Inverse lithography
குறைக்கடத்தி சாதன உருவாக்கத்தில், தலைகீழ் லித்தோகிராஃபி தொழில்நுட்பம் (ஐ. எல். டி) என்பது ஃபோட்டோமாஸ்க் வடிவமைப்பிற்கான ஒரு அணுகுமுறையாகும். இது அடிப்படையில் ஒரு தலைகீழ் இமேஜிங் சிக்கலைத் தீர்ப்பதற்கான ஒரு அணுகுமுறையாகும்ஃ ஒரு ஃபோட்டோமாஸ்கில் ("ஆதாரம்") திறப்புகளின் வடிவங்களைக் கணக்கிடுவது, இதனால் கடந்து செல்லும் ஒளி ஒளிரும் பொருளின் மீது விரும்பிய வடிவத்தின் ("இலக்கு") நல்ல தோராயத்தை உருவாக்குகிறது, பொதுவாக ஒரு ஃபோட்டோரசிஸ்ட். எனவே, இது ஒரு சிறப்பு வகையான கணித உகப்பாக்கம் சிக்கலாகக் கருதப்படுகிறது, ஏனெனில் பொதுவாக ஒரு பகுப்பாய்வு தீர்வு இல்லை. ஒளியியல் அருகாமை திருத்தம் (ஓ. பி. சி) என்று அழைக்கப்படும் வழக்கமான அணுகுமுறைகளில், விளக்கப்படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, "மூலத்திற்கு" ஒரு "மன்ஹாட்டன் வடிவத்தை" உருவாக்க கவனமாக ட்யூன் செய்யப்பட்ட செவ்வகங்களுடன் ஒரு "இலக்கு" வடிவம் அதிகரிக்கப்படுகிறது. ஐ. எல். டி அணுகுமுறை "மூலத்திற்கான" வளைந்த வடிவங்களை உருவாக்குகிறது, இது "இலக்கு" க்கான சிறந்த தோராயங்களை வழங்குகிறது. ஐ. எல். டி 1980 களில் முன்மொழியப்பட்டது, இருப்பினும் அந்த நேரத்தில் தேவையான மிகப்பெரிய கணக்கீட்டு சக்தி மற்றும் சிக்கலான "மூல" வடிவங்கள் காரணமாக இது நடைமுறைக்கு சாத்தியமற்றது, இது சரிபார்ப்பு (வடிவமைப்பு விதி சரிபார்ப்பு) மற்றும் உற்பத்திக்கு சிரமங்களை முன்வைத்தது. இருப்பினும் 2000 களின் பிற்பகுதியில் டெவலப்பர்கள் கணக்கீட்டு சக்தியில் குறிப்பிடத்தக்க அதிகரிப்பு காரணமாக ஐ. எல். டி. யை மறுபரிசீலனை செய்யத் தொடங்கினர். குறிப்புகள் லித்தோகிராஃபி (மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன்) தலைகீழ் சிக்கல்கள்