Thin-film thickness monitor
थिन-फिल्म थिकनेस मॉनिटर, डिपोजिशन रेट कंट्रोलर आदि उच्च और अति-उच्च वैक्यूम प्रणालियों में उपयोग किए जाने वाले उपकरणों का एक परिवार है। वे एक पतली परत की मोटाई को माप सकते हैं, न केवल इसे बनाए जाने के बाद, बल्कि जब यह अभी भी जमा किया जा रहा है, और कुछ या तो फिल्म की अंतिम मोटाई, जिस दर पर इसे जमा किया जाता है, या दोनों को नियंत्रित कर सकते हैं। आश्चर्य की बात नहीं है कि प्रक्रिया के कुछ पहलू को नियंत्रित करने वाले उपकरणों को नियंत्रक कहा जाता है, और जो केवल प्रक्रिया की निगरानी करते हैं उन्हें मॉनिटर कहा जाता है। ऐसे अधिकांश उपकरण संवेदक के रूप में क्वार्ट्ज क्रिस्टल सूक्ष्म संतुलन का उपयोग करते हैं। कभी-कभी ऑप्टिकल माप का उपयोग किया जाता है; यह विशेष रूप से उपयुक्त हो सकता है यदि जमा की जा रही फिल्म एक पतली फिल्म ऑप्टिकल उपकरण का हिस्सा है। एक मोटाई मॉनिटर यह मापता है कि इसके संवेदक पर कितनी सामग्री जमा हुई है। अधिकांश निक्षेपण प्रक्रियाएँ कम से कम कुछ हद तक दिशात्मक होती हैं। संवेदक और नमूना आम तौर पर निक्षेपण स्रोत से एक ही दिशा में नहीं हो सकते हैं (यदि वे थे, तो स्रोत के करीब एक दूसरे को छाया देगा), और इससे समान दूरी पर भी नहीं हो सकता है। इसलिए, जिस दर पर संवेदक पर सामग्री जमा की जाती है, वह उस दर के बराबर नहीं हो सकती है जिस दर पर इसे नमूने पर जमा किया जाता है। दोनों दरों के अनुपात को कभी-कभी "उपकरण कारक" कहा जाता है। सावधानीपूर्वक काम करने के लिए, तथ्य के बाद कुछ नमूनों पर जमा की गई सामग्री की मात्रा को मापकर और इसकी तुलना मोटाई मॉनिटर द्वारा मापी गई सामग्री से करके उपकरण कारक की जांच की जानी चाहिए। ऐसा करने के लिए अक्सर फिज़ो इंटरफेरोमीटर का उपयोग किया जाता है। पतली फिल्म की मोटाई और विशेषताओं के आधार पर कई अन्य तकनीकों का उपयोग किया जा सकता है, जिसमें सतह प्रोफाइलर, एलिप्समेट्री, दोहरी ध्रुवीकरण इंटरफेरोमेट्री और नमूने के क्रॉस-सेक्शन की स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी शामिल हैं। कई मोटाई मॉनिटर और नियंत्रक निक्षेपण शुरू होने से पहले उपकरण में उपकरण कारकों को दर्ज करने की अनुमति देते हैं। सही उपकरण कारक की गणना निम्नानुसार की जा सकती हैः जहां फाई प्रारंभिक उपकरण कारक है, टीआई उपकरण द्वारा इंगित फिल्म की मोटाई है, और टीएम जमा फिल्म की वास्तविक, स्वतंत्र रूप से मापी गई मोटाई है। यदि इससे पहले कोई उपकरण कारक पूर्व निर्धारित या उपयोग नहीं किया गया है, तो फाई 1 के बराबर होता है। निर्वात प्रणालियों को मापने वाले उपकरण संदर्भ