Inchworm motor
இஞ்ச்வர்ம் மோட்டார் என்பது நானோமீட்டர் துல்லியத்துடன் ஒரு தண்டை நகர்த்துவதற்கு பைசோ எலக்ட்ரிக் ஆக்சுவேட்டர்களைப் பயன்படுத்தும் ஒரு சாதனமாகும். அதன் எளிய வடிவத்தில், இஞ்ச்வர்ம் மோட்டார் மூன்று பீசோ-ஆக்சுவேட்டர்களைப் பயன்படுத்துகிறது (2 மற்றும் 3, படம் 1 ஐப் பார்க்கவும்.) ஒரு குழாய் (1) க்குள் பொருத்தப்பட்டு, ஒரு தண்டு (4) ஐப் பிடிக்க வரிசையில் மின்மயமாக்கப்பட்டது, பின்னர் அது ஒரு நேரியல் திசையில் நகர்த்தப்படுகிறது. தண்டின் இயக்கம் பக்கவாட்டு பீசோவின் நீட்டிப்பு காரணமாகும் (2) இரண்டு பிடிப்பு பீசோக்களைத் தள்ளுகிறது (3). செயல்பாடு இஞ்ச்வர்ம் மோட்டரின் செயல்பாட்டு செயல்முறை என்பது ஆரம்ப தளர்வு மற்றும் துவக்க கட்டத்திற்குப் பிறகு ஆறு படி சுழற்சி செயல்முறையாகும். ஆரம்பத்தில், மூன்று பைசோக்களும் நிதானமாகவும் நீட்டிக்கப்படாமலும் உள்ளன. இஞ்ச்வர்ம் மோட்டாரை துவக்குவதற்கு விரும்பிய இயக்கத்தின் திசைக்கு மிக நெருக்கமான பிடிப்பு பீசோ (இது பின்னர் முன்னோக்கி கிளட்ச் பீசோவாக மாறுகிறது) முதலில் மின்மயமாக்கப்படுகிறது, பின்னர் ஆறு படி சுழற்சி பின்வருமாறு தொடங்குகிறது (படம் 2 ஐப் பார்க்கவும். ): படி 1. பக்கவாட்டு பீசோவின் நீட்டிப்பு. படி 2. பின் கிளட்ச் பீசோவின் நீட்டிப்பு. படி 3. முன்னோக்கி கிளட்ச் பீசோவின் தளர்வு. படி 4. பக்கவாட்டு பீசோவின் தளர்வு. படி 5. முன்னோக்கி கிளட்ச் பீசோவின் நீட்டிப்பு. படி 6. அஃப்ட் கிளட்ச் பீசோவின் தளர்வு. மேலே விவரிக்கப்பட்ட "சிக்ஸ் ஸ்டெப்" செயல்முறையின்படி படிப்படியாக ஆக்சுவேட்டர்களுக்கு அதிக சார்பு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் பீசோ ஆக்சுவேட்டர்களின் மின்மயமாக்கல் செய்யப்படுகிறது. நீண்ட தூரத்தை நகர்த்துவதற்கு ஆறு படிகளின் வரிசை பல முறை விரைவாக மீண்டும் மீண்டும் செய்யப்படுகிறது. மோட்டார் விரும்பிய இறுதி நிலைக்கு போதுமான நெருக்கமாக நகர்ந்தவுடன், மோட்டார் ஒரு விருப்பமான ஃபைன் பொசிஷனிங் முறைக்கு மாற்றப்படலாம். இந்த முறையில், பிடிப்புகள் நிலையான மின்னழுத்தத்தைப் பெறுகின்றன (ஒன்று உயர் மற்றும் மற்றொன்று குறைந்த), பின்னர் பக்கவாட்டு பீசோ மின்னழுத்தம் ஒரு இடைநிலை மதிப்புடன் சரிசெய்யப்படுகிறது, தொடர்ச்சியான பின்னூட்டக் கட்டுப்பாட்டின் கீழ், விரும்பிய இறுதி நிலையை பெற. இந்த பைசோ எலக்ட்ரிக் மோட்டரின் சக்தியற்ற நடத்தை இரண்டு விருப்பங்களில் ஒன்றாகும்ஃ பொதுவாக பூட்டப்பட்ட அல்லது பொதுவாக இலவச. பொதுவாக இலவச வகை மின்சாரம் இல்லாதபோது இலவச இயக்கத்தை அனுமதிக்கிறது, ஆனால் மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் பூட்டப்படலாம். பயன்பாடுகள் ஸ்கேனிங் டன்னலிங் நுண்ணோக்கி இன்ச்வர்ம் மோட்டார் பொதுவாக ஸ்கேனிங் டன்னலிங் நுண்ணோக்கிகளில் (எஸ். டி. எம்) பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஒரு எஸ். டி. எம். க்கு அது கவனிக்கும் பொருளுக்கு அருகில் அதன் ஸ்கேனிங் முனையின் நானோமீட்டர் அளவிலான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. ஸ்கேனிங் முனையை இஞ்ச்வார்ம் மோட்டரின் தண்டுடன் இணைப்பதன் மூலம் இந்த கட்டுப்பாட்டை அடைய முடியும். இஞ்ச்வர்ம் மோட்டார், இதையொட்டி, கவனிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பின் தளத்திற்கு இயல்பான திசையில் கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது. மேற்பரப்பு முழுவதும் இயக்கம் பொதுவாக x-y தளத்தில் இயக்கம் என்று குறிப்பிடப்படுகிறது, அதேசமயம் மேற்பரப்புக்கு இயல்பான இயக்கம் பொதுவாக z-திசையில் இயக்கம் என்று குறிப்பிடப்படுகிறது. இஞ்ச்வார்ம் மோட்டார் மூலம் ஸ்கேனிங் முனையின் இயக்கம் கைமுறையாக கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது அல்லது மோட்டாரை பின்னூட்ட அமைப்புடன் இணைப்பதன் மூலம் தானாகவே கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. பேட்ச் கிளாம்பிங் உயிரியல் உயிரணுக்களின் பேட்ச் கிளாம்பிங்கில் இஞ்ச்வர்ம் மோட்டாரைப் பயன்படுத்தலாம். இந்த நுட்பம் பெரும்பாலும் ஒளியியல் நுண்ணோக்கி மற்றும் கண்ணாடி குழாயை வைத்திருக்கும் மைக்ரோமேனிபுலேட்டர் மூலம் செய்யப்படுகிறது. பேட்ச் கிளாம்பிங்கில் இஞ்ச்வார்ம் மோட்டார் குறிப்பாக சிறந்தது, ஏனெனில் இது ஆபரேட்டருக்கு ஒரு உடனடி, துல்லியமான, மென்மையான மற்றும் சறுக்கல் இல்லாமல் கணிக்கக்கூடிய இயக்கத்தை வழங்குகிறது. மேலும் காண்க Unimorph Bimorph வெளிப்புற இணைப்புகள் மினியேச்சர் பைசோ ஸ்டெப்பிங் மோட்டார் கோட்பாடு மின்சார மோட்டார்கள்