Thin-film thickness monitor
પાતળા-ફિલ્મ જાડાઈ મોનિટર, જમા દર નિયંત્રકો, અને તેથી વધુ, ઉચ્ચ અને અતિ-ઉચ્ચ વેક્યૂમ પ્રણાલીઓમાં ઉપયોગમાં લેવાતા સાધનોનો એક પરિવાર છે. તેઓ પાતળા આવરણની જાડાઈને માપી શકે છે, માત્ર તેને બનાવ્યા પછી જ નહીં, પરંતુ જ્યારે તે હજુ પણ જમા થઈ રહી હોય ત્યારે પણ, અને કેટલાક તો આવરણની અંતિમ જાડાઈ, તે જે દરે જમા થાય છે, અથવા બંનેને નિયંત્રિત કરી શકે છે. આશ્ચર્યજનક નથી કે, જે ઉપકરણો પ્રક્રિયાના કેટલાક પાસાને નિયંત્રિત કરે છે તેને નિયંત્રકો કહેવામાં આવે છે, અને જે ફક્ત પ્રક્રિયાને મોનિટર કરે છે તેને મોનિટર કહેવામાં આવે છે. આવા મોટાભાગના સાધનો સેન્સર તરીકે ક્વાર્ટઝ સ્ફટિક સૂક્ષ્મ સંતુલનનો ઉપયોગ કરે છે. કેટલીકવાર ઓપ્ટિકલ માપનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે; આ ખાસ કરીને યોગ્ય હોઈ શકે છે જો જમા કરવામાં આવતી ફિલ્મ પાતળા ફિલ્મ ઓપ્ટિકલ ઉપકરણનો ભાગ હોય. જાડાઈ મોનિટર તેના સેન્સર પર કેટલી સામગ્રી જમા થાય છે તે માપે છે. મોટાભાગની જમા કરવાની પ્રક્રિયાઓ ઓછામાં ઓછી કંઈક અંશે દિશાસૂચક હોય છે. સંવેદક અને નમૂના સામાન્ય રીતે જુબાની સ્ત્રોતથી એક જ દિશામાં ન હોઈ શકે (જો તે હોય, તો સ્રોતની નજીકની એક બાજુ બીજાની છાયા પાડશે), અને તેનાથી સમાન અંતરે પણ ન હોઈ શકે. તેથી, સેન્સર પર જે દરે સામગ્રી જમા કરવામાં આવે છે તે નમૂના પર જે દરે જમા કરવામાં આવે છે તે સમાન ન પણ હોઈ શકે. બે દરના ગુણોત્તરને કેટલીકવાર "ટૂલિંગ ફેક્ટર" કહેવામાં આવે છે. સાવચેતીપૂર્વક કામ કરવા માટે, હકીકત પછી કેટલાક નમૂનાઓ પર જમા થયેલી સામગ્રીની માત્રાને માપવા અને જાડાઈ મોનિટર દ્વારા માપવામાં આવેલી સામગ્રી સાથે તેની સરખામણી કરીને ટૂલિંગ પરિબળને તપાસવું જોઈએ. આ કરવા માટે ઘણીવાર ફિઝો ઇન્ટરફેરોમીટરનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. પાતળા પડની જાડાઈ અને લાક્ષણિકતાઓના આધારે અન્ય ઘણી તકનીકોનો ઉપયોગ કરી શકાય છે, જેમાં સપાટીના રૂપરેખાઓ, લંબગોળ, દ્વિ ધ્રુવીકરણ ઇન્ટરફેરોમેટ્રી અને નમૂનાના ક્રોસ-સેક્શનની સ્કેનિંગ ઇલેક્ટ્રોન માઇક્રોસ્કોપીનો સમાવેશ થાય છે. ઘણા જાડાઈ મોનિટર અને નિયંત્રકો જુબાની શરૂ થાય તે પહેલાં ઉપકરણમાં ટૂલિંગ પરિબળોને દાખલ કરવાની મંજૂરી આપે છે. યોગ્ય સાધનસામગ્રી પરિબળની ગણતરી નીચે મુજબ કરી શકાય છેઃ જ્યાં ફાઈ એ પ્રારંભિક સાધનસામગ્રી પરિબળ છે, ટીઆઈ એ સાધન દ્વારા દર્શાવવામાં આવેલી ફિલ્મ જાડાઈ છે, અને ટીએમ એ જમા થયેલી ફિલ્મની વાસ્તવિક, સ્વતંત્ર રીતે માપવામાં આવેલી જાડાઈ છે. જો કોઈ ટૂલિંગ પરિબળ અગાઉથી સેટ કરવામાં આવ્યું નથી અથવા તેનો ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો નથી, તો Fi એ 1 બરાબર છે. વેક્યુમ પ્રણાલીઓને માપતા સાધનોના સંદર્ભો