٹرو مکینیکل سسٹمز (ایم او ای ایم ایس)، جسے آپٹیکل ایم ای ایم ایس بھی کہا جاتا ہے، مکینیکل، آپٹیکل اور الیکٹریکل سسٹمز کے انضمام ہیں جن میں بہت چھوٹے سائز میں آپٹیکل سگنلز کو سینس کرنا یا ان میں ہیرا پھیری کرنا شامل ہے۔ ایم او ای ایم ایس میں مختلف قسم کے آلات شامل ہیں، مثال کے طور پر آپٹیکل سوئچ، آپٹیکل کراس کنیکٹ، ٹیون ایبل وی سی ایس ای ایل، مائیکرو بولومیٹر۔ یہ آلات عام طور پر مائیکرو آپٹکس اور معیاری مائیکرو مشیننگ ٹیکنالوجیز کا استعمال کرتے ہوئے سلکان، سلکان ڈائی آکسائیڈ، سلکان نائٹرائڈ اور گیلیم آرسینائڈ جیسے مواد کا استعمال کرتے ہوئے بنائے جاتے ہیں۔ انضمام کی ٹیکنالوجیز ایم او ای ایم ایس میں دو بڑی ٹیکنالوجیز، مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم اور مائیکرو آپٹکس شامل ہیں۔ یہ دونوں ٹیکنالوجیز آزادانہ طور پر انٹیگریٹڈ سرکٹس کی طرح بیچ پروسیسنگ میں شامل ہیں، اور مائکرو سینسر کی بناوٹ کی طرح مائکرو مشیننگ۔ ایم او ای ایم ایس کی تاریخ مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹمز اور مائیکرو آپٹکس دونوں کے شعبوں میں راک ویل انٹرنیشنل کے سابق اختراع کار ڈاکٹر ایم ایڈورڈ موٹامیڈی نے مائیکرو آپٹو الیکٹرو مکینیکل سسٹمز کے لیے اندرونی طور پر ایم او ای ایم ایس کا مخفف استعمال کیا۔ یہ آپٹیکل ایم ای ایم ایس اور ایم او ای ایم ایس کے درمیان فرق کرنے کے لیے تھا، جہاں آپٹیکل ایم ای ایم ایس میں بلک آپٹکس شامل ہو سکتے ہیں لیکن ایم او ای ایم ایس واقعی مائیکرو ٹیکنالوجی پر مبنی ہے جہاں ایم او ای ایم ایس ڈیوائسز بالکل انٹیگریٹڈ سرکٹس کی طرح بیچ پر کارروائی کی جاتی ہیں، لیکن یہ آپٹیکل ایم ای ایم ایس کے لیے زیادہ تر معاملات میں درست نہیں ہے۔ 1993 میں، ڈاکٹر موٹامیڈی نے سان ڈیاگو میں ایس پی آئی ای کریٹیکل ریویوز آف آپٹیکل سائنس اینڈ ٹیکنالوجی کانفرنس میں ایک مدعو گفتگو میں، ایم ای ایم ایس اور مائیکرو آپٹکس کے طاقتور امتزاج کے طور پر پہلی بار ایم او ای ایم ایس کو باضابطہ طور پر متعارف کرایا۔ اس گفتگو میں ڈاکٹر موٹامیڈی نے نیچے دیے گئے اعداد و شمار کا تعارف کرایا، یہ ظاہر کرنے کے لیے کہ ایم او ای ایم ایس تین بڑی مائیکرو ٹیکنالوجیز یعنی مائیکرو آپٹکس، مائیکرو میکینکس اور مائیکرو الیکٹرانکس کا تعامل ہے۔ مائیکرو آپٹو مکینیکل سسٹمز نینو الیکٹرو مکینیکل سسٹمز مائیکرو فیبریکیشن مائیکرو اسکینر ریفرنسز ببلیوگرافی پی رائے چودھری (ایڈیٹر)، ایم ای ایم ایس اور ایم او ای ایم ایس بھی دیکھیں۔ ٹیکنالوجی اور ایپلی کیشنز، ایس پی آئی ای پریس، واشنگٹن، 2000۔ آپٹیکل ایم ای ایم ایس: مائیکرومیررز سے لے کر پیچیدہ سسٹمز تک، آئی ای ای ای جرنل آف مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹمز (2014) آپٹو الیکٹرانکس