Overlay control
સિલિકોન વેફર ઉત્પાદનમાં ઓવરલે નિયંત્રણ એ સિલિકોન વેફર્સના ઉત્પાદનમાં જરૂરી પેટર્ન-ટુ-પેટર્ન સંરેખણનું નિયંત્રણ છે. સિલિકોન વેફર્સ હાલમાં પગલાંના ક્રમમાં બનાવવામાં આવે છે, દરેક તબક્કે વેફર પર સામગ્રીની પેટર્ન મૂકવામાં આવે છે; આ રીતે ટ્રાન્ઝિસ્ટર, સંપર્કો, વગેરે, બધા વિવિધ સામગ્રીથી બનેલા હોય છે. અંતિમ ઉપકરણ યોગ્ય રીતે કાર્ય કરે તે માટે, આ અલગ પેટર્ન યોગ્ય રીતે ગોઠવવી આવશ્યક છે-ઉદાહરણ તરીકે સંપર્કો, રેખાઓ અને ટ્રાન્ઝિસ્ટર બધાએ લાઇન અપ કરવું આવશ્યક છે. ઓવરલે કંટ્રોલ હંમેશા સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે, જે મલ્ટી-લેયર ડિવાઇસ સ્ટ્રક્ચર્સ પર લેયર-ટુ-લેયર સંરેખણનું નિરીક્ષણ કરવામાં મદદ કરે છે. કોઈપણ પ્રકારની ખોટી ગોઠવણી શોર્ટ સર્કિટ અને જોડાણની નિષ્ફળતાનું કારણ બની શકે છે, જે બદલામાં ફેબ યીલ્ડ અને નફાના માર્જિનને અસર કરે છે. ઓવરલે નિયંત્રણ હવે વધુ જટિલ બની ગયું છે કારણ કે વધતી પેટર્ન ઘનતા અને બેવડી પેટર્ન અને 193 એનએમ નિમજ્જન લિથોગ્રાફી જેવી નવીન તકનીકોનું સંયોજન 45 એનએમ ટેકનોલોજી નોડ અને નીચે પેટર્ન આધારિત ઉપજ પડકારોનો એક નવો સમૂહ બનાવે છે. આ સંયોજન ભૂલ બજેટને ડિઝાઇન નિયમોના 30 ટકાથી નીચે સંકોચવાનું કારણ બને છે, જ્યાં હાલના ઓવરલે મેટ્રોલોજી સોલ્યુશન્સ કુલ માપન અનિશ્ચિતતા (TMU) જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકતા નથી. વધુને વધુ સખત ઓવરલે બજેટને સંબોધિત કરતી વખતે ઉચ્ચ માપન ચોકસાઈ/ચોકસાઇ અને પ્રક્રિયા મજબૂતાઈ બંને સાથે ઓવરલે મેટ્રોલોજી સોલ્યુશન્સ મુખ્ય પરિબળો છે. સફળ ઉત્પાદન રેમ્પ્સ અને 45 એનએમ અને તેનાથી વધુની ઊંચી ઉપજ માટે નાના, માઇક્રો-ગ્રેટિંગ અથવા અન્ય નવીન લક્ષ્યાંકોનો ઉપયોગ કરીને ઉચ્ચ ક્રમ ઓવરલે નિયંત્રણ અને ઇન-ફિલ્ડ મેટ્રોલોજી આવશ્યક બની રહી છે. વિશ્વભરમાં વ્યાપકપણે અપનાવવામાં આવેલા ઓવરલે માપન સાધનોના ઉદાહરણોમાં કે. એલ. એ.-ટેનકોરનું આર્ચર અને નેનોમેટ્રિક્સ કેલિપર શ્રેણી, ઓવરલે મેટ્રોલોજી પ્લેટફોર્મ છે. સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ બનાવટ