Journal of Vacuum Science and Technology
द जर्नल ऑफ वैक्यूम साइंस एंड टेक्नोलॉजी अमेरिकन वैक्यूम सोसाइटी की ओर से अमेरिकन इंस्टीट्यूट ऑफ फिजिक्स द्वारा दो भागों, ए और बी में प्रकाशित एक सहकर्मी-समीक्षित वैज्ञानिक पत्रिका है। इसकी स्थापना 1964 में हुई थी और इसका प्रधान संपादक एरे अयडिल (मिनेसोटा विश्वविद्यालय) है। इतिहास 1964-1982 जर्नल ऑफ वैक्यूम साइंस एंड टेक्नोलॉजी 1983-वर्तमान जर्नल ऑफ वैक्यूम साइंस एंड टेक्नोलॉजी A: जर्नल ऑफ वैक्यूम साइंस एंड टेक्नोलॉजी B: माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स प्रोसेसिंग एंड फेनोमेना 1991-वर्तमान जर्नल ऑफ वैक्यूम साइंस एंड टेक्नोलॉजी B: माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स एंड नैनोमीटर स्ट्रक्चर्स भाग A भाग A में अनुप्रयुक्त सतह विज्ञान, इलेक्ट्रॉनिक सामग्री और प्रसंस्करण, संलयन प्रौद्योगिकी, प्लाज्मा प्रौद्योगिकी, सतह विज्ञान, पतली फिल्में, वैक्यूम धातु विज्ञान और वैक्यूम प्रौद्योगिकी शामिल हैं। जर्नल साइटेशन रिपोर्ट्स के अनुसार, पत्रिका में 2015 का 1.724 का प्रभाव कारक है। भाग बी भाग बी में विभिन्न सामग्रियों के निर्वात और प्लाज्मा प्रसंस्करण, उनके संरचनात्मक लक्षण वर्णन, माइक्रोलिथोग्राफी और सबमाइक्रोमीटर और नैनोमीटर संरचनाओं और उपकरणों के भौतिकी और रसायन विज्ञान शामिल हैं। जर्नल साइटेशन रिपोर्ट्स के अनुसार, पत्रिका में 2014 का 1.398 का प्रभाव कारक है। संदर्भ बाहरी लिंक भौतिकी पत्रिकाएँ अंग्रेजी भाषा की पत्रिकाएँ 1964 में स्थापित शैक्षणिक पत्रिकाएँ द्विमासिक पत्रिकाएँ अमेरिकी भौतिकी संस्थान शैक्षणिक पत्रिकाएँ