MEMS testing
எம்இஎம்எஸ் சோதனை என்பது எம்இஎம்எஸ் சாதனத்தின் வளர்ச்சியில் உள்ள செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும். இது மின், இயந்திர மற்றும் சுற்றுச்சூழல் சோதனைகள் போன்ற சோதனை முறைகளின் தொகுப்பாகும். உந்துதல் மின்னணு சந்தையைப் பார்க்கும்போது, எம்இஎம்எஸ் வாடிக்கையாளர்களின் பார்வையில் நம்பிக்கையை உருவாக்குவதற்கு உற்பத்தி வெளியீடு, உயர் கணினி செயல்திறன், தயாரிப்பு நம்பகத்தன்மை மற்றும் நீண்ட ஆயுட்காலம் தேவைப்படுவதால் இது வெளிப்படையாகிறது. அந்த நிபந்தனைகள் பூர்த்தி செய்யப்படாவிட்டால், வாடிக்கையாளர்கள் எம். இ. எம். எஸ்ஸைப் பயன்படுத்தும் தொழில்நுட்பங்களில் முதலீடு செய்ய மாட்டார்கள், இது உயர்தர தரத்தின் ஒரு பகுதியாக சோதனையின் அவசியத்தை நியாயப்படுத்துகிறது. பொருளாதாரக் கண்ணோட்டத்தில் சோதனை மிகவும் முக்கியமானது. தோல்விக்கான செலவு கண்டுபிடிக்கப்படுவதற்கு முன்பு ஒவ்வொரு கட்டத்திற்கும் பத்து காரணி அதிகரிக்கிறது என்று கூறப்படுகிறது. பெரும்பாலான எம். இ. எம். எஸ் உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் தயாரிப்புகளை இரண்டு தனித்துவமான நிலைகளில் (வேஃபர் நிலை மற்றும் பேக்கேஜிங்) சரிபார்க்கிறார்கள், அதே போல் ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் சீரற்ற மாதிரி எடுக்கிறார்கள். ஒரு எம். இ. எம். எஸ் சாதனத்திற்கான செலவுக் கணக்கீட்டில் இதை ஒருவர் சேர்த்தால், சோதனைக்கான செலவுகள் ஒட்டுமொத்த அலகு செலவுகளில் 20-50% ஆகும். எம். இ. எம். எஸ் மற்றும் சி. எம். ஓ. எஸ் சாதனங்களை தயாரிக்கும் உற்பத்தியாளர்களைப் பார்க்கும்போது கூட, இரண்டு வகையான சாதனங்களாக சோதனைக்கான ஸ்கோப்ஸ் விளைவின் பொருளாதாரத்தை சேர்ப்பதன் மூலம் செலவுகளைக் குறைப்பது உண்மையில் சாத்தியமில்லை. ஏனென்றால், சுமார் 80 சதவீதம் செயலாக்கம் பகிரப்பட்டாலும், 20 சதவீதம் சோதனைகள் மட்டுமே உள்ளன. அமெரிக்க உற்பத்தியாளர்களுக்கான இந்த செலவுகளைக் குறைக்க, தேசிய தரநிலைகள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்கள் நிறுவனம் (என்ஐஎஸ்டி) இந்த சிக்கலைச் சமாளிக்கவும், அமெரிக்க நிறுவனங்களின் போட்டித்தன்மையை அதிகரிக்கவும் பல பட்டறைகள் மற்றும் கேள்வித்தாள்களை நடத்தியது. என்ன சோதனை செய்யப்படுகிறது? பல்வேறு வகையான எம். இ. எம். எஸ் காரணமாக மிகவும் குறிப்பிட்டதாக இருப்பது கடினம், ஏனெனில் கீழே உள்ள அட்டவணை பொதுவாக சோதிக்கப்படுவதைக் காட்டுகிறதுஃ வெவ்வேறு தொழில்நுட்பங்கள் எம். இ. எம். எஸ்ஸைச் சோதிக்க ஆராய்ச்சியாளர்கள் சில மதிப்புகளைக் காட்டக்கூடிய பல்வேறு வகையான நுட்பங்களைக் கொண்டு வந்தனர். இருப்பினும், அனைத்தையும் உள்ளடக்கும் ஒற்றை தொழில்நுட்பம் இல்லை; ஒவ்வொன்றுக்கும் பலம் மற்றும் பலவீனங்கள் உள்ளன. எம். இ. எம். எஸ் சோதனையில் பயன்படுத்தப்படும் அனைத்து பெரிய மற்றும் சில சிறிய தொழில்நுட்பங்களுடன் ஒரு பட்டியல் கீழே உள்ளதுஃ அணுசக்தி நுண்ணோக்கி (ஏ. எஃப். எம்) கான்போகல் நுண்ணோக்கி (சி. எம்) டிஜிட்டல் ஹாலோகிராஃபிக் நுண்ணோக்கி (டி. எச். எம்) லேசர் டாப்ளர் வைப்ரோமீட்டர் (எல். டி. வி) ஆப்டிகல் நுண்ணோக்கி (ஓ. எம்) ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (எஸ். இ. எம்) ஸ்ட்ரோபோஸ்கோபிக் வீடியோ நுண்ணோக்கி (எஸ். வி. எம்) வெள்ளை ஒளி இன்டர்ஃபெரோமெட்ரி (டபிள்யூ. எல். ஐ) பின்வரும் தொழில்நுட்பங்கள் பரிசோதனை செய்யப்பட்டன, ஆனால் அவை எம். இ. எம். எஸ் சோதனைக்கு இனி பரிசீலிக்கப்படவில்லைஃ பீம் விலகல் மின்னணு ஸ்பெக்கிள் முறை இன்டர்ஃபெரோமெட்ரி (ஈ. எஸ். பி. ஐ) எலிப்சோமெட்ரி ஒளி சிதறல் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி இந்த தொழில்நுட்பங்கள் அனைத்தும் பலம் மற்றும் பலவீனங்களைக் கொண்டுள்ளன, எனவே செயல்திறனை அதிகரிக்க உதாரணமாக, யு. சி. பெர்க்லியின் முன்னாள் ஆராய்ச்சியாளரான கிறிஸ்டியன் ரெம்பே, லேசர் டாப்ளர் வைப்ரோமெட்ரி, ஒயிட் லைட் இன்டர்ஃபெரோமெட்ரி மற்றும் ஸ்ட்ரோப் வீடியோ மைக்ரோஸ்கோபி ஆகியவற்றை ஒரு கருவியாக இணைத்து ஒவ்வொரு தொழில்நுட்பத்தின் பலவீனத்தையும் அகற்றினார். குறிப்புகள் நுண் தொழில்நுட்பம் அழிவற்ற சோதனை அறிவியல் கருவிகள்