MEMS testing
एम. ई. एम. एस. परीक्षण एम. ई. एम. एस. उपकरण के विकास की प्रक्रियाओं में से एक है। यह विद्युत, यांत्रिक और पर्यावरण परीक्षणों जैसी परीक्षण विधियों का एक संग्रह है। प्रेरणा इलेक्ट्रॉनिक बाजार को देखते समय यह स्पष्ट हो जाता है, क्योंकि एम. ई. एम. एस. के लिए ग्राहकों की नजरों में विश्वास पैदा करने के लिए उत्पादन उत्पादन, उच्च प्रणाली प्रदर्शन, उत्पाद विश्वसनीयता और लंबे जीवन चक्र की आवश्यकता होती है। यदि उन शर्तों को पूरा नहीं किया जाता है तो ग्राहक एम. ई. एम. एस. का उपयोग करने वाली प्रौद्योगिकियों में निवेश नहीं करेंगे, जो उच्च गुणवत्ता मानक के एक भाग के रूप में परीक्षण की आवश्यकता को उचित ठहराता है। किफायती दृष्टिकोण से भी परीक्षण काफी महत्वपूर्ण है। जैसा कि कहा जाता है कि विफलता लागत की खोज होने से पहले प्रत्येक चरण के लिए दस के कारक से वृद्धि होती है। अधिकांश एम. ई. एम. एस. उत्पादक अपने उत्पादों की दो अलग-अलग चरणों (वेफर स्तर और पैकेजिंग पर) के साथ-साथ प्रत्येक चरण पर यादृच्छिक नमूने की जांच करते हैं। यदि कोई इसे एम. ई. एम. एस. उपकरण के लिए लागत गणना में शामिल करता है तो परीक्षण की लागत समग्र इकाई लागत के 20-50% के बराबर होती है। एम. ई. एम. एस. और सी. एम. ओ. एस. उपकरणों का निर्माण करने वाले उत्पादकों को देखते हुए भी परीक्षण के लिए स्कोप प्रभाव की अर्थव्यवस्था को दोनों प्रकार के उपकरणों के रूप में शामिल करके लागत को कम करना वास्तव में संभव नहीं है। ऐसा इसलिए है क्योंकि भले ही लगभग 80 प्रतिशत प्रसंस्करण साझा किया जाता है, लेकिन केवल 20 प्रतिशत परीक्षण किए जाते हैं। अमेरिकी निर्माताओं के लिए इन लागतों को कम करने के लिए राष्ट्रीय मानक और प्रौद्योगिकी संस्थान (एन. आई. एस. टी.) ने इस मुद्दे से निपटने और अमेरिकी कंपनियों की प्रतिस्पर्धा बढ़ाने के लिए कई कार्यशालाओं और प्रश्नावली का आयोजन किया। क्या परीक्षण किया जाता है? एम. ई. एम. एस. की व्यापक विविधता के कारण यह बहुत विशिष्ट होना मुश्किल है क्योंकि नीचे दी गई तालिका से पता चलता है कि सामान्य रूप से क्या परीक्षण किया जाता हैः एम. ई. एम. एस. का परीक्षण करने के लिए विभिन्न तकनीकें शोधकर्ता विभिन्न प्रकार की तकनीकों के साथ आए जो कुछ मूल्यों को प्रदर्शित कर सकते हैं। हालाँकि, ऐसी कोई एकल तकनीक नहीं है जो सभी को शामिल कर सके; प्रत्येक की ताकत के साथ-साथ कमजोरियाँ भी हैं। एम. ई. एम. एस. परीक्षण में नियोजित सभी प्रमुख और कुछ छोटी तकनीकों की सूची नीचे दी गई हैः परमाणु बल सूक्ष्मदर्शी (ए. एफ. एम.) कॉन्फोकल सूक्ष्मदर्शी (सी. एम.) डिजिटल होलोग्राफिक सूक्ष्मदर्शी (डी. एच. एम.) लेजर डॉप्लर वाइब्रोमीटर (एल. डी. वी.) ऑप्टिकल सूक्ष्मदर्शी (ओ. एम.) स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन सूक्ष्मदर्शी (एस. ई. एम.) स्ट्रोबोस्कोपिक वीडियो सूक्ष्मदर्शी (एस. वी. एम.) व्हाइट लाइट इंटरफेरोमेट्री (डब्ल्यू. एल. आई.) निम्नलिखित तकनीकों के साथ प्रयोग किया गया था लेकिन अब एम. ई. एम. एस. परीक्षण के लिए उन पर विचार नहीं किया जाता हैः बीम विक्षेपण इलेक्ट्रॉनिक स्पेकल पैटर्न इंटरफेरोमेट्री (ई. एस. पी. आई.) एलिप्समेट्री लाइट स्कैटरिंग स्पेक्ट्रोस्कोपी इन सभी तकनीकों की ताकत और कमजोरियां हैं, ताकि प्रभावशीलता को अधिकतम किया जा सके। उदाहरण के लिए यू. सी. बर्कले के पूर्व शोधकर्ता क्रिश्चियन रेम्बे ने प्रत्येक प्रौद्योगिकी की कमजोरी को दूर करने के लिए लेजर डॉप्लर वाइब्रोमेट्री, व्हाइट लाइट इंटरफेरोमेट्री और स्ट्रोब वीडियो माइक्रोस्कोपी को एक उपकरण में जोड़ा। संदर्भ सूक्ष्म प्रौद्योगिकी गैर-विनाशकारी परीक्षण वैज्ञानिक उपकरण