Thermochemical nanolithography
தெர்மோகெமிக்கல் நானோலிதோகிராஃபி (டி. சி. என். எல்) அல்லது தெர்மோகெமிக்கல் ஸ்கேனிங் ப்ரோப் லித்தோகிராஃபி (டி. சி-எஸ். பி. எல்) என்பது ஒரு ஸ்கேனிங் ப்ரோப் நுண்ணோக்கி அடிப்படையிலான நானோலிதோகிராஃபி நுட்பமாகும், இது வேதியியல் செயல்பாடு அல்லது மேற்பரப்புகளின் கட்டத்தை மாற்ற வெப்பத்தால் செயல்படுத்தப்பட்ட இரசாயன எதிர்வினைகளைத் தூண்டுகிறது. வேதியியல் மாற்றங்களை விரைவான ஆய்வு ஸ்கேனிங் மூலம் மிக விரைவாக எழுத முடியும், ஏனெனில் எந்த வெகுஜனமும் முனையிலிருந்து மேற்பரப்புக்கு மாற்றப்படுவதில்லை, மேலும் எழுதும் வேகம் வெப்ப பரிமாற்ற விகிதத்தால் மட்டுமே கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. டிசிஎன்எல் 2007 ஆம் ஆண்டில் ஜார்ஜியா இன்ஸ்டிடியூட் ஆப் டெக்னாலஜியில் ஒரு குழுவால் கண்டுபிடிக்கப்பட்டது. டிசிஎன்எல் 1 மிமீ/வி வரை ஸ்கேன் வேகத்தில் 12 என்எம் வரையிலான அம்ச அளவுகளுடன் உள்ளூர் இரசாயன மாற்றங்களை உருவாக்க முடியும் என்பதை ரீடோ மற்றும் ஒத்துழைப்பாளர்கள் நிரூபித்தனர். டிசிஎன்எல் 2013 ஆம் ஆண்டில் மோனா லிசாவின் நானோ அளவிலான பிரதியை வெவ்வேறு ஆய்வு முனை வெப்பநிலைகளுடன் "வர்ணம் பூசப்பட்டது". மினி லிசா என்று அழைக்கப்படும் இந்த உருவப்படம், அசல் உருவப்படத்தின் அளவில் சுமார் 1/25,000 ஆக அளவிடப்பட்டது. தொழில்நுட்பம் ஏ. எஃப். எம் வெப்ப கான்டிலீவர்கள் பொதுவாக பாரம்பரிய மொத்த மற்றும் மேற்பரப்பு மைக்ரோ மெஷினிங் செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் செதில்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. அதன் அதிக அளவிடப்பட்ட சிலிக்கான் இறக்கைகள் வழியாக ஒரு மின்சார மின்னோட்டத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், புரோப் முனையைச் சுற்றியுள்ள ஒளி ஊக்கமருந்து மண்டலத்தில் எதிர்ப்பு வெப்பம் ஏற்படுகிறது, அங்கு வெப்பத்தின் மிகப்பெரிய பகுதி சிதறடிக்கப்படுகிறது. முனை அதன் சிறிய அளவு காரணமாக அதன் வெப்பநிலையை மிக விரைவாக மாற்ற முடியும்; பாலிகார்பனேட்டுடன் தொடர்பு கொள்ளும் சராசரி முனை 0.35 மில்லி மீட்டர் நேர மாறிலியைக் கொண்டுள்ளது. நுனிகளை சுற்றுப்புற வெப்பநிலைக்கும் 1100 டிகிரி செல்சியஸுக்கும் இடையில் 10 மெகா ஹெர்ட்ஸ் வரை சுழற்சி செய்யலாம், அதே நேரத்தில் மேற்பரப்பிலிருந்து முனையின் தூரம் மற்றும் முனை வெப்பநிலையை சுயாதீனமாக கட்டுப்படுத்தலாம். பயன்பாடுகள் புரதங்கள், கரிம குறைக்கடத்திகள், எலக்ட்ரோலுமினென்சென்ட் இணைக்கப்பட்ட பாலிமர்கள் மற்றும் நானோரிபன் மின்தடையங்களில் வெப்பத்தால் செயல்படுத்தப்பட்ட எதிர்வினைகள் தூண்டப்பட்டுள்ளன. செயல்பாட்டுக் குழுக்களின் சிதைவு (சில நேரங்களில் வெப்பநிலை சாய்வுகளை உள்ளடக்கியது) மற்றும் கிராஃபீன் ஆக்சைடு குறைப்பு ஆகியவை நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளன. நானோ அளவுகோலில் ஒரு பாலிமர் மேற்பரப்பின் ஈரப்பதம் மாற்றியமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் பாலி (பி-ஃபெனைலீன் வினைலீன்) (ஒரு எலக்ட்ரோலுமினென்சென்ஸ் கான்ஜுகேட்டட் பாலிமர்) நானோ கட்டமைப்புகள் உருவாக்கப்பட்டுள்ளன. புரதங்கள் மற்றும் டிஎன்ஏ போன்ற நானோ பொருட்களின் அசெம்பிளி செய்வதற்காக பாலிமர் படங்களில் நானோ அளவிலான வார்ப்புருக்களும் உருவாக்கப்பட்டுள்ளன, மேலும் ஃபெரோ எலக்ட்ரிக் மட்பாண்டங்களின் படிகமயமாக்கல், சேமிப்பு அடர்த்தி 213 ஜிபி/இன் 2 வரை தயாரிக்கப்பட்டுள்ளது. குறிப்பிடத்தக்க வேறுபட்ட வெப்பநிலையில் பல இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு உட்படும் ஒரு பொருளின் பயன்பாடு பல நிலை அமைப்புக்கு வழிவகுக்கும், இதில் வெவ்வேறு செயல்பாடுகளை வெவ்வேறு வெப்பநிலையில் தீர்க்க முடியும். மற்ற லித்தோகிராஃபிக் நுட்பங்களுடன் ஒப்பிடுகையில் தெர்மோ-மெக்கானிக்கல் ஸ்கேனிங் ப்ரோப் லித்தோகிராஃபி வடிவமைப்பு நோக்கங்களுக்காக இண்டெண்டேஷன்களை உருவாக்க வெப்பம் மற்றும் விசை வரிசையின் பயன்பாட்டை நம்பியுள்ளது (மேலும் காண்கஃ மில்லிபீட் நினைவகம்). வெப்ப ஸ்கேனிங் ப்ரோப் லித்தோகிராஃபி (டி-எஸ். பி. எல்) உருவாக்கப்பட்ட நிலப்பரப்பை வேதியியல் ரீதியாக மாற்றும் நோக்கம் இல்லாமல் ஒரு அடி மூலக்கூறிலிருந்து பொருளை அகற்றுவதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. உள்ளூர் ஆக்சிஜனேற்றம் நானோலிதோகிராஃபி ஆய்வு முனையைச் சுற்றியுள்ள நீர் மாதவிடாய் உள்ள ஆக்சிஜனேற்றம் எதிர்வினைகளை நம்பியுள்ளது. மேலும் காண்க நானோலிதோகிராஃபி நானோடெக்னாலஜி ஸ்கேனிங் ப்ரோப் லித்தோகிராஃபி லோக்கல் ஆக்சிஜனேற்றம் நானோலிதோகிராஃபி டிப்-பென் நானோலிதோகிராஃபி அடாமிக் ஃபோர்ஸ் மைக்ரோஸ்கோபி ஸ்கேனிங் ப்ரோப் மைக்ரோஸ்கோபி குறிப்புகள் வெளிப்புற இணைப்புகள் ஜார்ஜியா இன்ஸ்டிடியூட் ஆப் டெக்னாலஜியில் உள்ள பிகோஃபோர்ஸ் ஆய்வகம்