Plasmonic nanolithography
பிளாஸ்மோனிக் நானோலிதோகிராஃபி (பிளாஸ்மோனிக் லித்தோகிராஃபி அல்லது பிளாஸ்மோனிக் ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) என்பது நானோ அளவிலான கட்டமைப்புகளை உருவாக்க மேற்பரப்பு பிளாஸ்மன் துருவமுனைப்புகள் (எஸ். பி. பி) போன்ற மேற்பரப்பு பிளாஸ்மன் தூண்டுதல்களைப் பயன்படுத்தும் ஒரு நானோலிதோகிராஃபிக் செயல்முறையாகும். ஒளியியல் அமைப்பில் பிளானர் மின்கடத்தா-உலோக அடுக்குகளுக்கு இடையில் பரவும் மேற்பரப்பு அலைகளான எஸ். பி. பி. க்கள், வழக்கமான ஃபோட்டோலிதோகிராஃபிக்கு ஒரு தடையாக செயல்படும் ஒளியியல் தெளிவுத்திறனில் உள்ள விலகல் வரம்பைத் தவிர்க்க முடியும். கோட்பாடு மேற்பரப்பு பிளாஸ்மன் துருவமுனைப்புகள் என்பது மேற்பரப்பு மின்காந்த அலைகள் ஆகும், அவை இரண்டு மேற்பரப்புகளுக்கு இடையில் அடையாளம் மாறும் அனுமதிகளுடன் பரவுகின்றன. அவை ஃபோட்டான்களை பிளாஸ்மா அலைவுகளுடன் இணைப்பதில் இருந்து உருவாகின்றன, அவை பிளாஸ்மோன்களாக அளவிடப்படுகின்றன. பரப்புதல் நிகழும் இடைமுகத்திற்கு செங்குத்தாக சிதைந்துவிடும் ஈவான்சென்ட் புலங்களை எஸ். பி. பி. க்கள் விளைவிக்கின்றன. எஸ். பி. பி. க்கான சிதறல் உறவு உள்வரும் ஒளியின் சுதந்திர-விண்வெளி அலைநீளத்தை விட குறுகிய அலைநீளங்களின் கிளர்ச்சியை அனுமதிக்கிறது, கூடுதலாக துணை அலைநீள புலம் அடைப்பை உறுதி செய்கிறது. ஆயினும்கூட, எஸ். பி. பி. களின் கிளர்ச்சிக்கு வேக பொருந்தாத தன்மை தேவைப்படுகிறது; ப்ரிஸம் மற்றும் கிரேட்டிங் இணைப்பு முறைகள் பொதுவானவை. பிளாஸ்மோனிக் நானோலிதோகிராஃபி செயல்முறைகளுக்கு, இது மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் துளைகள் மூலம் அடையப்படுகிறது. முறைகள் பிளாஸ்மோனிக் காண்டாக்ட் லித்தோகிராஃபி, புலத்திற்கு அருகிலுள்ள லித்தோகிராஃபியில் ஒரு மாற்றம், ஒரு உலோக ஃபோட்டோமாஸ்கைப் பயன்படுத்துகிறது, அதில் எஸ். பி. பி. க்கள் உற்சாகமாக உள்ளனர். பொதுவான ஃபோட்டோலிதோகிராஃபிக் செயல்முறைகளைப் போலவே, ஃபோட்டோரசிஸ்ட் முகமூடியிலிருந்து பரவும் எஸ். பி. பி. களுக்கு ஆளாகிறார். துளைகள் கொண்ட ஃபோட்டோமாஸ்குகள் எஸ். பி. பி. களின் கிராட்டிங் இணைப்பை செயல்படுத்துகின்றன; புலங்கள் நானோமீட்டர்களுக்கு மட்டுமே பரவுகின்றன. ஸ்ரீதுரவனிச் மற்றும் பலர். 2டி வெள்ளி துளை வரிசை முகமூடியுடன் லித்தோகிராஃபிக் செயல்முறையை சோதனை ரீதியாக நிரூபித்துள்ளது; 90 என்எம் துளை வரிசைகள் 365 என்எம் அலைநீளத்தில் தயாரிக்கப்பட்டன, இது விலகல் வரம்பிற்கு அப்பாற்பட்டது. சயாட்ஸ் மற்றும் ஸ்மோலியானினோவ் ஆகியோர் துணை அலைநீள துளையை மேம்படுத்த பல அடுக்கு உலோக படல முகமூடியைப் பயன்படுத்தினர்; அத்தகைய கட்டமைப்புகளை மெல்லிய படலம் படிவு முறைகள் மூலம் உணர முடியும். போட்டி துளைகள் மற்றும் நானோ வளைவுகளும் மாற்று துளைகளாக பரிந்துரைக்கப்பட்டன. இந்த முறையின் ஒரு பதிப்பு, லியு மற்றும் பலர் மேற்பரப்பு பிளாஸ்மன் குறுக்கீடு நானோலிதோகிராஃபி என்று பெயரிட்டனர், இது எஸ்பிபி குறுக்கீடு வடிவங்களைப் பயன்படுத்துகிறது. உயர் தெளிவுத்திறன் மற்றும் செயல்திறனை வழங்கினாலும், பிளாஸ்மோனிக் தொடர்பு லித்தோகிராஃபி ஒரு விலையுயர்ந்த மற்றும் சிக்கலான முறையாகக் கருதப்படுகிறது; தொடர்பு காரணமாக மாசுபடுவதும் ஒரு வரம்புக்குட்பட்ட காரணியாகும். பிளானர் லென்ஸ் இமேஜிங் நானோலிதோகிராஃபி பிளாஸ்மோனிக் லென்ஸ்கள் அல்லது நெகட்டிவ்-இன்டெக்ஸ் சூப்பர்லென்ஸ்களைப் பயன்படுத்துகிறது, அவை முதலில் ஜான் பெண்ட்ரியால் முன்மொழியப்பட்டன. பெண்ட்ரியின் மெல்லிய வெள்ளி படலம் அல்லது ஃபாங் மற்றும் பலர் போன்ற பல சூப்பர்லென்ஸ் வடிவமைப்புகள். ஒளிவிலகல் வரம்பிற்கு அப்பால் உள்வரும் ஒளியின் ஃபோரியர் கூறுகளை மையப்படுத்த பிளாஸ்மோனிக் கிளர்ச்சிகளிலிருந்து சூப்பர்லென்ஸ் பயனடைகிறது. சதுர்வேதி மற்றும் பலர். 380 நானோமீட்டரில் சில்வர் சூப்பர்லன்ஸ் ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி மூலம் 30 நானோமீட்டர் குரோமியம் கிரேட்டிங்கின் இமேஜிங்கை நிரூபித்துள்ளது, அதே நேரத்தில் ஷி மற்றும் பலர். ஒரு அலுமினிய சூப்பர் லென்ஸுடன் 193 என்எம் அலைநீளத்தில் 20 என்எம் லித்தோகிராஃபி தெளிவுத்திறனை உருவகப்படுத்தியது. ஸ்ரீதுரவனிச் மற்றும் பலர். முகமூடி இல்லாத அருகிலுள்ள ஃபீல்ட் நானோலிதோகிராஃபிக்கு இயந்திர ரீதியாக சரிசெய்யக்கூடிய, வட்டமிடும் பிளாஸ்மோனிக் லென்ஸை உருவாக்கியுள்ளது, அதே நேரத்தில் பான் மற்றும் பலர் முகமூடி இல்லாத மற்றொரு அணுகுமுறையை உருவாக்கியுள்ளனர். முற்போக்கான இணைப்புக்கு "மல்டி-ஸ்டேஜ் பிளாஸ்மோனிக் லென்ஸ்" பயன்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மோனிக் நேரடி எழுத்து என்பது ஸ்கேனிங் ப்ரோப் லித்தோகிராஃபியை அடிப்படையாகக் கொண்ட ஃபோட்டோலிதோகிராஃபியின் முகமூடி இல்லாத வடிவமாகும்; இந்த முறை உட்பொதிக்கப்பட்ட பிளாஸ்மோனிக் ஸ்கேனிங் ஆய்வுகளிலிருந்து உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு பிளாஸ்மோன் (எல்எஸ்பி) மேம்பாடுகளைப் பயன்படுத்தி ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்டை அம்பலப்படுத்துகிறது. வாங் மற்றும் பலர். இந்த முறையின் மூலம் 100 என்எம் புல அடைப்பை சோதனை ரீதியாக நிரூபித்தார். கிம் மற்றும் பலர். ~ 10 மிமீ/வி என்ற வடிவமைப்பு வேகத்துடன் ~ 50 என்எம் தெளிவுத்திறன் ஸ்கேனிங் ப்ரோபை உருவாக்கியுள்ளது. தங்க நானோ துகள்கள் மற்றும் நானோகேப்கள் போன்ற பிற பிளாஸ்மோனிக் நானோ கட்டமைப்புகள் லித்தோகிராஃபிக்கு முகமூடிகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன; எல்எஸ்பி அதிர்வுகள் காரணமாக ஃபோட்டோமாஸ்கிங் கொள்கைகள் அல்லது நானோ கட்டமைப்புக்கு அருகிலுள்ள மேம்பட்ட உள்ளூர் வெப்பம் மூலம் இந்த விஷயத்தில் பொறித்தல் அடையப்படலாம். லின் மற்றும் பலர். "ஆப்டோதெர்மோப்லாஸ்மோனிக் நானோலிதோகிராஃபி" என்று அழைக்கப்படும் ஒரு செயல்பாட்டில் வடிவமைக்கப்பட்ட கிராஃபீன் மற்றும் மாலிப்டினம் டைசல்பைடு மோனோலெயர்கள் போன்ற இரு பரிமாண கட்டமைப்புகளை உருவாக்க தங்க நானோ துகள்களில் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட வெப்ப தூண்டுதல்களையும் பயன்படுத்தினார். எல்எஸ்பி அதிர்வுகளின் ஒளி வேதியியல் விளைவுகளும் லித்தோகிராஃபிக் செயல்முறைகளில் ஒரு வினையூக்கியாகப் பயன்படுத்தப்பட்டனஃ சைட்டோ மற்றும் பலர். பிளாஸ்மன்-தூண்டப்பட்ட சார்ஜ் பிரிப்பு மூலம் டைட்டானியம் டை ஆக்சைடு அடி மூலக்கூறுகளில் வெள்ளி நானோகுழாய்களின் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொறித்தல் நிரூபிக்கப்பட்டது. மேலும் காண்க எலக்ட்ரான்-பீம் லித்தோகிராஃபி நானோஇம்பிரிண்ட் லித்தோகிராஃபி நானோஸ்பியர் லித்தோகிராஃபி பிளாஸ்மோனிக் மெட்டாமெட்டரியல் குறிப்புகள் லித்தோகிராஃபி (மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷன்) பிளாஸ்மோனிக்ஸ்