Microoptoelectromechanical systems
মাইক্রোপ্টোইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেম (এমওইএমএস), যা অপটিক্যাল এমইএমএস নামেও পরিচিত, যান্ত্রিক, অপটিক্যাল এবং বৈদ্যুতিক ব্যবস্থার সংহতকরণ যা খুব ছোট আকারে অপটিক্যাল সংকেতগুলি সংবেদন বা পরিচালনা করে। এমওইএমএস-এ বিভিন্ন ধরনের যন্ত্র রয়েছে, উদাহরণস্বরূপ অপটিক্যাল সুইচ, অপটিক্যাল ক্রস-কানেক্ট, টিউনেবল ভি. সি. এস. ই. এল, মাইক্রোবোলোমিটার। এই যন্ত্রগুলি সাধারণত সিলিকন, সিলিকন ডাই অক্সাইড, সিলিকন নাইট্রাইড এবং গ্যালিয়াম আর্সেনাইডের মতো উপকরণ ব্যবহার করে মাইক্রো-অপটিক্স এবং স্ট্যান্ডার্ড মাইক্রো মেশিন প্রযুক্তি ব্যবহার করে তৈরি করা হয়। এমওইএমএস-এর মধ্যে দুটি প্রধান প্রযুক্তি রয়েছে, মাইক্রোইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেম এবং মাইক্রো-অপটিক্স। এই দুটি প্রযুক্তিই স্বাধীনভাবে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটের মতো ব্যাচ প্রসেসিং এবং মাইক্রোসেন্সর তৈরির মতো মাইক্রোমেচিনিংয়ের সাথে জড়িত। এমওইএমএস-এর ইতিহাস মাইক্রো-ইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেম এবং মাইক্রো-অপটিক্স উভয় ক্ষেত্রেই রকওয়েল ইন্টারন্যাশনালের প্রাক্তন উদ্ভাবক ডঃ এম এডওয়ার্ড মোতামেদি মাইক্রো-ইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেমের জন্য এমওইএমএস-এর সংক্ষিপ্ত রূপটি অভ্যন্তরীণভাবে ব্যবহার করেছিলেন। এটি অপটিক্যাল এম. ই. এম. এস এবং এম. ও. ই. এম. এস-এর মধ্যে পার্থক্য করার জন্য ছিল, যেখানে অপটিক্যাল এম. ই. এম. এস-এ বাল্ক অপটিক্স অন্তর্ভুক্ত থাকতে পারে তবে এম. ও. ই. এম. এস প্রকৃতপক্ষে মাইক্রোটেকনোলজির উপর ভিত্তি করে যেখানে এম. ও. ই. এম. এস ডিভাইসগুলি ঠিক ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটের মতো ব্যাচ-প্রসেস করা হয়, তবে এটি অপটিক্যাল এম. ই. এম. এস-এর ক্ষেত্রে বেশিরভাগ ক্ষেত্রে সত্য নয়। 1993 সালে, ডঃ মোতামেদি সান দিয়েগোতে এস. পি. আই. ই ক্রিটিক্যাল রিভিউ অফ অপটিক্যাল সায়েন্স অ্যান্ড টেকনোলজি কনফারেন্সে আমন্ত্রিত বক্তৃতায় এম. ই. এম. এস এবং মাইক্রো-অপটিক্সের শক্তিশালী সংমিশ্রণ হিসাবে আনুষ্ঠানিকভাবে এম. ও. ই. এম. এস চালু করেন। এই বক্তৃতায় ডঃ মোতামেদি নীচের চিত্রটি উপস্থাপন করেছেন, এটি দেখানোর জন্য যে এমওইএমএস হল তিনটি প্রধান মাইক্রোটেকনোলজির মিথস্ক্রিয়া; যথা মাইক্রো-অপটিক্স, মাইক্রোমেকানিক এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স। আরও দেখুন মাইক্রো অপ্টোমেকানিকাল সিস্টেম ন্যানো ইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেম মাইক্রোফ্যাব্রিকেশন মাইক্রোস্ক্যানার রেফারেন্স গ্রন্থপঞ্জি পি. রাই-চৌধুরী (সম্পাদক), এমইএমএস এবং এমওইএমএস। প্রযুক্তি ও প্রয়োগ, এসপিআইই প্রেস, ওয়াশিংটন, 2000। অপটিক্যাল এমইএমএসঃ মাইক্রোমিরার থেকে জটিল সিস্টেম পর্যন্ত, আই. ই. ই. ই জার্নাল অফ মাইক্রোইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেমস (2014) অপ্টোইলেক্ট্রনিক্স