Zyron
சைரான் என்பது டுபோன்ட் நிறுவனத்தால் உலகளாவிய மின்னணுவியல் தொழிலுக்கு சந்தைப்படுத்தப்படும் சிறப்பு வாயுக்களுக்கான பதிவுசெய்யப்பட்ட வர்த்தக முத்திரையாகும். டுபோன்ட் தயாரித்து சந்தைப்படுத்திய மின்னணு வாயுக்களுக்கான அசல் பிராண்ட் பெயராக ஃப்ரீன் பயன்படுத்தப்பட்டது. ஓசோன் அடுக்கு குறைந்து, அதைத் தொடர்ந்து குளோரோஃப்ளூரோகார்பன் (சி. எஃப். சி) வாயு சேர்மங்கள் வெளியேற்றப்பட்டதால், அதே ஃப்ரீயான் பிராண்ட் பெயரைப் பயன்படுத்தி வந்த குளிரூட்டும் வாயுக்களிலிருந்து வேறுபடுத்துவதற்காக நிறுவனம் இந்த தயாரிப்பு வரிசையை மறுபெயரிட்டது. இந்த பெயர் அக்டோபர் 1991 இல் டுபோன்ட் ஊழியர்களான பால் பெக்லி மற்றும் டாக்டர் நிக்கோலஸ் நாசரேன்கோ ஆகியோரால் உருவாக்கப்பட்டது, இது முதன்முதலில் ஜூன் 12,1992 அன்று வர்த்தகத்தில் பயன்படுத்தப்பட்டது, மேலும் 1993 இல் டுபோண்டின் பதிவு செய்யப்பட்ட வர்த்தக முத்திரையாக மாறியது. பெயரிடும் அமைப்பு சைரான் தயாரிப்பு பெயரிடும் முறையும் அக்டோபர் 1991 இல் பெக்லி மற்றும் நாசரேன்கோ ஆகியோரால் உருவாக்கப்பட்டது. இந்த அமைப்பு இரசாயன கலவையை அடையாளம் காண ஃப்ளோரினேட்டட் ஆல்கேன்களுக்கான வரலாற்றுத் தொழில்துறை எண் முறையை அடிப்படையாகக் கொண்டது, அதைத் தொடர்ந்து தயாரிப்பு தூய்மையைக் குறிப்பிடும் (என்) பின்னொட்டு கூறு உள்ளது. தொழில்துறை தத்தெடுப்புக்கு அனுமதிக்கும் வகையில் பெயரிடும் முறை வேண்டுமென்றே வர்த்தக முத்திரை குத்தப்படவில்லை. சைரான் 116 N5 க்கு எடுத்துக்காட்டாகஃ 116 என்பது ஹெக்ஸாஃப்ளோரோ ஈத்தேன் கலவையைக் குறிக்கிறது, மேலும் N5 என்பது "5 நைன்ஸ்" அல்லது 99.999% தூய்மையைக் குறிக்கிறது. எடுத்துக்காட்டாக, சைரான் 23 N3 க்கு 23 என்பது ட்ரைஃப்ளூரோமெத்தேன் கலவையைக் குறிக்கிறது, மேலும் N3 என்பது "3 ஒன்பது" அல்லது 99.99% தூய்மையைக் குறிக்கிறது. ஜைரான் 116 N5 (ஹெக்ஸாஃப்ளோரோ ஈத்தேன்) ஜைரான் 318 N4 (ஆக்டாஃப்ளோரோசைக்ளோபுடேன்) ஜைரான் 23 N5 (ட்ரைஃப்ளோரோமீத்தேன்) ஜைரான் 23 N3 (ட்ரைஃப்ளோரோமீத்தேன்) வரலாற்று தயாரிப்புகளில் பின்வருவன அடங்கும்ஃ ஜைரான் 14 (டெட்ராஃப்ளோரோமீத்தேன்), ஜைரான் 32 (டைஃப்ளோரோமீத்தேன்), ஜைரான் 125 (பெண்டாஃப்ளோரோமீத்தேன்), மற்றும் ஜைரான் NF3 (நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு). பயன்பாடுகள் மின்னணுவியல் தொழில்துறையில் இந்த வாயுக்களின் முதன்மை பயன்பாடுகள் சிலிக்கான் வேஃபர் பொறித்தல் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு அறை கருவிகளை சுத்தம் செய்தல் ஆகும். இவை அனைத்தும் பிளாஸ்மா அடிப்படையிலான தயாரிப்பு பயன்பாடுகளாகும், அங்கு தயாரிப்பு அடிப்படையில் பயன்பாட்டில் அழிக்கப்படுகிறது. மின்னணுவியலில் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கான சைரான் வரிசையின் மாற்று தயாரிப்புகளில் இரசாயன சேர்மங்களான HCl, BCl3, CF4, ClF3, CH2F2, GeH4, C4F6, NF3, C5F8, PH3, C3H6, SiH4 மற்றும் WF6 ஆகியவை அடங்கும். செய்தி சைரான் விரிவாக்க அறிவிப்பு (1999) சைரான் 2 வது விரிவாக்க அறிவிப்பு (2001) சைரான் என். எஃப் 3 அறிவிப்பு (2002) சைரான் குழு விருது அறிவிப்பு (2007) செமிகான் தைவான் அறிவிப்பு (2010) மேலும் காண்க செமிகண்டக்டர் சாதனம் புனையமைப்பு ஃப்ளோரோகார்பன்கள் பசுமை இல்ல வாயு புவி வெப்பமயமாதல் குறிப்புகள் வெளிப்புற இணைப்புகள் டுபோன்ட் சைரான் வலைத்தளம் செமிகண்டக்டர் இண்டஸ்ட்ரி அசோசியேஷன் ஐக்கிய நாடுகளின் காலநிலை மாற்றம் குறித்த கட்டமைப்பு மாநாடு பால் எல் பெக்லி ஆவணங்கள் (இணைப்பு 2723), ஹாக்லி அருங்காட்சியகம் மற்றும் நூலக பிராண்ட் பெயர் பொருட்கள் ஆர்கனோஃப்ளூரைட்ஸ் செமிகண்டக்டர் சாதனம் புனையமைப்பு