Microoptoelectromechanical systems
ஆப்டிகல் எம். இ. எம். எஸ் என்றும் அழைக்கப்படும் மைக்ரோ ஆப்டோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (எம். ஓ. இ. எம். எஸ்), இயந்திர, ஒளியியல் மற்றும் மின் அமைப்புகளின் ஒருங்கிணைப்புகளாகும், அவை மிகவும் சிறிய அளவில் ஒளியியல் சமிக்ஞைகளை உணர்ந்து அல்லது கையாளுவதை உள்ளடக்கியது. எம். ஓ. இ. எம். எஸ் பல்வேறு வகையான சாதனங்களை உள்ளடக்கியது, எடுத்துக்காட்டாக ஆப்டிகல் சுவிட்ச், ஆப்டிகல் கிராஸ்-கனெக்ட், ட்யூனபிள் வி. சி. எஸ். இ. எல், மைக்ரோபோலோமீட்டர்கள். இந்த சாதனங்கள் பொதுவாக சிலிக்கான், சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் காலியம் ஆர்சனைடு போன்ற பொருட்களைப் பயன்படுத்தி மைக்ரோ ஆப்டிக்ஸ் மற்றும் நிலையான மைக்ரோ மெஷினிங் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்படுகின்றன. எம். ஓ. இ. எம். எஸ் இணைக்கும் தொழில்நுட்பங்களில் மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் மற்றும் மைக்ரோ ஆப்டிக்ஸ் ஆகிய இரண்டு முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள் அடங்கும். இந்த இரண்டு தொழில்நுட்பங்களும் சுயாதீனமாக ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளைப் போன்ற தொகுதி செயலாக்கத்திலும், மைக்ரோசென்சரைத் தயாரிப்பது போன்ற மைக்ரோ மெஷினிங்கிலும் ஈடுபட்டுள்ளன. மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் மற்றும் மைக்ரோ ஆப்டிக்ஸ் ஆகிய இரண்டிலும் முன்னாள் ராக்வெல் இன்டர்நேஷனல் கண்டுபிடிப்பாளரான டாக்டர் எம். எட்வர்ட் மோடமேடி, மைக்ரோ ஆப்டோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்களுக்கான எம்ஓஇஎம்எஸ் இன் சுருக்கத்தை உள்நாட்டில் பயன்படுத்தினார். இது ஒளியியல் எம். இ. எம். எஸ் மற்றும் எம். ஓ. இ. எம். எஸ் இடையேயான வேறுபாட்டைக் கண்டறிவதற்காக இருந்தது, அங்கு ஒளியியல் எம். இ. எம். எஸ் மொத்த ஒளியியலை உள்ளடக்கியிருக்கலாம், ஆனால் எம். ஓ. இ. எம். எஸ் உண்மையில் நுண் தொழில்நுட்பத்தை அடிப்படையாகக் கொண்டது, அங்கு எம். ஓ. இ. எம். எஸ் சாதனங்கள் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளைப் போலவே தொகுப்பு-செயலாக்கப்படுகின்றன, ஆனால் இது ஒளியியல் எம். இ. எம். எஸ்-களுக்கு பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில் உண்மையல்ல. 1993 ஆம் ஆண்டில், சான் டியாகோவில் நடந்த ஆப்டிகல் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜியின் எஸ். பி. ஐ. இ கிரிட்டிக்கல் ரிவ்யூஸ் மாநாட்டில் அழைக்கப்பட்ட உரையில், எம். இ. எம். எஸ் மற்றும் மைக்ரோ ஆப்டிக்ஸ் ஆகியவற்றின் சக்திவாய்ந்த கலவையாக டாக்டர் மோட்டமேடி முதன்முறையாக எம். ஓ. இ. எம். எஸ்ஸை அதிகாரப்பூர்வமாக அறிமுகப்படுத்தினார். மைக்ரோ ஆப்டிக்ஸ், மைக்ரோ மெக்கானிக்ஸ் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆகிய மூன்று முக்கிய நுண் தொழில்நுட்பங்களின் இடைவினை எம். ஓ. இ. எம். எஸ் என்பதைக் காட்டுவதற்காக டாக்டர் மோட்டமேடி இந்த உரையில் கீழே உள்ள உருவத்தை அறிமுகப்படுத்தினார். மேலும் காண்கஃ மைக்ரோ ஆப்டோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகள் நானோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகள் மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் மைக்ரோஸ்கேனர் குறிப்புகள் நூலியல் பி. ராய்-சவுத்ரி (ஆசிரியர்), எம்இஎம்எஸ் மற்றும் எம்ஓஇஎம்எஸ். தொழில்நுட்பம் மற்றும் பயன்பாடுகள், எஸ். பி. ஐ. இ பிரஸ், வாஷிங்டன், 2000. ஆப்டிகல் எம். இ. எம். எஸ்.: மைக்ரோமைரர்கள் முதல் சிக்கலான அமைப்புகள் வரை, ஐ. இ. இ. இ ஜர்னல் ஆஃப் மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (2014) ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்