SEM-XRF
SEM-XRF என்பது ஒரு ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியில் (SEM) ஒரு (பொதுவாக மைக்ரோ-ஃபோகஸ்) எக்ஸ்-ரே ஜெனரேட்டரை (எக்ஸ்-ரே மூல) சேர்ப்பதற்கான ஒரு நிறுவப்பட்ட தொழில்நுட்பச் சொல்லாகும். சிறிய-புள்ளி குறைந்த-சக்தி எக்ஸ்ரே குழாய்கள் மற்றும் பாலிகேபில்லரி எக்ஸ்ரே ஒளியியல் துறைகளில் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றம், ஆற்றல்-சிதறல் எக்ஸ்ரே ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி (ஈ. டி. எஸ், ஈ. டி. எக்ஸ், ஈ. டி. எக்ஸ். எஸ் அல்லது எக்ஸ். இ. டி. எஸ்) பொருத்தப்பட்ட ஒரு எஸ். இ. எம் உடன் இணைக்கப்படக்கூடிய சிறிய மைக்ரோ-ஃபோகஸ் எக்ஸ்ரே மூலங்களின் வளர்ச்சிக்கு உதவியது. வலதுபுறத்தில் உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, மைக்ரோ-ஃபோகஸ் எக்ஸ்-ரே ஃப்ளோரசன்ஸ் (மைக்ரோஎக்ஸ்ஆர்எஃப்) ஒரு எஸ்இஎம் உடன் நிகழ்த்தப்படும்போது, தகுதியின் அடிப்படை பகுப்பாய்வு பகுப்பாய்வு புள்ளிவிவரங்கள் சுவடு நிலை அளவீடு மற்றும் மொத்த பகுப்பாய்வு சாத்தியமான இடத்திற்கு நீட்டிக்கப்படுகின்றன. எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் ஃபோட்டான்களுடன் முறையே தூண்டப்பட்ட எக்ஸ்-ரே ஸ்பெக்ட்ராவிலிருந்து பெறப்பட்ட பகுப்பாய்வு தகவல்களை இணைப்பதன் மூலம், குறைந்த மற்றும் அதிக அணு எண்ணைக் கொண்ட முக்கிய கூறுகள் மற்றும் சுவடு கூறுகளை பகுப்பாய்வு செய்யலாம்-இருப்பினும் வெவ்வேறு இடஞ்சார்ந்த தீர்மானங்களுடன். 1986 ஆம் ஆண்டில், சாண்டியா மற்றும் லாரன்ஸ் லிவர்மோர் நேஷனல் லேப்ஸ் எக்ஸ்-ரே மைக்ரோ-ஃப்ளோரசன்ஸை பாதிக்கும் அளவுருக்கள் குறித்து (கெவெக்ஸ் கார்ப்பரேஷனுடன்) ஒரு கட்டுரையை இணைந்து எழுதினர். 1988 ஆம் ஆண்டில் ஒரு பின்தொடர்தலாக, கிராஸ் & வெர்ரி ஒரு எக்ஸ்-ரே மைக்ரோ-ஃப்ளோரசன்ஸ் பகுப்பாய்வியை விவரித்தார், இது எக்ஸ்-ரே ஃப்ளோரசன்ஸின் அழியாத பகுப்பாய்வு முறையை ஒப்பீட்டளவில் சிறிய இடஞ்சார்ந்த பாகுபாட்டுடன் (50 மைக்ரோ மீட்டருக்கும் குறைவானது) ஒருங்கிணைக்கிறது, அதாவது கலவை (வேதியியல்), தடிமன் மற்றும் மைக்ரோ-கட்டமைப்பு அளவீடுகள் ஒரு சில நொடிகளில் பல்வேறு வகையான பன்முகப் பொருட்களில் செய்யப்படலாம். எக்ஸ்-ஒய் கட்டத்துடன் மாதிரிகளை ஸ்கேன் செய்வதன் மூலம், அளவு அல்லது தரமான நுண்-கட்டமைப்பு தகவல்களை சேகரிக்க முடியும் என்று காட்டப்பட்டது. இந்த இரண்டு ஆவணங்களும் SEM உடன் மைக்ரோ-எக்ஸ்-ரே ஃப்ளோரசன்ஸின் வரவிருக்கும் ஒருங்கிணைப்பு பற்றிய முன்னோட்டத்தை வழங்கின. 1991 வாக்கில், எஸ். இ. எம் சூழலில் எக்ஸ்ரே மைக்ரோ-ஃப்ளோரசன்ஸ் பகுப்பாய்வை மேற்கொள்வதற்கான சாத்தியக்கூறுகளை விவரிக்கும் ஒரு மதிப்பாய்வுக் கட்டுரையை போஜ்காய் வெளியிட்டார். எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியின் எலக்ட்ரான் ஒளியியல் நெடுவரிசையை ஒரு பரிமாற்ற எக்ஸ்-ரே குழாயாக மாற்றுவது, மைக்ரோ-மையப்படுத்தப்பட்ட எக்ஸ்-ரே குழாய்களைப் பயன்படுத்துவது, எக்ஸ்-ரே குழாய்களை கேபில்லரி நுட்பங்களுடன் இணைப்பது, எக்ஸ்-ரே குழாய்களை மோனோக்ரோமேட்டர்களுடன் இணைப்பது மற்றும் சின்க்ரோட்ரான் கதிர்வீச்சைப் பயன்படுத்துவது ஆகியவை முக்கிய அணுகுமுறைகளில் அடங்கும். SEM-XRF முதன்முதலில் மார்ச் 2005 இல் IXRF சிஸ்டம்ஸ் (ஆஸ்டின், TX) ஆல் வணிகமயமாக்கப்பட்டது. ப்ரூக்கர் கார்ப்பரேஷன் (பில்லெரிகா, எம்ஏ) ஆகஸ்ட் 2013 இல் தொடர்ந்தது. குறிப்புகள் வெளிப்புற இணைப்புகள் மேம்பட்ட அடிப்படை பகுப்பாய்வு ஒரு SEM இல் ED-EPMA, WD-EPMA மற்றும் μ-XRF உடன். வி. டி. ஹோடரூபா மற்றும் பலர். நுண்ணோக்கி மற்றும் நுண் பகுப்பாய்வு 17:600-601, ஜூலை 2011. SEM-EDS மற்றும் மைக்ரோ-XRF-SEM மூலம் கார்பன் பூசப்பட்ட ஷெர்டில் இரும்பு அடிப்படையிலான மட்பாண்ட நிறமியைக் கண்டறிவதை ஒப்பிடுதல். மைக்கேல் பெண்டில்டன் மற்றும் பலர். யேல் உயிரியல் மற்றும் மருத்துவ இதழ். 87 (1): 15-20, மார்ச் 2014. ஒரு SEM இல் மைக்ரோ-XRF கிளர்ச்சி. எம். ஹாஷ்கே, எஃப். எக்கர்ட் மற்றும் டபிள்யூ. டி. ஏலம். எக்ஸ்-ரே ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி. தொகுதி. 36, இல்லை. 4, p. 254-259 (2007). ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிகளில் மைக்ரோ-எக்ஸ்ஆர்எஃப். மைக்கேல் ஹாஷ்கே மற்றும் ஸ்டீபன் போம். இமேஜிங் மற்றும் எலக்ட்ரான் இயற்பியலில் முன்னேற்றங்கள். தொகுதி. 199, p 1-60, (2017). ஆய்வக ஆதாரங்களுடன் கோண-தீர்க்கப்பட்ட எக்ஸ்-ரே ஃப்ளோரசன்ஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரிக்கான நெகிழ்வான அமைப்பு. எம். ஸ்பானியர், சி. ஹெர்சாக், டி. கிரோட்ஷ், எஃப். கிராமர், ஐ. மான்டோவலோ, ஜே. லூபெக், ஜே. வெசர், சி. ஸ்ட்ரீக், டபிள்யூ. மால்சர், பி. பெக்கோஃப், பி. கன்னிஜர். அறிவியல் கருவிகளின் விமர்சனம், தொகுதி 87, எண் 3, (035108), (2016). மைக்கேல் ஹாஷ்கே, ஆய்வக மைக்ரோ-எக்ஸ்-ரே ஃப்ளோரசன்ஸ் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி, தொகுதி. 55 (2014). நுண்ணோக்கி எக்ஸ்ரே ஃப்ளோரசன்ஸைப் பயன்படுத்தி சுற்றுச்சூழல் அறிவியலில் போக்குகள். உர்சுலா எலிசபெத் அட்ரியன் ஃபிட்சென் மற்றும் ஜெரால்ட் ஃபால்கன்பெர்க். ஸ்பெக்ட்ரோசிமிகா ஆக்டா பகுதி B: அணு ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி, தொகுதி 66, எண் 8, p 567-580 (2011). சிதறல் நிறமாலையின் கணக்கீட்டுடன் இணைத்தல் அளவீட்டின் மூலம் SEM இல் மைக்ரோ-ஃபோகஸ் XRF க்கான X-கதிர் லென்ஸின் உண்மையான பரிமாற்றத்தை தீர்மானித்தல். வி.-டி. ஹோடோரோபா & எம். ப்ரோகோப். எக்ஸ்-ரே ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி, தொகுதி 38, எண் 3, p 216-221, (2009). SEM புரோகோப், மத்தியாஸ் மற்றும் பலருடன் XRF பகுப்பாய்விற்கான மைக்ரோ-ஃபோகஸ் எக்ஸ்-ரே மூலத்தின் குறைந்த ஆற்றல் செயல்திறனின் மேம்பாடுகள். எக்ஸ்-ரே ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரிஃ ஒரு சர்வதேச இதழ் 38.4 (2009): 308-311. SEM இல் மேம்பட்ட EDS மற்றும் XRF பகுப்பாய்விற்கான மைக்ரோஃபோகஸ் எக்ஸ்ரே மூலமாகும். ப்ரோகோப், மத்தியாஸ், வாஸில்-டான் ஹோதோரோபா மற்றும் வனேசா ராக்விட்ஸ். நுண்ணோக்கி மற்றும் பகுப்பாய்வு/ஐரோப்பிய பதிப்பு. p 10-13 (மே, 2011). ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கிக்கான கூடுதல் பகுப்பாய்வு முறையாக எக்ஸ்-ரே ஃப்ளோரசன்ஸ். ப்ரோகோப், எம்., ஹோடோரோபா, வி. மைக்ரோசிம் ஆக்டா தொகுதி 161, p 413-419 (2008). எக்ஸ்ஆர்எப் பகுப்பாய்வில் காம்ப்டன்-டு-ரேலே தீவிர விகிதத்தை சுரண்டுவதன் மூலம் மேம்பட்ட வேதியியல் கலவையைப் பெறுதல். ஹோடோரோபா, வாஸில்-டான் மற்றும் வனேசா ராக்விட்ஸ். பகுப்பாய்வு வேதியியல் 86.14 (2014): 6858-6864. பெண்டில்டன், எம். டபிள்யூ., மற்றும் பலர். SEM-EDS மற்றும் மைக்ரோ-XRF-SEM மூலம் ரூத்தேனியம் பூசப்பட்ட தொல்பொருள் மட்பாண்டங்களில் இரும்பு அடிப்படையிலான நிறமிகளைக் கண்டறிதல். நுண்ணோக்கி மற்றும் நுண் பகுப்பாய்வு 20.S3 (2014): 2030-2031. ராக்விட்ஸ், வனேசா மற்றும் பலர். ROHS தொடர்புடைய கூறுகளின் எடுத்துக்காட்டில் சுவடு பகுப்பாய்விற்காக SEM/EDS உடன் μ-XRF இன் செயல்திறன்-கண்டறிதல் வரம்புகளின் அளவீடு, உகப்பாக்கம் மற்றும் முன்கணிப்பு. பகுப்பாய்வு அணு நிறமாலை இதழ் 28.9 (2013): 1466-1474. சீபர், ஜான் ஆர்., மற்றும் ஆடம் மோர்டென்சன். "அதிக நம்பகத்தன்மை கொண்ட பயன்பாடுகளில் சாலிடருக்கான எக்ஸ்ஆர்எஃப் மற்றும் எஸ்இஎம்-இடிஎஸ் அடிப்படை பகுப்பாய்வு முடிவுகளின் சரிபார்ப்பு மற்றும் கண்டுபிடிப்பு". எக்ஸ்-ரே ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி 43.5 (2014): 259-268. மைக்ரோ எக்ஸ்ஆர்எஃப் உறுப்பு வரைபடங்கள் எலக்ட்ரான் பீம் உற்பத்தி செய்யப்பட்ட கரோலரியை விட குறைந்த செறிவுகளில் கூறுகளைக் கண்டறிவதற்கான ஒரு புதிய முறையாகும்ஃ ஒரு கார்னெட் ஸ்கிஸ்ட் எடுத்துக்காட்டு. "நுண்ணோக்கி மற்றும் நுண் பகுப்பாய்வு 15.S2 (2009): 34-35. இரண்டு வணிக விற்பனையாளர்கள் இந்த தொழில்நுட்பத்தை வழங்குகிறார்கள்ஃ எக்ஸ்பி மைக்ரோ-எக்ஸ்ஆர்எஃப் குவாண்டாக்ஸ் மைக்ரோ-எக்ஸ்ஆர்எஃப் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி நுட்பங்கள்