Microoptoelectromechanical systems
माइक्रोप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (एम. ओ. ई. एम. एस.), जिसे ऑप्टिकल एम. ई. एम. एस. के रूप में भी जाना जाता है, यांत्रिक, ऑप्टिकल और विद्युत प्रणालियों के एकीकरण हैं जिनमें बहुत छोटे आकार में ऑप्टिकल संकेतों को समझना या हेरफेर करना शामिल है। एम. ओ. ई. एम. एस. में विभिन्न प्रकार के उपकरण शामिल हैं, उदाहरण के लिए ऑप्टिकल स्विच, ऑप्टिकल क्रॉस-कनेक्ट, ट्यूनेबल वी. सी. एस. ई. एल., माइक्रोबोलोमीटर। इन उपकरणों को आमतौर पर सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड, सिलिकॉन नाइट्राइड और गैलियम आर्सेनाइड जैसी सामग्रियों का उपयोग करके माइक्रो-ऑप्टिक्स और मानक माइक्रो मशीनिंग तकनीकों का उपयोग करके बनाया जाता है। एम. ओ. ई. एम. एस. प्रौद्योगिकियों के विलय में दो प्रमुख प्रौद्योगिकियां शामिल हैं, माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम और माइक्रो-ऑप्टिक्स। इन दोनों तकनीकों में स्वतंत्र रूप से इंटीग्रेटेड सर्किट के समान बैच प्रोसेसिंग और माइक्रोसेंसर के निर्माण के समान माइक्रो मशीनिंग शामिल है। एम. ओ. ई. एम. एस. का इतिहास 1991-1993 के दौरान, डॉ. एम. एडवर्ड मोटामेडी, माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम और माइक्रो-ऑप्टिक्स दोनों के क्षेत्रों में एक पूर्व रॉकवेल अंतर्राष्ट्रीय नवप्रवर्तक, ने माइक्रोऑप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम के लिए एम. ओ. ई. एम. एस. के संक्षिप्त नाम का आंतरिक रूप से उपयोग किया। यह ऑप्टिकल एम. ई. एम. एस. और एम. ओ. ई. एम. एस. के बीच अंतर करने के लिए था, जहां ऑप्टिकल एम. ई. एम. एस. में थोक प्रकाशिकी शामिल हो सकती है, लेकिन एम. ओ. ई. एम. एस. वास्तव में सूक्ष्म प्रौद्योगिकी पर आधारित है जहां एम. ओ. ई. एम. एस. उपकरण बिल्कुल एकीकृत परिपथ की तरह बैच-संसाधित होते हैं, लेकिन यह ऑप्टिकल एम. ई. एम. एस. के लिए ज्यादातर मामलों में सच नहीं है। 1993 में, डॉ. मोटामेदी ने सैन डिएगो में एस. पी. आई. ई. क्रिटिकल रिव्यूज़ ऑफ़ ऑप्टिकल साइंस एंड टेक्नोलॉजी सम्मेलन में एक आमंत्रित भाषण में एम. ई. एम. एस. और माइक्रो-ऑप्टिक्स के शक्तिशाली संयोजन के रूप में पहली बार आधिकारिक तौर पर एम. ओ. ई. एम. एस. की शुरुआत की। इस भाषण में डॉ. मोटामेदी ने नीचे दिए गए आंकड़े का परिचय दिया, यह दिखाने के लिए कि एम. ओ. ई. एम. एस. तीन प्रमुख सूक्ष्म प्रौद्योगिकियों की अंतःक्रिया है; अर्थात् सूक्ष्म-प्रकाशिकी, सूक्ष्म-यांत्रिकी और सूक्ष्म-विद्युत। माइक्रोप्टोमैकेनिकल सिस्टम नैनोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम माइक्रोफैब्रिकेशन माइक्रोस्कैनर संदर्भ ग्रंथ सूची पी. राय-चौधरी (संपादक), एमईएमएस और एमओईएमएस भी देखें। प्रौद्योगिकी और अनुप्रयोग, एस. पी. आई. ई. प्रेस, वाशिंगटन, 2000। ऑप्टिकल एम. ई. एम. एस.: माइक्रोमिरर्स से लेकर जटिल प्रणालियों तक, आई. ई. ई. ई. जर्नल ऑफ माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम्स (2014) ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स