Microfabrication
மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் என்பது மைக்ரோமீட்டர் அளவுகள் மற்றும் சிறிய மினியேச்சர் கட்டமைப்புகளை உருவாக்கும் செயல்முறையாகும். வரலாற்று ரீதியாக, ஆரம்பகால மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் செயல்முறைகள் ஒருங்கிணைந்த சுற்று புனையலுக்குப் பயன்படுத்தப்பட்டன, இது "குறைக்கடத்தி உற்பத்தி" அல்லது "குறைக்கடத்தி சாதன புனையமைப்பு" என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. கடந்த இரண்டு தசாப்தங்களில் மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (எம்இஎம்எஸ்), மைக்ரோ சிஸ்டம்ஸ் (ஐரோப்பிய பயன்பாடு), மைக்ரோ மெஷின்கள் (ஜப்பானிய சொற்களஞ்சியம்) மற்றும் அவற்றின் துணைத் துறைகள், மைக்ரோஃப்ளூயிடிக்ஸ்/லேப்-ஆன்-ஏ-சிப், ஆப்டிகல் எம்இஎம்எஸ் (எம்ஓஇஎம்எஸ் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது), ஆர்எஃப் எம்இஎம்எஸ், பவர்எம்இஎம்எஸ், பயோஎம்இஎம்எஸ் மற்றும் நானோ அளவுகோலாக அவற்றின் விரிவாக்கம் (எடுத்துக்காட்டாக என்இஎம்எஸ், நானோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகளுக்கான) மீண்டும் பயன்படுத்தப்பட்டுள்ளன, மாற்றியமைக்கப்பட்டுள்ளன அல்லது நீட்டிக்கப்பட்ட மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் முறைகள். பிளாட்-பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்களும் இதே போன்ற நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன. பல்வேறு சாதனங்களின் மினியேச்சரைசேஷன் அறிவியல் மற்றும் பொறியியலின் பல பகுதிகளில் சவால்களை முன்வைக்கிறதுஃ இயற்பியல், வேதியியல், பொருட்கள் அறிவியல், கணினி அறிவியல், அதி-துல்லிய பொறியியல், புனையமைப்பு செயல்முறைகள் மற்றும் உபகரண வடிவமைப்பு. இது பல்வேறு வகையான இடைநிலை ஆராய்ச்சிகளுக்கும் வழிவகுக்கிறது. மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனின் முக்கிய கருத்துக்கள் மற்றும் கொள்கைகள் மைக்ரோலிதோகிராஃபி, ஊக்கமருந்து, மெல்லிய படலங்கள், பொறித்தல், பிணைப்பு மற்றும் மெருகூட்டல் ஆகும். மைக்ரோஃபேப்ரிகேட்டட் சாதனங்களில் பின்வருவன அடங்கும்ஃ ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் ("மைக்ரோசிப்ஸ்") (குறைக்கடத்தி உற்பத்தியைப் பார்க்கவும்) மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் மெக்கானிக்கல் அமைப்புகள் (எம். இ. எம். எஸ்) மற்றும் மைக்ரோஆப்ட்டோ எலக்ட்ரானிக் மெக்கானிக்கல் அமைப்புகள் (எம். ஓ. இ. எம். எஸ்) மைக்ரோஃப்ளூயிடிக் சாதனங்கள் (மை ஜெட் பிரிண்ட் ஹெட்ஸ்) சூரிய மின்கலங்கள் பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள் (ஏ. எம். எல். சி. டி மற்றும் மெல்லிய படல டிரான்சிஸ்டர்களைப் பார்க்கவும்) சென்சார்கள் (மைக்ரோசென்சர்கள்) (பயோசென்சர்கள், நானோ சென்சார்கள்) பவர் எம். இ. எம். எஸ், எரிபொருள் மின்கலன்கள், ஆற்றல் அறுவடை செய்பவர்கள்/துப்புரவாளர்கள் தோற்றம் மைக்ரோஃபேப்ரிகேஷன் தொழில்நுட்பங்கள் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்துறையிலிருந்து உருவாகின்றன, மேலும் சாதனங்கள் பொதுவாக கண்ணாடி, பிளாஸ்டிக் மற்றும் பல அடி மூலக்கூறுகள் பயன்பாட்டில் இருந்தாலும் சிலிக்கான் செதில்களில் தயாரிக்கப்படுகின்றன. மைக்ரோ மெஷினிங், செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம், மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் ஃபேப்ரிகேஷன், செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன், எம்இஎம்எஸ் ஃபேப்ரிகேஷன் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சர்க்யூட் தொழில்நுட்பம் ஆகியவை மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனுக்கு பதிலாக பயன்படுத்தப்படும் சொற்கள், ஆனால் மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் என்பது பரந்த பொதுவான சொல். எலக்ட்ரோ-டிஸ்சார்ஜ் மெஷினிங், தீப்பொறி அரிப்பு மெஷினிங் மற்றும் லேசர் துளையிடுதல் போன்ற பாரம்பரிய இயந்திர நுட்பங்கள் மில்லிமீட்டர் அளவு வரம்பிலிருந்து மைக்ரோமீட்டர் வரம்பு வரை அளவிடப்பட்டுள்ளன, ஆனால் அவை மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்-தோற்றுவிக்கப்பட்ட மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் பற்றிய முக்கிய யோசனையை பகிர்ந்து கொள்ளவில்லைஃ நூற்றுக்கணக்கான அல்லது மில்லியன் கணக்கான ஒத்த கட்டமைப்புகளின் பிரதி மற்றும் இணையான புனையமைப்பு. இந்த இணையானது பல்வேறு முத்திரைகள், வார்ப்பு மற்றும் மோல்டிங் நுட்பங்களில் உள்ளது, அவை மைக்ரோ ரெஜிமில் வெற்றிகரமாகப் பயன்படுத்தப்பட்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, டிவிடிகளின் ஊசி மோல்டிங் வட்டில் சப்மைக்ரோமீட்டர் அளவிலான புள்ளிகளை உருவாக்குவதை உள்ளடக்கியது. செயல்முறைகள் மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் என்பது உண்மையில் மைக்ரோ சாதனங்களை தயாரிப்பதில் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்நுட்பங்களின் தொகுப்பாகும். அவற்றில் சில மிகவும் பழைய தோற்றத்தைக் கொண்டுள்ளன, லித்தோகிராஃபி அல்லது பொறித்தல் போன்ற உற்பத்தியுடன் இணைக்கப்படவில்லை. மெருகூட்டல் ஒளியியல் உற்பத்தியிலிருந்து கடன் வாங்கப்பட்டது, மேலும் பல வெற்றிட நுட்பங்கள் 19 ஆம் நூற்றாண்டின் இயற்பியல் ஆராய்ச்சியிலிருந்து வந்துள்ளன. மின் பூச்சு என்பது 19 ஆம் நூற்றாண்டின் நுட்பமாகும், இது மைக்ரோமீட்டர் அளவிலான கட்டமைப்புகளை உருவாக்க தழுவியது, மேலும் பல்வேறு முத்திரை குத்துதல் மற்றும் பொறித்தல் நுட்பங்களும் உள்ளன. ஒரு மைக்ரோ சாதனத்தை உருவாக்க, பல செயல்முறைகள் செய்யப்பட வேண்டும், ஒன்றன் பின் ஒன்றாக, பல முறை மீண்டும் மீண்டும். இந்த செயல்முறைகளில் பொதுவாக ஒரு படலத்தை டெபாசிட் செய்வது, விரும்பிய மைக்ரோ அம்சங்களுடன் படலத்தை வடிவமைப்பது மற்றும் படத்தின் பகுதிகளை அகற்றுவது (அல்லது பொறித்தல்) ஆகியவை அடங்கும். பொருத்தமான சாதன நடத்தைக்கு தடிமன் (டி), ஒளிவிலகல் குறியீடு (என்) மற்றும் அழிவு குணகம் (கே) ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் திரைப்பட அமைப்பு விரும்பிய பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதை உறுதிசெய்ய, இந்த தனிப்பட்ட செயல்முறை படிநிலைகள் ஒவ்வொன்றின் போதும் மெல்லிய படல அளவியல் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, நினைவக சிப் புனையுதலில் சுமார் 30 லித்தோகிராஃபி படிகள், 10 ஆக்சிஜனேற்ற படிகள், 20 பொறித்தல் படிகள், 10 ஊக்கமருந்து படிகள் மற்றும் பல உள்ளன. மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் செயல்முறைகளின் சிக்கலை அவற்றின் முகமூடி எண்ணிக்கையால் விவரிக்க முடியும். இது இறுதி சாதனத்தை உருவாக்கும் வெவ்வேறு முறை அடுக்குகளின் எண்ணிக்கை ஆகும். நவீன நுண்செயலிகள் 30 முகமூடிகளால் தயாரிக்கப்படுகின்றன, அதே நேரத்தில் ஒரு சில முகமூடிகள் மைக்ரோஃப்ளூயிடிக் சாதனம் அல்லது லேசர் டையோடுக்கு போதுமானது. மைக்ரோஃபாப்ரிகேஷன் பல வெளிப்பாடு புகைப்படங்களை ஒத்திருக்கிறது, இறுதி கட்டமைப்பை உருவாக்க பல வடிவங்கள் ஒருவருக்கொருவர் சீரமைக்கப்பட்டுள்ளன. சப்ஸ்ட்ரேட்டுகள் மைக்ரோஃபேப்ரிகேட்டட் சாதனங்கள் பொதுவாக ஃப்ரீஸ்டாண்டிங் சாதனங்கள் அல்ல, ஆனால் பொதுவாக ஒரு தடிமனான ஆதரவு அடி மூலக்கூறுக்கு மேல் அல்லது உருவாக்கப்படுகின்றன. மின்னணு பயன்பாடுகளுக்கு, சிலிக்கான் செதில்கள் போன்ற குறைக்கடத்தல் அடி மூலக்கூறுகளைப் பயன்படுத்தலாம். ஒளியியல் சாதனங்கள் அல்லது தட்டையான பேனல் டிஸ்ப்ளேக்களுக்கு, கண்ணாடி அல்லது குவார்ட்ஸ் போன்ற வெளிப்படையான அடி மூலக்கூறுகள் பொதுவானவை. அடி மூலக்கூறு பல புனையமைப்பு படிகளின் மூலம் மைக்ரோ சாதனத்தை எளிதில் கையாள உதவுகிறது. பெரும்பாலும் பல தனிப்பட்ட சாதனங்கள் ஒரு அடி மூலக்கூறில் ஒன்றாக உருவாக்கப்பட்டு, பின்னர் புனையலின் முடிவில் பிரிக்கப்பட்ட சாதனங்களாக தனிமைப்படுத்தப்படுகின்றன. படிவு அல்லது வளர்ச்சி மைக்ரோஃபேப்ரிகேட்டட் சாதனங்கள் பொதுவாக ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட மெல்லிய படலங்களைப் பயன்படுத்தி கட்டப்படுகின்றன (மெல்லிய படல படிவு பார்க்கவும்). இந்த மெல்லிய படலங்களின் நோக்கம் சாதனத்தின் வகையைப் பொறுத்தது. மின்னணு சாதனங்களில் கடத்திகள் (உலோகங்கள்), மின்கடத்திகள் (மின்கடத்திகள்) அல்லது குறைக்கடத்திகள் எனப்படும் மெல்லிய படலங்கள் இருக்கலாம். ஒளியியல் சாதனங்களில் பிரதிபலிப்பு, வெளிப்படையான, ஒளி வழிகாட்டும் அல்லது சிதறல் கொண்ட படலங்கள் இருக்கலாம். திரைப்படங்கள் ஒரு இரசாயன அல்லது இயந்திர நோக்கத்தையும், எம். இ. எம். எஸ் பயன்பாடுகளையும் கொண்டிருக்கலாம். படிதல் நுட்பங்களின் எடுத்துக்காட்டுகள் பின்வருமாறுஃ வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் சிலிக்கான் இரசாயன நீராவி படிதலின் உள்ளூர் ஆக்சிஜனேற்றம் (சிவிடி) ஏபிசிவிடி எல்பிசிவிடி பிஇசிவிடி இயற்பியல் நீராவி படிதல் (பிவிடி) ஆவியாதல் படிதல் எலக்ட்ரான் கற்றை பிவிடி எபிடாக்ஸி வடிவமைப்பு ஒரு படலத்தை தனித்துவமான அம்சங்களாக வடிவமைப்பது அல்லது சில அடுக்குகளில் திறப்புகளை (அல்லது வியாக்கள்) உருவாக்குவது பெரும்பாலும் விரும்பத்தக்கது. இந்த அம்சங்கள் மைக்ரோமீட்டர் அல்லது நானோமீட்டர் அளவுகோலில் உள்ளன, மேலும் வடிவமைப்பு தொழில்நுட்பமே மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனை வரையறுக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு நுட்பம் பொதுவாக நீக்கப்படும் படத்தின் பகுதிகளை வரையறுக்க ஒரு 'முகமூடி' ஐப் பயன்படுத்துகிறது. வடிவமைப்பு நுட்பங்களின் எடுத்துக்காட்டுகள் பின்வருமாறுஃ ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி நிழல் மறைத்தல் பொறித்தல் என்பது மெல்லிய படலம் அல்லது அடி மூலக்கூறின் சில பகுதியை அகற்றுவதாகும். அடி மூலக்கூறு ஒரு பொறித்தலுக்கு (அமிலம் அல்லது பிளாஸ்மா போன்றவை) ஆளாகிறது, இது படம் அகற்றப்படும் வரை வேதியியல் ரீதியாகவோ அல்லது உடல் ரீதியாகவோ தாக்குகிறது. பொறித்தல் நுட்பங்களில் பின்வருவன அடங்கும்ஃ எதிர்வினை-அயன் பொறித்தல் (ஆர்ஐஇ) அல்லது ஆழமான எதிர்வினை-அயன் பொறித்தல் (டிஆர்ஐஇ) போன்ற உலர் பொறித்தல் (பிளாஸ்மா பொறித்தல்) ஈரமான பொறித்தல் அல்லது இரசாயன பொறித்தல் மைக்ரோஃபார்மிங் மைக்ரோஃபார்மிங் என்பது மைக்ரோசிஸ்டம் அல்லது மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம் (எம்இஎம்எஸ்) "துணை மில்லிமீட்டர் வரம்பில் குறைந்தது இரண்டு பரிமாணங்களைக் கொண்ட பாகங்கள் அல்லது கட்டமைப்புகளின்" மைக்ரோஃபாப்ரிகேஷன் செயல்முறையாகும். இதில் மைக்ரோஎக்ஸ்ட்ராஷன், மைக்ரோஸ்டாம்பிங் மற்றும் மைக்ரோ கட்டிங் போன்ற நுட்பங்கள் அடங்கும். இவை மற்றும் பிற நுண் வடிவமைப்பு செயல்முறைகள் குறைந்தது 1990 முதல் கற்பனை செய்யப்பட்டு ஆராய்ச்சி செய்யப்பட்டுள்ளன, இது தொழில்துறை மற்றும் சோதனை-தர உற்பத்தி கருவிகளின் வளர்ச்சிக்கு வழிவகுக்கிறது. இருப்பினும், ஃபூ மற்றும் சான் 2013 ஆம் ஆண்டின் அதிநவீன தொழில்நுட்ப மதிப்பாய்வில் சுட்டிக்காட்டியபடி, தொழில்நுட்பத்தை இன்னும் பரவலாக செயல்படுத்துவதற்கு முன்பு பல சிக்கல்கள் தீர்க்கப்பட வேண்டும், இதில் சிதைவு சுமை மற்றும் குறைபாடுகள், அமைப்பு ஸ்திரத்தன்மை, இயந்திர பண்புகள் மற்றும் பிற அளவு தொடர்பான விளைவுகள் ஆகியவை அடங்கும். இது தானிய எல்லையை வலுப்படுத்தும் விளைவைக் குறைக்க வழிவகுக்கிறது. உள் தானியங்களுடன் ஒப்பிடும்போது மேற்பரப்பு தானியங்கள் குறைவான கட்டுப்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. பகுதி வடிவியல் அளவுடன் ஓட்ட அழுத்தத்தின் மாற்றம் ஓரளவு மேற்பரப்பு தானியங்களின் தொகுதி பின்னத்தின் மாற்றத்திற்கு காரணமாகும். கூடுதலாக, ஒவ்வொரு தானியத்தின் அனிசோட்ரோபிக் பண்புகளும் ஒர்க்பீஸ் அளவு குறைவதால் குறிப்பிடத்தக்கதாக மாறும், இதன் விளைவாக ஒரே மாதிரியான சிதைவு, ஒழுங்கற்ற வடிவியல் மற்றும் சிதைவு சுமையின் மாறுபாடு ஏற்படுகிறது. அளவு விளைவுகளைக் கருத்தில் கொண்டு பகுதி, செயல்முறை மற்றும் கருவிகளின் வடிவமைப்பை ஆதரிக்க மைக்ரோஃபார்மிங்கின் முறையான அறிவை நிறுவ வேண்டிய அவசியம் உள்ளது. மைக்ரோஃபேப்ரிகேட்டட் சாதனங்களின் இரசாயன பண்புகளை சுத்தம் செய்வதற்கும், திட்டமிடுவதற்கும் அல்லது மாற்றியமைப்பதற்கும் பல்வேறு வகையான பிற செயல்முறைகளும் செய்யப்படலாம். சில எடுத்துக்காட்டுகள் பின்வருமாறுஃ வெப்பப் பரவல் அல்லது அயனி பொருத்துதல் மூலம் ஊக்கமருந்து ஊக்குவிப்பு வேதியியல்-இயந்திர பிளானரைசேஷன் (சி. எம். பி) வேஃபர் சுத்தம், இது "மேற்பரப்பு தயாரிப்பு" என்றும் அழைக்கப்படுகிறது (கீழே காண்க) வேஃபர் புனையுதலில் கம்பி பிணைப்பு தூய்மை சுத்தம் அறைகளில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, அங்கு காற்று துகள் மாசுபாட்டால் வடிகட்டப்படுகிறது மற்றும் வெப்பநிலை, ஈரப்பதம், அதிர்வுகள் மற்றும் மின் இடையூறுகள் கடுமையான கட்டுப்பாட்டில் உள்ளன. புகை, தூசி, பாக்டீரியா மற்றும் செல்கள் மைக்ரோமீட்டர்கள் அளவு கொண்டவை, அவற்றின் இருப்பு மைக்ரோஃபேப்ரிகேட்டட் சாதனத்தின் செயல்பாட்டை அழிக்கும். துப்புரவு அறைகள் செயலற்ற தூய்மையை வழங்குகின்றன, ஆனால் ஒவ்வொரு முக்கியமான கட்டத்திற்கும் முன்பு செதில்களும் தீவிரமாக சுத்தம் செய்யப்படுகின்றன. அம்மோனியா-பெராக்சைடு கரைசலில் ஆர். சி. ஏ-1 சுத்தம் கரிம மாசுபாடு மற்றும் துகள்களை நீக்குகிறது; ஹைட்ரஜன் குளோரைடு-பெராக்சைடு கலவையில் ஆர். சி. ஏ-2 சுத்தம் உலோக அசுத்தங்களை நீக்குகிறது. கந்தக அமிலம்-பெராக்சைடு கலவை (ஏ. கே. ஏ. பிரன்ஹா) கரிமங்களை நீக்குகிறது. ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் இருந்து சொந்த ஆக்சைடை நீக்குகிறது. இவை அனைத்தும் கரைசல்களில் ஈரமான சுத்தம் செய்யும் படிகள். உலர் துப்புரவு முறைகளில் தேவையற்ற மேற்பரப்பு அடுக்குகளை அகற்ற ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஆர்கான் பிளாஸ்மா சிகிச்சைகள் அல்லது எபிடாக்ஸிக்கு முன் சொந்த ஆக்சைடை அகற்ற உயர் வெப்பநிலையில் ஹைட்ரஜன் சுடுதல் ஆகியவை அடங்கும். முன்-வாயில் சுத்தம் என்பது சிஎம்ஓஎஸ் புனையுதலில் மிகவும் முக்கியமான சுத்தம் செய்யும் படியாகும்ஃ இது சிஏ என்பதை உறுதி செய்கிறது. ஒரு எம்ஓஎஸ் டிரான்சிஸ்டரின் 2 என்எம் தடிமனான ஆக்சைடை ஒழுங்கான முறையில் வளர்க்கலாம். ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அனைத்து உயர் வெப்பநிலை படிகளும் மாசுபாட்டிற்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டவை, மேலும் சுத்தம் செய்யும் படிகள் அதிக வெப்பநிலை படிகளுக்கு முன்னதாக இருக்க வேண்டும். மேற்பரப்பு தயாரிப்பு என்பது ஒரு வித்தியாசமான கண்ணோட்டமாகும், மேலே விவரிக்கப்பட்டுள்ளபடி அனைத்து படிகளும் ஒரே மாதிரியானவைஃ நீங்கள் செயலாக்கத் தொடங்குவதற்கு முன்பு வேஃபர் மேற்பரப்பை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மற்றும் நன்கு அறியப்பட்ட நிலையில் விட்டுவிடுவது பற்றியது. முந்தைய செயல்முறை படிகளால் செதில்கள் மாசுபடுகின்றன (எ. கா. அயனி பொருத்துதலின் போது ஆற்றல்மிக்க அயனிகளால் அறை சுவர்களில் இருந்து குண்டுவீசப்பட்ட உலோகங்கள்), அல்லது அவை வேஃபர் பெட்டிகளிலிருந்து பாலிமர்களை சேகரித்திருக்கலாம், மேலும் இது காத்திருப்பு நேரத்தைப் பொறுத்து வேறுபட்டிருக்கலாம். வேஃபர் சுத்தம் மற்றும் மேற்பரப்பு தயாரிப்பு ஒரு பந்துவீச்சு சந்து இயந்திரங்களைப் போலவே செயல்படுகிறதுஃ முதலில் அவை அனைத்து தேவையற்ற பிட்கள் மற்றும் துண்டுகளை அகற்றி, பின்னர் அவை விரும்பிய வடிவத்தை மறுகட்டமைக்கின்றன, இதனால் விளையாட்டு தொடர முடியும். மேலும் காண்க 3டி மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் நானோ ஃபேப்ரிகேஷன் செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் குறிப்புகள் மேலும் படிக்கும் இதழ்கள் மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸின் ஜர்னல் (J.MEMS) சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்கள் ஏஃ பிசிக்கல் சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்கள் பிஃ எலக்ட்ரான் சாதனங்களின் சிப் ஐ. இ. இ. இ பரிவர்த்தனைகள் குறித்த மைக்ரோ மெக்கானிக்ஸ் மற்றும் மைக்ரோ இன்ஜினியரிங் ஆய்வகத்தின் வேதியியல் இதழ், ஜர்னல் ஆஃப் வேக்யூம் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜி ஏஃ வேக்யூம், மேற்பரப்புகள், ஃபிலிம்ஸ் ஜர்னல் ஆஃப் வேக்யூம் சயின்ஸ் அண்ட் டெக்னாலஜி பிஃ மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் அண்ட் நானோமீட்டர் கட்டமைப்புகள்ஃ செயலாக்கம், அளவீடு மற்றும் நிகழ்வுகள் புத்தகங்கள் எஸ். ஃபிரான்சிலா எழுதிய மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் அறிமுகம் (2004) எம். மடோ எழுதிய மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனின் அடிப்படைகள் (2 வது பதிப்பு, 2002). கிரிகோரி கோவாக்ஸ் எழுதிய மைக்ரோ மெஷின் டிரான்ஸ்யூசர்ஸ் சோர்ஸ் புக் (1998) ப்ரோடி அண்ட் முர்ரேஃ மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனின் இயற்பியல் (1982), நிதைகூர் பிரேம்சந்த் மஹாலிக் (2006) "மைக்ரோமேனுஃபாக்சரிங் அண்ட் நானோ டெக்னாலஜி", ஸ்ப்ரிங்கர், டி. விட்மேன், எச். மேடர், எச். ஃப்ரெட்ரிக்ஃ ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் தொழில்நுட்பம் (2000), ஜே. பிளம்மர், M.Deal, P.Griffin: சிலிக்கான் விஎல்எஸ்ஐ டெக்னாலஜி (2000), ஜிஎஸ். மே & எஸ். எஸ். ஸ்ஸேஃ செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தின் அடிப்படைகள் (2003), பி. வான் ஜான்ட்ஃ மைக்ரோசிப் ஃபேப்ரிகேஷன் (2000,5 வது பதிப்பு), ஆர். சி. ஜேகர்ஃ மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் ஃபேப்ரிகேஷன் அறிமுகம் (2001,2 வது பதிப்பு), எஸ். வுல்ஃப் & ஆர். என். டௌபர்ஃ விஎல்எஸ்ஐ சகாப்தத்திற்கான சிலிக்கான் செயலாக்கம், தொகுதி 1: செயல்முறை தொழில்நுட்பம் (1999,2 வது பதிப்பு), எஸ். ஏ. காம்ப்பெல்ஃ மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் ஃபேப்ரிகேஷனின் அறிவியல் மற்றும் பொறியியல் (2001,2 வது பதிப்பு) டி. ஹட்டோரிஃ சிலிக்கான் செதில்களின் அல்ட்ராக்லீன் மேற்பரப்பு செயலாக்கம்ஃ விஎல்எஸ்ஐ உற்பத்தியின் ரகசியங்கள் (2004) கெஸ்கே, கிளாங்க் & டெலிமேன், பதிப்புகள். : மைக்ரோசிஸ்டம் இன்ஜினியரிங் ஆஃப் லேப்-ஆன்-அ-சிப் சாதனங்கள், 1 வது பதிப்பு, ஜான் வில்லி & சன்ஸ். . மைக்ரோ-மற்றும் நானோஃபோட்டோனிக் டெக்னாலஜிஸ் (2017) பதிப்புகள்ஃ பேட்ரிக் மெய்ரூயிஸ், கசுவாகி சாகோடா, மார்செல் வான் டி வூர்டே. ஜான் வில்லி & சன்ஸ். வெளிப்புற இணைப்புகள் மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன் நுட்பங்கள் மற்றும் தொடர்புடைய பயன்பாடுகளில் வீடியோக்கள் மற்றும் அனிமேஷன்கள். நுண் உற்பத்தி மாநாடு. செமிகண்டக்டர் சாதனம் புனையமைப்பு நானோ தொழில்நுட்ப நுண் தொழில்நுட்பம்