Journal of Vacuum Science and Technology
தி ஜர்னல் ஆஃப் வேக்யூம் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜி என்பது அமெரிக்கன் வேக்யூம் சொசைட்டி சார்பாக அமெரிக்கன் இன்ஸ்டிடியூட் ஆஃப் இயற்பியலால் ஏ மற்றும் பி ஆகிய இரண்டு பகுதிகளாக வெளியிடப்பட்ட சக மதிப்பாய்வு செய்யப்பட்ட அறிவியல் இதழ் ஆகும். இது 1964 ஆம் ஆண்டில் நிறுவப்பட்டது மற்றும் அதன் தலைமை ஆசிரியர் எரே அய்டில் (மினசோட்டா பல்கலைக்கழகம்) ஆவார். வரலாறு 1964-1982 ஜர்னல் ஆஃப் வேக்யூம் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜி 1983-தற்போதுள்ள ஜர்னல் ஆஃப் வேக்யூம் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜி ஏஃ வேக்யூம், சர்ஃபேஸ்கள் அண்ட் பிலிம்ஸ் ஏஃ ஜர்னல் ஆஃப் வேக்யூம் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜி பிஃ மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் ப்ராசசிசிங் அண்ட் ஃபெனோமினா 1991-தற்போதுள்ள ஜர்னல் ஆஃப் வேக்யூம் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜி பிஃ மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் அண்ட் நானோமீட்டர் ஸ்ட்ரக்சர்ஸ் பகுதி ஏ பகுதி ஏ பயன்பாட்டு மேற்பரப்பு அறிவியல், மின்னணு பொருட்கள் மற்றும் செயலாக்கம், இணைவு தொழில்நுட்பம், பிளாஸ்மா தொழில்நுட்பம், மேற்பரப்பு அறிவியல், மெல்லிய படங்கள், வேக்யூம் உலோகவியல் மற்றும் வேக்யூம் தொழில்நுட்பம் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. ஜர்னல் சைடேஷன் ரிப்போர்ட்ஸ் படி, இதழ் 1.724 இன் 2015 தாக்கக் காரணியைக் கொண்டுள்ளது. பகுதி B பகுதி B பல்வேறு பொருட்களின் வெற்றிடம் மற்றும் பிளாஸ்மா செயலாக்கம், அவற்றின் கட்டமைப்பு தன்மை, மைக்ரோலிதோகிராஃபி மற்றும் சப்மைக்ரோமீட்டர் மற்றும் நானோமீட்டர் கட்டமைப்புகள் மற்றும் சாதனங்களின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. ஜர்னல் சைடேஷன் ரிப்போர்ட்ஸ் படி, இதழ் 1.398 இன் 2014 தாக்கக் காரணியைக் கொண்டுள்ளது. குறிப்புகள் வெளிப்புற இணைப்புகள் இயற்பியல் இதழ்கள் ஆங்கில மொழி இதழ்கள் 1964 இல் நிறுவப்பட்ட கல்வி இதழ்கள் இருமாத இதழ்கள் அமெரிக்கன் இன்ஸ்டிடியூட் ஆஃப் இயற்பியல் கல்வி இதழ்கள்