SEM-XRF
एस. ई. एम.-एक्स. आर. एफ. एक स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप (एस. ई. एम.) में एक (आमतौर पर माइक्रो-फोकस) एक्स-रे जनरेटर (एक्स-रे स्रोत) जोड़ने के लिए एक स्थापित तकनीकी शब्द है। स्मॉल-स्पॉट लो-पावर एक्स-रे ट्यूबों और पॉलीकेपिलरी एक्स-रे ऑप्टिक्स के क्षेत्र में तकनीकी प्रगति ने कॉम्पैक्ट माइक्रो-फोकस एक्स-रे स्रोतों के विकास को सक्षम बनाया है जिन्हें ऊर्जा-फैलाव एक्स-रे स्पेक्ट्रोस्कोपी (ईडीएस, ईडीएक्स, ईडीएक्सएस या एक्सईडीएस) के लिए सुसज्जित एसईएम से जोड़ा जा सकता है। जैसा कि दाईं ओर की छवि में दिखाया गया है, जब माइक्रो-फोकस एक्स-रे प्रतिदीप्ति (माइक्रोएक्सआरएफ) को एसईएम के साथ किया जाता है, तो योग्यता के मौलिक विश्लेषणात्मक आंकड़ों को उस बिंदु तक बढ़ाया जाता है जहां ट्रेस स्तर की मात्रा और थोक विश्लेषण संभव हैं। क्रमशः इलेक्ट्रॉनों और फोटॉनों के साथ उत्तेजित एक्स-रे स्पेक्ट्रा से प्राप्त विश्लेषणात्मक जानकारी को मिलाकर, कम और उच्च परमाणु संख्या के मुख्य तत्वों के साथ-साथ अनुरेखण तत्वों का विश्लेषण किया जा सकता है-हालांकि विभिन्न स्थानिक संकल्पों के साथ। 1986 में, सैंडिया और लॉरेंस लिवरमोर नेशनल लैब्स ने एक्स-रे माइक्रो-फ्लोरोसेंस को प्रभावित करने वाले मापदंडों के बारे में एक पेपर (केवेक्स कॉर्पोरेशन के साथ) का सह-लेखन किया। 1988 में एक अनुवर्ती कार्रवाई के रूप में, क्रॉस एंड वेरी ने एक एक्स-रे माइक्रो-फ्लोरोसेंस विश्लेषक का वर्णन किया जो एक्स-रे फ्लोरोसेंस की गैर-विनाशकारी विश्लेषणात्मक विधि को अपेक्षाकृत छोटे स्थानिक भेदभाव (50 माइक्रोन से कम) के साथ जोड़ता है जैसे कि संरचना (रसायन विज्ञान), मोटाई और सूक्ष्म-संरचनात्मक माप कुछ सेकंड में विभिन्न प्रकार की विषम सामग्री पर किए जा सकते हैं। यह दिखाया गया कि, एक्स-वाई चरण के साथ नमूनों को स्कैन करके, मात्रात्मक या गुणात्मक सूक्ष्म-संरचनात्मक जानकारी एकत्र की जा सकती है। इन दोनों शोधपत्रों ने एस. ई. एम. के साथ माइक्रो-एक्स-रे प्रतिदीप्ति के आने वाले एकीकरण का पूर्वावलोकन प्रदान किया। 1991 तक, पॉज़्सगाई ने एस. ई. एम. संदर्भ में एक्स-रे सूक्ष्म-प्रतिदीप्ति विश्लेषण करने की संभावनाओं का विवरण देते हुए एक समीक्षा लेख प्रकाशित किया। मुख्य दृष्टिकोणों में एक इलेक्ट्रॉन सूक्ष्मदर्शी के इलेक्ट्रॉन ऑप्टिकल कॉलम को एक संचरण एक्स-रे ट्यूब में परिवर्तित करना, सूक्ष्म-केंद्रित एक्स-रे ट्यूबों का उपयोग करना, केशिका तकनीकों के साथ एक्स-रे ट्यूबों का संयोजन करना, साथ ही एक्स-रे ट्यूबों को मोनोक्रोमेटरों के साथ जोड़ना और सिंक्रोट्रॉन विकिरण लागू करना शामिल था। एस. ई. एम.-एक्स. आर. एफ. का पहली बार मार्च 2005 में आई. एक्स. आर. एफ. सिस्टम्स (ऑस्टिन, टी. एक्स.) द्वारा व्यावसायीकरण किया गया था। ब्रुकर कॉर्पोरेशन (बिलेरिका, एमए) ने अगस्त 2013 में इसका अनुसरण किया। संदर्भ बाहरी लिंक एक एस. ई. एम. पर ईडी-ई. पी. एम. ए., डब्ल्यू. डी.-ई. पी. एम. ए. और एम. यू.-एक्स. आर. एफ. के साथ उन्नत मौलिक विश्लेषण। वी. डी. होडोरोबा और अन्य। सूक्ष्मदर्शी और सूक्ष्म विश्लेषण 17:600-601, जुलाई 2011। एस. ई. एम.-ई. डी. एस. और माइक्रो-एक्स. आर. एफ.-एस. ई. एम. द्वारा कार्बन-लेपित शेरड पर लौह-आधारित मिट्टी के बर्तनों के वर्णक का पता लगाने की तुलना। माइकल पेंडलेटन और अन्य। द येल जर्नल ऑफ बायोलॉजी एंड मेडिसिन। 87 (1): 15-20, मार्च 2014। एस. ई. एम. में सूक्ष्म-एक्स. आर. एफ. उत्तेजना। एम. हैश्के, एफ. एगर्ट और डब्ल्यू. टी. एलम। एक्स-रे स्पेक्ट्रोमेट्री। खण्ड. 36, नं. 4, पृ. 254-259 (2007)। स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप में माइक्रो-एक्स. आर. एफ. माइकल हैश्के और स्टीफन बोहम। इमेजिंग और इलेक्ट्रॉन भौतिकी में प्रगति। खण्ड. 199, पी 1-60, (2017)। प्रयोगशाला स्रोतों के साथ कोण-हल एक्स-रे प्रतिदीप्ति स्पेक्ट्रोमेट्री के लिए एक लचीला सेटअप। एम. स्पैनियर, सी. हर्जोग, डी. ग्रोट्ज़्श, एफ. क्रैमर, आई. मंटौवालौ, जे. लुबेक, जे. वेसर, सी. स्ट्रीक, डब्ल्यू. मालज़र, बी. बेखॉफ़, बी. कैंगीसर। वैज्ञानिक उपकरणों की समीक्षा, खंड 87, संख्या 3, (035108), (2016)। माइकल हैश्के, प्रयोगशाला माइक्रो-एक्स-रे फ्लोरोसेंस स्पेक्ट्रोस्कोपी, वॉल्यूम। 55 (2014)। सूक्ष्म एक्स-रे प्रतिदीप्ति का उपयोग करके पर्यावरण विज्ञान में रुझान। उर्सुला एलिजाबेथ एड्रियन फिट्सचेन और गेराल्ड फाल्केनबर्ग। स्पेक्ट्रोचिमिका एक्टा पार्ट बीः एटॉमिक स्पेक्ट्रोस्कोपी, वॉल्यूम 66, नंबर 8, पी 567-580 (2011)। स्कैटर स्पेक्ट्रा की गणना के साथ युग्मन माप द्वारा एस. ई. एम. पर माइक्रो-फोकस एक्स. आर. एफ. के लिए एक्स-रे लेंस के वास्तविक संचरण का निर्धारण। वी.-डी. होडोरोबा एंड एम. प्रोकोप। एक्स-रे स्पेक्ट्रोमेट्री, खंड 38, संख्या 3, पी 216-221, (2009)। एस. ई. एम. प्रोकोप, माथियास आदि के साथ एक्स. आर. एफ. विश्लेषण के लिए माइक्रो-फोकस एक्स-रे स्रोत के कम ऊर्जा प्रदर्शन में सुधार। एक्स-रे स्पेक्ट्रोमेट्रीः एन इंटरनेशनल जर्नल 38.4 (2009): 308-311। एस. ई. एम. में बेहतर ई. डी. एस. और एक्स. आर. एफ. विश्लेषण के लिए एक माइक्रोफोकस एक्स-रे स्रोत। प्रोकोप, मथियास, वसीले-डैन होडोरोबा और वैनेसा रैकविट्ज़। सूक्ष्मदर्शी और विश्लेषण/यूरोपीय संस्करण। पी 10-13 (मई, 2011)। स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के लिए एक अतिरिक्त विश्लेषणात्मक विधि के रूप में एक्स-रे प्रतिदीप्ति। प्रोकोप, एम., होडोरोबा, वी. माइक्रोचिम एक्टा खंड 161, पी 413-419 (2008)। एक्स. आर. एफ. विश्लेषण में कॉम्पटन-से-रेले तीव्रता अनुपात के दोहन द्वारा बेहतर रासायनिक संरचना प्राप्त करना। होडोरोबा, वसीले-डैन और वैनेसा रैकविट्ज़। विश्लेषणात्मक रसायन विज्ञान 86.14 (2014): 6858-6864। पेंडलटन, एम. डब्ल्यू., आदि। एस. ई. एम.-ई. डी. एस. और माइक्रो-एक्स. आर. एफ.-एस. ई. एम. द्वारा रुथेनियम-लेपित पुरातात्विक मिट्टी के बर्तनों पर लोहे आधारित वर्णकों का पता लगाना। सूक्ष्मदर्शी और सूक्ष्म विश्लेषण 20.S3 (2014): 2030-2031। रैकविट्ज़, वैनेसा आदि। आर. ओ. एच. एस. संबंधित तत्वों के उदाहरण पर ट्रेस विश्लेषण के लिए एस. ई. एम./ई. डी. एस. के साथ एम. यू.-एक्स. आर. एफ. का प्रदर्शन-मापन, अनुकूलन और पता लगाने की सीमा की भविष्यवाणी। जर्नल ऑफ एनालिटिकल एटॉमिक स्पेक्ट्रोमेट्री 28.9 (2013): 1466-1474। सीबर, जॉन आर. और एडम मोर्टेंसन। "उच्च-विश्वसनीयता अनुप्रयोगों में सोल्डर के लिए एक्स. आर. एफ. और एस. ई. एम.-ई. डी. एस. मौलिक विश्लेषण परिणामों का सत्यापन और पता लगाने की क्षमता।" एक्स-रे स्पेक्ट्रोमेट्री 43.5 (2014): 259-268। सूक्ष्म एक्स. आर. एफ. तत्व मानचित्र इलेक्ट्रॉन बीम द्वारा उत्पादित कोरोलरी की तुलना में कम सांद्रता पर तत्वों का पता लगाने का एक नया तरीका हैः एक गार्नेट शिस्ट उदाहरण। "सूक्ष्मदर्शी और सूक्ष्म विश्लेषण 15.S2 (2009): 34-35। वाणिज्यिक लिंक दो वाणिज्यिक विक्रेता इस तकनीक की पेशकश करते हैंः एक्सबी माइक्रो-एक्सआरएफ क्वांटैक्स माइक्रो-एक्सआरएफ इलेक्ट्रॉन सूक्ष्मदर्शी तकनीक