Thin-film thickness monitor
மெல்லிய படல தடிமன் மானிட்டர்கள், படிவு விகிதக் கட்டுப்பாட்டாளர்கள் மற்றும் பல, உயர் மற்றும் அதி-உயர் வெற்றிட அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் கருவிகளின் குடும்பமாகும். அவர்கள் ஒரு மெல்லிய படலத்தின் தடிமனை அளவிட முடியும், அது தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு மட்டுமல்ல, அது இன்னும் டெபாசிட் செய்யப்படும் போது, மேலும் சிலர் படத்தின் இறுதி தடிமன், அது டெபாசிட் செய்யப்படும் விகிதம் அல்லது இரண்டையும் கட்டுப்படுத்த முடியும். செயல்முறையின் சில அம்சங்களைக் கட்டுப்படுத்தும் சாதனங்கள் கட்டுப்படுத்திகள் என்றும், செயல்முறையை வெறுமனே கண்காணிக்கும் சாதனங்கள் மானிட்டர்கள் என்றும் அழைக்கப்படுவதில் ஆச்சரியமில்லை. இத்தகைய பெரும்பாலான கருவிகள் குவார்ட்ஸ் படிக நுண் சமநிலையை சென்சாராகப் பயன்படுத்துகின்றன. ஒளியியல் அளவீடுகள் சில நேரங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன; டெபாசிட் செய்யப்படும் படலம் ஒரு மெல்லிய படல ஒளியியல் சாதனத்தின் ஒரு பகுதியாக இருந்தால் இது குறிப்பாக பொருத்தமானதாக இருக்கலாம். ஒரு தடிமன் மானிட்டர் அதன் சென்சாரில் எவ்வளவு பொருள் வைக்கப்பட்டுள்ளது என்பதை அளவிடுகிறது. பெரும்பாலான படிவு செயல்முறைகள் குறைந்தபட்சம் ஓரளவு திசை சார்ந்தவை. சென்சார் மற்றும் மாதிரி பொதுவாக படிவு மூலத்திலிருந்து ஒரே திசையில் இருக்க முடியாது (அவை இருந்தால், மூலத்திற்கு நெருக்கமான ஒன்று மற்றொன்றை நிழலிடுகிறது), மேலும் அதிலிருந்து ஒரே தூரத்தில் கூட இருக்கக்கூடாது. எனவே, சென்சாரில் பொருள் டெபாசிட் செய்யப்படும் விகிதம் அது மாதிரியில் டெபாசிட் செய்யப்படும் விகிதத்திற்கு சமமாக இருக்காது. இரண்டு விகிதங்களின் விகிதம் சில நேரங்களில் "கருவி காரணி" என்று அழைக்கப்படுகிறது. கவனமாக வேலை செய்ய, சில மாதிரிகளில் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொருளின் அளவை அளவிடுவதன் மூலமும், தடிமன் மானிட்டர் அளவிடப்பட்டவற்றுடன் ஒப்பிடுவதன் மூலமும் கருவி காரணி சரிபார்க்கப்பட வேண்டும். இதைச் செய்ய ஃபிசோ இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்கள் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. மேற்பரப்பு விவரக்குறிப்புகள், நீள்வட்ட அளவீடு, இரட்டை துருவமுனைப்பு இன்டர்ஃபெரோமெட்ரி மற்றும் மாதிரியின் குறுக்கு பிரிவுகளின் ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி உள்ளிட்ட மெல்லிய படலத்தின் தடிமன் மற்றும் பண்புகளைப் பொறுத்து பல நுட்பங்கள் பயன்படுத்தப்படலாம். பல தடிமன் மானிட்டர்கள் மற்றும் கட்டுப்படுத்திகள் படிவு தொடங்குவதற்கு முன்பு கருவி காரணிகளை சாதனத்தில் நுழைய அனுமதிக்கின்றன. சரியான கருவிக் காரணியை பின்வருமாறு கணக்கிடலாம்ஃ இதில் ஃபை என்பது ஆரம்ப கருவிக் காரணி, டிஐ என்பது கருவியால் குறிக்கப்பட்ட படத்தின் தடிமன், மற்றும் டிஎம் என்பது டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தின் உண்மையான, சுயாதீனமாக அளவிடப்பட்ட தடிமன். இதற்கு முன்பு எந்த கருவிக் காரணியும் முன்னமைக்கப்படவில்லை அல்லது பயன்படுத்தப்படவில்லை என்றால், ஃபை 1 க்கு சமம். வெற்றிட அமைப்புகளை அளவிடும் கருவிகள் பற்றிய குறிப்புகள்