Optical proximity correction
ஒளியியல் அருகாமை திருத்தம் (OPC) என்பது ஒளியியல் விரிவாக்கம் அல்லது செயல்முறை விளைவுகள் காரணமாக ஏற்படும் பட பிழைகளை ஈடுசெய்ய பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி மேம்பாட்டு நுட்பமாகும். ஓ. பி. சி. யின் தேவை முக்கியமாக குறைக்கடத்தி சாதனங்களை தயாரிப்பதில் காணப்படுகிறது, மேலும் சிலிக்கான் வேஃபரில் பொறிக்கப்பட்ட படத்தில், செயலாக்கப்பட்ட பிறகு, அசல் வடிவமைப்பின் விளிம்பு இடத்தின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க ஒளியின் வரம்புகள் காரணமாகும். இந்த திட்டமிடப்பட்ட படங்கள் வடிவமைக்கப்பட்டதை விட குறுகிய அல்லது அகலமான கோடு அகலங்கள் போன்ற முறைகேடுகளுடன் தோன்றும், இவை இமேஜிங்கிற்கு பயன்படுத்தப்படும் ஃபோட்டோமாஸ்கில் உள்ள வடிவத்தை மாற்றுவதன் மூலம் இழப்பீட்டிற்கு ஏற்றவை. வட்டமான மூலைகள் போன்ற பிற சிதைவுகள் ஆப்டிகல் இமேஜிங் கருவியின் தெளிவுத்திறனால் இயக்கப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றை ஈடுசெய்வது கடினம். இத்தகைய சிதைவுகள், சரிசெய்யப்படாவிட்டால், புனையப்பட்டவற்றின் மின் பண்புகளை கணிசமாக மாற்றக்கூடும். ஒளியியல் அருகாமை திருத்தம் இந்த பிழைகளை விளிம்புகளை நகர்த்துவதன் மூலமோ அல்லது ஃபோட்டோமாஸ்கில் எழுதப்பட்ட வடிவத்தில் கூடுதல் பலகோணங்களைச் சேர்ப்பதன் மூலமோ சரிசெய்கிறது. இது அகலம் மற்றும் அம்சங்களுக்கிடையேயான இடைவெளி (விதி அடிப்படையிலான ஓ. பி. சி என்று அழைக்கப்படுகிறது) ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் முன்கூட்டியே கணக்கிடப்பட்ட தேடல் அட்டவணைகளால் இயக்கப்படலாம் அல்லது இறுதி வடிவத்தை மாறும் வகையில் உருவகப்படுத்த சிறிய மாதிரிகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் விளிம்புகளின் இயக்கத்தை இயக்கலாம், பொதுவாக பிரிவுகளாக பிரிக்கப்பட்டு, சிறந்த தீர்வைக் கண்டறிய, (இது மாதிரி அடிப்படையிலான ஓ. பி. சி என்று அழைக்கப்படுகிறது). வடிவமைப்பாளரால் வரையப்பட்ட அசல் அமைப்பை செமிகண்டக்டர் வேஃபரில் முடிந்தவரை மீண்டும் உருவாக்குவதே இதன் நோக்கம். ஓ. பி. சி. யின் இரண்டு மிகவும் புலப்படும் நன்மைகள் வெவ்வேறு அடர்த்தி கொண்ட பகுதிகளில் உள்ள அம்சங்களுக்கு இடையில் காணப்படும் லைன்விட்த் வேறுபாடுகளை சரிசெய்வது (எ. கா., ஒரு வரிசையின் மையம் மற்றும் விளிம்பு, அல்லது நெஸ்டட் மற்றும் தனிமைப்படுத்தப்பட்ட கோடுகள்), மற்றும் லைன் எண்ட் ஷார்டனிங் (எ. கா., ஃபீல்ட் ஆக்சைடில் கேட் ஒன்றுடன் ஒன்று). முந்தைய வழக்கில், இது சிதறல் பார்கள் (தீர்க்கக்கூடிய கோடுகளுக்கு அருகில் வைக்கப்பட்டுள்ள துணை தெளிவுத்திறன் கோடுகள்) போன்ற தெளிவுத்திறன் மேம்பாட்டு தொழில்நுட்பங்களுடன் லைன் அகல மாற்றங்களுடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படலாம். பிந்தைய வழக்கில், "நாய்-காது" (செரிஃப் அல்லது ஹாம்மர்ஹெட்) அம்சங்கள் வடிவமைப்பில் வரி முனையில் உருவாக்கப்படலாம். ஓ. பி. சி ஃபோட்டோமாஸ்க் புனையுதலில் ஒரு செலவு தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் முகமூடி எழுதும் நேரம் முகமூடி மற்றும் தரவு கோப்புகளின் சிக்கலான தன்மையுடன் தொடர்புடையது, அதேபோல் குறைபாடுகளுக்கான முகமூடி ஆய்வு அதிக நேரம் எடுக்கும், ஏனெனில் நுண்ணிய விளிம்பைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கு சிறிய ஸ்பாட் அளவு தேவைப்படுகிறது. தெளிவுத்திறனின் தாக்கம்ஃ k1 காரணி வழக்கமான விலகல்-வரையறுக்கப்பட்ட தெளிவுத்திறன் ரேலே அளவுகோலால் வழங்கப்படுகிறது, அங்கு எண் துளை மற்றும் ஒளிரும் மூலத்தின் அலைநீளம். முக்கியமான அம்ச அகலத்தை இந்த மதிப்புடன் ஒப்பிடுவது பெரும்பாலும் பொதுவானது, ஒரு அளவுருவை வரையறுப்பதன் மூலம், அம்சம் அகலம் ஒரே அளவிலான தனிமைப்படுத்தப்பட்ட அம்சங்களை விட OPC இலிருந்து குறைவான நன்மையுடன் உள்ளமைக்கப்பட்ட அம்சங்களுக்கு சமம். காரணம், உள்ளமைக்கப்பட்ட அம்சங்களின் இடஞ்சார்ந்த அதிர்வெண் நிறமாலை தனிமைப்படுத்தப்பட்ட அம்சங்களை விட குறைவான கூறுகளைக் கொண்டுள்ளது. அம்ச சுருதி குறைவதால், அதிக கூறுகள் எண் துளை மூலம் துண்டிக்கப்படுகின்றன, இதன் விளைவாக விரும்பிய பாணியில் வடிவத்தை பாதிக்க அதிக சிரமம் ஏற்படுகிறது. ஒளியின் தாக்கம் மற்றும் இடஞ்சார்ந்த ஒத்திசைவு ஒளியின் மூலத்தின் ஒத்திசைவுகளின் அளவு அதன் கோண அளவு மற்றும் எண் துளை ஆகியவற்றின் விகிதத்தால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. இந்த விகிதம் பெரும்பாலும் பகுதி ஒத்திசைவு காரணி என்று அழைக்கப்படுகிறது, அல்லது. இது வடிவத்தின் தரத்தையும் பாதிக்கிறது, எனவே OPC இன் பயன்பாடு. படத் தளத்தில் உள்ள ஒத்திசைவு தூரம் தோராயமாக இந்த தூரத்திற்கு மேல் பிரிக்கப்பட்ட இரண்டு பட புள்ளிகளால் வழங்கப்படுகிறது, இது திறம்பட தொடர்பில்லாததாக இருக்கும், இது ஒரு எளிய OPC பயன்பாட்டை அனுமதிக்கிறது. இந்த தூரம் உண்மையில் 1 க்கு நெருக்கமான மதிப்புகளுக்கான ரேலே அளவுகோலுக்கு அருகில் உள்ளது. ஒரு தொடர்புடைய விஷயம் என்னவென்றால், OPC இன் பயன்பாடு ஒளியின் தேவையை மாற்றாது. ஆஃப்-ஆக்சிஸ் வெளிச்சம் தேவைப்பட்டால், ஆன்-ஆக்சிஸ் வெளிச்சத்திற்கு மாற OPC ஐப் பயன்படுத்த முடியாது, ஏனெனில் ஆன்-ஆக்சிஸ் வெளிச்சத்திற்கு, ஆஃப்-ஆக்சிஸ் வெளிச்சம் தேவைப்படும்போது இமேஜிங் தகவல்கள் இறுதி துளைக்கு வெளியே சிதறிக்கிடக்கின்றன, இது எந்த இமேஜிங்கையும் தடுக்கிறது. ஒளியியல் திட்ட அமைப்புகளில் உள்ள பிறழ்வுகளின் தாக்கம் அலை முனைகளை சிதைக்கிறது, அல்லது ஒளிரும் கோணங்களின் ஸ்பெக்ட்ரம் அல்லது பரவல், இது கவனத்தின் ஆழத்தை பாதிக்கலாம். OPC இன் பயன்பாடு கவனத்தின் ஆழத்திற்கு குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளை வழங்க முடியும் என்றாலும், பிறழ்வுகள் இந்த நன்மைகளை ஈடுசெய்வதை விட அதிகமாக இருக்கும். கவனத்தின் நல்ல ஆழத்திற்கு ஒளியியல் அச்சுடன் ஒப்பிடக்கூடிய கோணங்களில் பயணிக்கும் வேறுபட்ட ஒளி தேவைப்படுகிறது, இதற்கு பொருத்தமான ஒளிரும் கோணம் தேவைப்படுகிறது. சரியான ஒளிரும் கோணத்தைக் கருதினால், OPC ஒரு குறிப்பிட்ட சுருதிக்கு சரியான கோணங்களில் அதிக வேறுபட்ட ஒளியை இயக்க முடியும், ஆனால் சரியான ஒளிரும் கோணம் இல்லாமல், அத்தகைய கோணங்கள் கூட எழாது. பல வெளிப்பாட்டின் தாக்கம் கடந்த தொழில்நுட்ப தலைமுறைகளில் காரணி சீராக சுருங்கி வருவதால், சுற்று வடிவங்களை உருவாக்க பல வெளிப்பாட்டிற்குச் செல்வதற்கான எதிர்பார்க்கப்பட்ட தேவை மிகவும் உண்மையானதாகிறது. இந்த அணுகுமுறை OPC இன் பயன்பாட்டை பாதிக்கும், ஏனெனில் ஒவ்வொரு வெளிப்பாட்டிலிருந்தும் பட தீவிரங்களின் கூட்டுத்தொகையை ஒருவர் கணக்கில் எடுத்துக்கொள்ள வேண்டும். நிரப்பு ஃபோட்டோமாஸ்க் நுட்பத்திற்கு இது பொருந்தும், அங்கு ஒரு மாற்று-துளை கட்டம்-மாற்றும் முகமூடி மற்றும் ஒரு வழக்கமான பைனரி முகமூடியின் படங்கள் ஒன்றாக சேர்க்கப்படுகின்றன. ஒரே ஃபோட்டோரசிஸ்ட் படத்தின் பல வெளிப்பாட்டிற்கு மாறாக, பல அடுக்கு வடிவமைப்பு என்பது ஒரே சாதன அடுக்கை வடிவமைக்க மீண்டும் மீண்டும் ஃபோட்டோரசிஸ்ட் பூச்சு, படிவு மற்றும் பொறித்தல் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. இது அதே அடுக்கை வடிவமைக்க தளர்வான வடிவமைப்பு விதிகளைப் பயன்படுத்துவதற்கான வாய்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த தளர்வான வடிவமைப்பு விதிகளில் படத்திற்கு பயன்படுத்தப்படும் லித்தோகிராஃபி கருவியைப் பொறுத்து, OPC வித்தியாசமாக இருக்கும். பல-பொறிமுறை வடிவமைப்பு எதிர்கால தொழில்நுட்ப தலைமுறைகளுக்கு ஒரு பிரபலமான நுட்பமாக மாறக்கூடும். பக்கவாட்டு தியாக அம்சங்களைப் பயன்படுத்தி பல-பொறிமுறை வடிவமைப்பின் ஒரு குறிப்பிட்ட வடிவம், தற்போது 10 நானோமீட்டருக்கும் குறைவான அம்சங்களை முறையாக வடிவமைப்பதற்கான ஒரே நிரூபிக்கப்பட்ட வழியாகும். குறைந்தபட்ச அரை பிட்ச் தியாக அம்சத்தின் டெபாசிட் தடிமன் ஒத்திருக்கிறது. OPC பயன்பாடு இன்று, மின்னணு வடிவமைப்பு தானியங்கி (EDA) விற்பனையாளர்களிடமிருந்து வணிக தொகுப்புகளைப் பயன்படுத்தாமல் OPC அரிதாகவே நடைமுறையில் உள்ளது. வழிமுறைகள், மாடலிங் நுட்பங்கள் மற்றும் பெரிய கணக்கீட்டு பண்ணைகளின் பயன்பாடு ஆகியவற்றில் முன்னேற்றம் 130 என்எம் வடிவமைப்பு விதிகள் (மாதிரி அடிப்படையிலான ஓ. பி. சி முதன்முதலில் பயன்படுத்தப்பட்டபோது) முதல் மிகவும் மேம்பட்ட வடிவமைப்பு விதிகள் வரை மிகவும் முக்கியமான வடிவமைப்பு அடுக்குகளை ஒரே இரவில் சரிசெய்ய உதவியது. முன்பு முக்கியமான அடுக்குகள் அல்லாதவற்றுக்கு இப்போது இழப்பீடு தேவைப்படுவதால், அதிநவீன OPC தேவைப்படும் அடுக்குகளின் எண்ணிக்கை மேம்பட்ட முனைகளுடன் அதிகரித்துள்ளது. OPC இன் பயன்பாடு இன்று பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் குறைந்த அம்சங்களுக்கு மட்டுப்படுத்தப்படவில்லை, ஆனால் துல்லியமாக வடிவமைக்கக்கூடிய எந்த விரும்பிய பட திருத்த திட்டத்திற்கும் பயன்படுத்தப்படலாம். எடுத்துக்காட்டாக, எலக்ட்ரான் பீம் லித்தோகிராஃபியில் அருகாமை விளைவு திருத்தம் வணிக எலக்ட்ரான்-பீம் லித்தோகிராஃபி கருவிகளில் தானியங்கி திறனாக சேர்க்கப்பட்டுள்ளது. பல லித்தோகிராஃபிக் அல்லாத செயல்முறைகள் அவற்றின் சொந்த அருகாமை விளைவுகளை வெளிப்படுத்துவதால், எ. கா., இரசாயன-இயந்திர மெருகூட்டல் அல்லது பிளாஸ்மா பொறித்தல், இந்த விளைவுகளை அசல் OPC உடன் கலக்கலாம். சப்ரிஸொல்யூஷன் உதவி அம்சங்கள் (எஸ். ஆர். ஏ. எஃப்) சப்ரிஸொல்யூஷன் உதவி அம்சங்கள் (எஸ். ஆர். ஏ. எஃப்) என்பது இலக்கு அம்சங்களிலிருந்து பிரிக்கப்பட்ட அம்சங்களாகும், ஆனால் அவை அச்சிடப்படாமல் இருக்கும்போது அவற்றின் அச்சிடலுக்கு உதவுகின்றன. எஸ்ஆர்ஏஎஃப்களை அச்சிடுவது ஒரு முக்கியமான விளைச்சல் எதிர்ப்பாளராகும், மேலும் விரும்பத்தகாத அச்சிடுதல் ஏற்படக்கூடிய இடங்களில் எஸ்ஆர்ஏஎஃப்களைத் தீர்மானிக்கவும் அகற்றவும் கூடுதல் ஓபிசி மாதிரிகள் தேவைப்படுகின்றன. இலக்கு அம்ச மறுஅளவிடுதல் மற்றும்/அல்லது இணைப்புகளை விட எஸ்ஆர்ஏஎஃப்கள் விவரக்குறிப்பு நிறமாலையில் அதிக உச்சரிக்கப்படும் விளைவுகளைக் கொண்டுள்ளன. அச்சிடக்கூடாது என்ற தேவை குறைந்த அளவுகளில் மட்டுமே அவற்றின் பயன்பாட்டைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. இது சீரற்ற விளைவுகளுடன் சிக்கல்களை ஏற்படுத்தக்கூடும். எனவே அவற்றின் முக்கிய பயன்பாடு தனிமைப்படுத்தப்பட்ட அம்சங்களுக்கான கவனத்தின் ஆழத்தை மேம்படுத்துவதாகும் (அடர்த்தியான அம்சங்கள் எஸ். ஆர். ஏ. எஃப் அமைப்புக்கு போதுமான இடத்தை விட்டுச்செல்லாது). எஸ்ஆர்ஏஎஃப்கள் அதிக இடஞ்சார்ந்த அதிர்வெண்கள் அல்லது விலகல் வரிசைகளுக்கு ஆற்றலை மறுவிநியோகம் செய்வதால், கவனத்தின் ஆழம் ஒளிரும் கோணம் (இடஞ்சார்ந்த அதிர்வெண்கள் அல்லது விலகல் வரிசைகளின் நிறமாலையின் மையம்) மற்றும் சுருதி (இடஞ்சார்ந்த அடிக்கடி அல்லது விலகல் வரிசைகளைப் பிரிப்பது) ஆகியவற்றைப் பொறுத்தது. குறிப்பாக, வெவ்வேறு எஸ். ஆர். ஏ. எஃப்-கள் (நிலை, வடிவம், அளவு) வெவ்வேறு ஒளிரும் விவரக்குறிப்புகளை ஏற்படுத்தக்கூடும். உண்மையில், சில பிட்ச்கள் குறிப்பிட்ட ஒளிரும் கோணங்களுக்கு எஸ். ஆர். ஏ. எஃப்-களைப் பயன்படுத்துவதைத் தடைசெய்கின்றன. சுருதி பொதுவாக முன்கூட்டியே தீர்மானிக்கப்படுவதால், SRAF OPC ஐப் பயன்படுத்தும்போது கூட சில ஒளிரும் கோணங்கள் தவிர்க்கப்பட வேண்டும். பொதுவாக, இருப்பினும், எஸ். ஆர். ஏ. எஃப்-கள் ஒரு முழுமையான தீர்வாக இருக்க முடியாது, மேலும் அடர்த்தியான வழக்கை மட்டுமே அணுக முடியும், அதனுடன் பொருந்தாது. மேலும் காண்க கம்ப்யூடேஷனல் லித்தோகிராஃபி கட்டம்-ஷிப்ட் மாஸ்க் தலைகீழ் லித்தோகிராஃபி குறிப்புகள் வெளிப்புற இணைப்புகள் OPC இன் கண்ணோட்டம், வரைபடங்களுடன், ஃபிராங்க் ஜென்னாரி லித்தோகிராஃபி (மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன்)