Journal of Vacuum Science and Technology
ધ જર્નલ ઓફ વેક્યૂમ સાયન્સ એન્ડ ટેક્નોલોજી એ અમેરિકન વેક્યૂમ સોસાયટી વતી અમેરિકન ઇન્સ્ટિટ્યૂટ ઓફ ફિઝિક્સ દ્વારા બે ભાગોમાં પ્રકાશિત થયેલ પીઅર-રીવ્યૂ વૈજ્ઞાનિક જર્નલ છે, એ અને બી. તેની સ્થાપના 1964માં કરવામાં આવી હતી અને મુખ્ય સંપાદક એરે આયડિલ (યુનિવર્સિટી ઓફ મિનેસોટા) છે. ઇતિહાસ 1964-1982 જર્નલ ઓફ વેક્યૂમ સાયન્સ એન્ડ ટેકનોલોજી 1983-વર્તમાન જર્નલ ઓફ વેક્યૂમ સાયન્સ એન્ડ ટેકનોલોજી A: જર્નલ ઓફ વેક્યૂમ સાયન્સ એન્ડ ટેકનોલોજી B: માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ પ્રોસેસિંગ એન્ડ ફેનોમેના 1991-વર્તમાન જર્નલ ઓફ વેક્યૂમ સાયન્સ એન્ડ ટેકનોલોજી B: માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ એન્ડ નેનોમીટર સ્ટ્રક્ચર્સ ભાગ A ભાગ A લાગુ સપાટી વિજ્ઞાન, ઇલેક્ટ્રોનિક સામગ્રી અને પ્રક્રિયા, ફ્યુઝન ટેકનોલોજી, પ્લાઝ્મા ટેકનોલોજી, સપાટી વિજ્ઞાન, પાતળી ફિલ્મો, વેક્યૂમ ધાતુશાસ્ત્ર અને વેક્યૂમ ટેકનોલોજીને આવરી લે છે. જર્નલ સાઇટેશન રિપોર્ટ્સ અનુસાર, જર્નલમાં 2015નું 1.724 નું ઈમ્પૅક્ટ ફેક્ટર છે. ભાગ બી ભાગ બી વિવિધ સામગ્રીઓની વેક્યૂમ અને પ્લાઝ્મા પ્રક્રિયા, તેમની માળખાકીય લાક્ષણિકતા, માઇક્રોલિથોગ્રાફી અને સબમાઇક્રોમીટર અને નેનોમીટર માળખાઓ અને ઉપકરણોના ભૌતિકશાસ્ત્ર અને રસાયણશાસ્ત્રને આવરી લે છે. જર્નલ સાઇટેશન રિપોર્ટ્સ અનુસાર, જર્નલમાં 2014નું 1.398 નું ઈમ્પૅક્ટ ફેક્ટર છે. સંદર્ભો બાહ્ય કડીઓ ભૌતિકશાસ્ત્ર સામયિકો અંગ્રેજી ભાષાના સામયિકો 1964માં સ્થાપિત શૈક્ષણિક સામયિકો દ્વિમાસિક સામયિકો અમેરિકન ઇન્સ્ટિટ્યૂટ ઓફ ફિઝિક્સ શૈક્ષણિક સામયિકો