Microelectromechanical system oscillator
মাইক্রোইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেম অসিলেটর (এম. ই. এম. এস অসিলেটর) হল এমন যন্ত্র যা সময় পরিমাপের জন্য অত্যন্ত স্থিতিশীল রেফারেন্স ফ্রিকোয়েন্সি তৈরি করে (বৈদ্যুতিন সিস্টেমগুলির ক্রম, তথ্য স্থানান্তর পরিচালনা, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি সংজ্ঞায়িত করতে এবং অতিবাহিত সময় পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়)। এমইএমএস দোলকগুলিতে ব্যবহৃত মূল প্রযুক্তিগুলি 1960-এর দশকের মাঝামাঝি থেকে বিকাশে রয়েছে, তবে 2006 সাল থেকে কেবল বাণিজ্যিক প্রয়োগের জন্য যথেষ্ট উন্নত হয়েছে। এমইএমএস দোলকগুলি এমইএমএস অনুরণকগুলিকে অন্তর্ভুক্ত করে, যা মাইক্রোইলেক্ট্রোমেকানিকাল কাঠামো যা স্থিতিশীল ফ্রিকোয়েন্সি সংজ্ঞায়িত করে। এম. ই. এম. এস ক্লক জেনারেটর হল এম. ই. এম. এস টাইমিং ডিভাইস যা সিস্টেমের জন্য একাধিক আউটপুট সহ যা একক রেফারেন্স ফ্রিকোয়েন্সির চেয়ে বেশি প্রয়োজন। এমইএমএস দোলকগুলি পুরানো, আরও প্রতিষ্ঠিত কোয়ার্টজ স্ফটিক দোলকগুলির একটি বৈধ বিকল্প, যা কম্পন এবং যান্ত্রিক শকের বিরুদ্ধে আরও ভাল স্থিতিস্থাপকতা এবং তাপমাত্রার পরিবর্তনের ক্ষেত্রে নির্ভরযোগ্যতা প্রদান করে। এম. ই. এম. এস টাইমিং ডিভাইস রেজোনেটর এম. ই. এম. এস রেজোনেটর হল ছোট তড়িৎ-যান্ত্রিক কাঠামো যা উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সিতে কম্পন করে। এগুলি টাইমিং রেফারেন্স, সিগন্যাল ফিল্টারিং, মাস সেন্সিং, বায়োলজিক্যাল সেন্সিং, মোশন সেন্সিং এবং অন্যান্য বৈচিত্র্যময় প্রয়োগের জন্য ব্যবহৃত হয়। এই নিবন্ধটি ফ্রিকোয়েন্সি এবং টাইমিং রেফারেন্সগুলিতে তাদের প্রয়োগের সাথে সম্পর্কিত। ফ্রিকোয়েন্সি এবং টাইমিং রেফারেন্সের জন্য, এম. ই. এম. এস রেজোনেটরগুলি ইলেকট্রনিক সার্কিটের সাথে সংযুক্ত থাকে, যা প্রায়শই টেকসই পরিবর্ধক নামে পরিচিত, যাতে এগুলি অবিচ্ছিন্ন গতিতে চালিত হয়। বেশিরভাগ ক্ষেত্রে এই সার্কিটগুলি অনুরণকগুলির কাছাকাছি এবং একই শারীরিক প্যাকেজে অবস্থিত। অনুরণকগুলি চালানোর পাশাপাশি, এই সার্কিটগুলি ডাউনস্ট্রিম ইলেকট্রনিক্সের জন্য আউটপুট সংকেত তৈরি করে। প্রচলিত নিয়মে, দোলক শব্দটি সাধারণত ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (আইসি) বোঝায় যা একক আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি সরবরাহ করে। এমইএমএস দোলকগুলির মধ্যে এমইএমএস অনুরণক, টেকসই অ্যাম্পস এবং তাদের আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি সেট বা সামঞ্জস্য করার জন্য অতিরিক্ত ইলেকট্রনিক্স অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। এই সার্কিটগুলিতে প্রায়শই ফেজ লক লুপ (পি. এল. এল) থাকে যা আপস্ট্রিম এম. ই. এম. এস রেফারেন্স ফ্রিকোয়েন্সি থেকে নির্বাচনযোগ্য বা প্রোগ্রামেবল আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি তৈরি করে। এমইএমএস দোলকগুলি সাধারণত 4-বা 6-পিন আইসি হিসাবে পাওয়া যায় যা প্রিন্টেড সার্কিট বোর্ড (পিসিবি) সোল্ডার পদচিহ্নগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ যা পূর্বে কোয়ার্টজ স্ফটিক দোলকগুলির জন্য মানসম্মত ছিল। ক্লক জেনারেটর শব্দটি সাধারণত একাধিক আউটপুট সহ একটি টাইমিং আই. সি বোঝায়। এই প্রথা অনুসরণ করে, এমইএমএস ক্লক জেনারেটরগুলি বহু-আউটপুট এমইএমএস টাইমিং ডিভাইস। এগুলি জটিল বৈদ্যুতিন ব্যবস্থায় সময় সংকেত সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয় যার জন্য একাধিক ফ্রিকোয়েন্সি বা ঘড়ির পর্যায় প্রয়োজন। উদাহরণস্বরূপ, বেশিরভাগ কম্পিউটারে প্রসেসরের সময়, ডিস্ক আই/ও, সিরিয়াল আই/ও, ভিডিও জেনারেশন, ইথারনেট আই/ও, অডিও রূপান্তর এবং অন্যান্য কাজের জন্য স্বাধীন ঘড়ির প্রয়োজন হয়। ঘড়ি জেনারেটরগুলি সাধারণত তাদের প্রয়োগের জন্য বিশেষায়িত হয়, যার মধ্যে রয়েছে ফ্রিকোয়েন্সিগুলির সংখ্যা এবং নির্বাচন, বিভিন্ন সহায়ক বৈশিষ্ট্য এবং প্যাকেজ কনফিগারেশন। এগুলিতে প্রায়শই একাধিক আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি বা পর্যায় তৈরি করতে একাধিক পিএলএল অন্তর্ভুক্ত থাকে। রিয়েল-টাইম ঘড়ি এমইএমএস রিয়েল-টাইম ঘড়ি (আরটিসি) হল আইসি যা দিন এবং তারিখের সময় ট্র্যাক করে। এগুলির মধ্যে রয়েছে এমইএমএস রেজোনেটর, টেকসই অ্যাম্পস এবং রেজিস্টার যা সময়ের সাথে বৃদ্ধি পায়, উদাহরণস্বরূপ দিন, ঘন্টা, মিনিট এবং সেকেন্ড গণনা করা। এগুলির মধ্যে অ্যালার্ম আউটপুট এবং ব্যাটারি পরিচালনার মতো সহায়ক ফাংশনও অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। অতিবাহিত সময়ের উপর নজর রাখার জন্য আরটিসিকে অবশ্যই ধারাবাহিকভাবে চলতে হবে। এটি করার জন্য তাদের কখনও কখনও ছোট ব্যাটারি থেকে চলতে হয় এবং তাই খুব কম বিদ্যুৎ স্তরে কাজ করতে হয়। এগুলি সাধারণত বিদ্যুৎ, ব্যাটারি ব্যাকআপ, ডিজিটাল ইন্টারফেস এবং অন্যান্য বিভিন্ন কাজের জন্য 20 টি পর্যন্ত পিন সহ মাঝারি আকারের আইসি। এমইএমএস টাইমিং ডিভাইসের ইতিহাস কোয়ার্টজ স্ফটিক দোলকের ত্রুটি দ্বারা অনুপ্রাণিত হয়ে গবেষকরা 1965 সাল থেকে এমইএমএস কাঠামোর অনুরণন বৈশিষ্ট্যগুলি বিকাশ করছেন। যাইহোক, সম্প্রতি অবধি সীলমোহর, প্যাকেজিং এবং অনুরণক উপাদানগুলির সমন্বয় সম্পর্কিত বিভিন্ন নির্ভুলতা, স্থিতিশীলতা এবং উত্পাদনযোগ্যতা সমস্যাগুলি সাশ্রয়ী মূল্যের বাণিজ্যিক উৎপাদনকে বাধা দেয়। পাঁচটি প্রযুক্তিগত চ্যালেঞ্জ অতিক্রম করতে হয়েছিলঃ প্রথম প্রদর্শন স্থিতিশীল এবং অনুমানযোগ্য অনুরণক উপকরণ খুঁজে বের করা, পর্যাপ্ত পরিষ্কার হার্মেটিক প্যাকেজিং প্রযুক্তি বিকাশ করা, আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি ছাঁটাই এবং ক্ষতিপূরণ করা, অনুরণক উপাদানগুলির গুণমান ফ্যাক্টর বৃদ্ধি করা এবং বিভিন্ন প্রয়োগের প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য সংকেতের অখণ্ডতা উন্নত করা। প্রথম এমইএমএস রেজোনেটরগুলি ধাতব রেজোনেটর উপাদান দিয়ে তৈরি করা হয়েছিল। এই অনুরণকগুলি অডিও ফিল্টার হিসাবে কল্পনা করা হয়েছিল এবং 500 এর মাঝারি মানের ফ্যাক্টর (কিউএস) এবং 1 কিলোহার্জ থেকে 100 কিলোহার্জ ফ্রিকোয়েন্সি ছিল। ফিল্টারিং অ্যাপ্লিকেশনগুলি, এখন উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি রেডিওর জন্য, এখনও গুরুত্বপূর্ণ এবং এমইএমএস গবেষণা এবং বাণিজ্যিক পণ্যগুলির জন্য একটি সক্রিয় ক্ষেত্র। যাইহোক, প্রাথমিক এমইএমএস অনুরণকগুলির সময় রেফারেন্স বা ঘড়ি তৈরির জন্য ব্যবহার করার মতো পর্যাপ্ত স্থিতিশীল ফ্রিকোয়েন্সি ছিল না। ধাতব অনুরণক উপাদানগুলি সময়ের সাথে (তাদের বয়স) এবং ব্যবহারের সাথে (তারা ক্লান্ত হয়ে পড়ে) ফ্রিকোয়েন্সি পরিবর্তন করতে থাকে। তাপমাত্রার তারতম্যের অধীনে তাদের বড় এবং সম্পূর্ণরূপে অনুমানযোগ্য ফ্রিকোয়েন্সি স্থানান্তরের প্রবণতা ছিল (তাদের বড় তাপমাত্রা সংবেদনশীলতা ছিল) এবং যখন তারা তাপমাত্রা চক্রাকারে ছিল তখন তারা বিভিন্ন ফ্রিকোয়েন্সিতে ফিরে যাওয়ার প্রবণতা ছিল (তারা হিস্টেরেটিক ছিল)। 1970-এর দশক থেকে 1990-এর দশক পর্যন্ত বস্তুগত উন্নয়ন কাজ যথেষ্ট স্থিতিশীল অনুরণক উপকরণ এবং সংশ্লিষ্ট মনগড়া কৌশলগুলি চিহ্নিত করেছে। বিশেষত, একক এবং পলিক্রিস্টালাইন সিলিকন কার্যকরভাবে শূন্য বার্ধক্য, ক্লান্তি এবং হিস্টেরেসিস এবং মাঝারি তাপমাত্রা সংবেদনশীলতার সাথে ফ্রিকোয়েন্সি রেফারেন্সের জন্য উপযুক্ত বলে মনে করা হয়েছিল। এম. ই. এম. এস রেজোনেটর গবেষণায় বস্তুগত উন্নয়ন এখনও চলছে। কম তাপমাত্রায় তৈরি সিলিকন-জার্মেনিয়াম (সিজিই) এবং পাইজোইলেক্ট্রিক ট্রান্সডাকশনের জন্য অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (এএলএন)-এ উল্লেখযোগ্য প্রচেষ্টা করা হয়েছে। মাইক্রোমেশিনে কোয়ার্টজের কাজ অব্যাহত রয়েছে, অন্যদিকে পলিক্রিস্টালাইন হীরা তার ব্যতিক্রমী কঠোরতা-থেকে-ভর অনুপাতের জন্য উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি অনুরণকগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়েছে। প্যাকেজিং ডেভেলপমেন্ট এম. ই. এম. এস রেজোনেটরগুলির জন্য গহ্বর প্রয়োজন যেখানে তারা অবাধে চলাচল করতে পারে এবং ফ্রিকোয়েন্সি রেফারেন্সের জন্য এই গহ্বরগুলি অবশ্যই খালি করতে হবে। প্রাথমিক অনুরণকগুলি সিলিকন ওয়েফারের উপরে নির্মিত হয়েছিল এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারে পরীক্ষা করা হয়েছিল, তবে পৃথক অনুরণক ক্যাপসুলেশন স্পষ্টভাবে প্রয়োজন ছিল। এম. ই. এম. এস সম্প্রদায় অন্যান্য এম. ই. এম. এস উপাদানগুলিকে আবদ্ধ করার জন্য বন্ধিত আবরণ কৌশল প্রয়োগ করেছিল, উদাহরণস্বরূপ চাপ সেন্সর, অ্যাক্সিলারোমিটার এবং জাইরোস্কোপ, এবং এই কৌশলগুলি অনুরণকগুলির সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়া হয়েছিল। এই পদ্ধতিতে, কভার ওয়েফারগুলি ছোট গহ্বরগুলির সাথে মাইক্রো মেশিন করা হত এবং ছোট খালি গহ্বরে অনুরণকগুলিকে আবদ্ধ করে অনুরণক ওয়েফারগুলির সাথে আবদ্ধ করা হত। প্রাথমিকভাবে এই ওয়েফারগুলি কম গলিত তাপমাত্রার কাচের সাথে আবদ্ধ ছিল, যাকে গ্লাস ফ্রিট বলা হয়, তবে সম্প্রতি ধাতব সংকোচন এবং ধাতব মিশ্রণ সহ অন্যান্য বন্ধন প্রযুক্তিগুলি কাচের ফ্রিটকে প্রতিস্থাপন করেছে। অনুরণকগুলির উপর বন্ধন আবরণের পরিবর্তে ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় অনুরণকগুলির উপর সরাসরি আবরণ তৈরি করে আবদ্ধ গহ্বর গঠনের জন্য পাতলা ফিল্ম এনক্যাপসুলেশন কৌশলগুলি তৈরি করা হয়েছিল। এই কৌশলগুলির সুবিধা ছিল যে তারা সীলমোহরের কাঠামোর জন্য ততটা ডাই এলাকা ব্যবহার করত না, কভারগুলি তৈরি করার জন্য তাদের দ্বিতীয় ওয়েফার প্রস্তুত করার প্রয়োজন হত না এবং ফলস্বরূপ ডিভাইস ওয়েফারগুলি পাতলা ছিল। ফ্রিকোয়েন্সি রেফারেন্সের জন্য সাধারণত প্রতি মিলিয়নে 100 অংশ (পিপিএম) বা তার বেশি ফ্রিকোয়েন্সি স্থিতিশীলতা প্রয়োজন। যাইহোক, প্রাথমিক আবরণ এবং এনক্যাপসুলেশন প্রযুক্তিগুলি গহ্বরে উল্লেখযোগ্য পরিমাণে দূষণ রেখে গেছে। যেহেতু এম. ই. এম. এস অনুরণকগুলি ছোট, এবং বিশেষত যেহেতু তাদের আয়তন-থেকে-পৃষ্ঠ এলাকা কম, তাই তারা ভর লোডের প্রতি বিশেষভাবে সংবেদনশীল। এমনকি জল বা হাইড্রোকার্বনের মতো দূষকের একক-পারমাণবিক স্তরগুলিও অনুরণকের কম্পাঙ্ককে নির্দিষ্টকরণের বাইরে সরিয়ে দিতে পারে। যখন অনুরণকগুলি বয়স্ক হয় বা তাপমাত্রা চক্রাকার হয়, তখন দূষকগুলি চেম্বারে চলে যেতে পারে এবং অনুরণকগুলির উপর বা বাইরে স্থানান্তরিত হতে পারে। অনুরণকগুলির ভরের পরিবর্তন হাজার হাজার পিপিএম হিস্টেরেসিস তৈরি করতে পারে, যা কার্যত সমস্ত ফ্রিকোয়েন্সি রেফারেন্স অ্যাপ্লিকেশনের জন্য অগ্রহণযোগ্য। কাচের ফ্রিট সিলের সাথে প্রাথমিকভাবে আবৃত অনুরণকগুলি অস্থির ছিল কারণ সীলমোহরের উপাদান থেকে দূষকগুলি নির্গত হত। এটি কাটিয়ে ওঠার জন্য, গহ্বরের মধ্যে গেটার তৈরি করা হয়েছিল। গেটার হল এমন উপাদান যা গহ্বরগুলি সিল করার পরে গ্যাস এবং দূষকগুলি শোষণ করতে পারে। যাইহোক, গেটারগুলি দূষিত পদার্থও ছেড়ে দিতে পারে এবং ব্যয়বহুল হতে পারে, তাই ক্লিনার কভার বন্ধন প্রক্রিয়াগুলির পক্ষে এই অ্যাপ্লিকেশনটিতে তাদের ব্যবহার বন্ধ করা হচ্ছে। একইভাবে, পাতলা ফিল্ম এনক্যাপসুলেশন গহ্বরে বানোয়াট উপজাতগুলিকে আটকে রাখতে পারে। এটি দূর করার জন্য এপিটাক্সিয়াল সিলিকন নিক্ষেপণের উপর ভিত্তি করে একটি উচ্চ তাপমাত্রার পাতলা ফিল্ম এনক্যাপসুলেশন তৈরি করা হয়েছিল। এই এপিটাক্সিয়াল সীলমোহর (এপিসিয়াল) প্রক্রিয়াটি ব্যতিক্রমীভাবে পরিষ্কার বলে প্রমাণিত হয়েছে এবং সর্বোচ্চ স্থিতিশীলতা অনুরণক তৈরি করে। বৈদ্যুতিন ফ্রিকোয়েন্সি নির্বাচন এবং ছাঁটাই প্রাথমিক এমইএমএস অনুরণক বিকাশে, গবেষকরা লক্ষ্য প্রয়োগ ফ্রিকোয়েন্সিগুলিতে অনুরণক তৈরি করার এবং তাপমাত্রার উপর সেই ফ্রিকোয়েন্সিগুলি বজায় রাখার চেষ্টা করেছিলেন। এই সমস্যা সমাধানের পদ্ধতির মধ্যে কোয়ার্টজ স্ফটিকের জন্য ব্যবহৃত উপায়ে এমইএমএস অনুরণকগুলিকে ছাঁটাই এবং তাপমাত্রা ক্ষতিপূরণ দেওয়া অন্তর্ভুক্ত ছিল। তবে, এই কৌশলগুলি প্রযুক্তিগতভাবে সীমিত এবং ব্যয়বহুল বলে মনে করা হয়েছিল। আরও কার্যকর সমাধান ছিল অনুরণকগুলির ফ্রিকোয়েন্সিগুলিকে বৈদ্যুতিনভাবে দোলকগুলির আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সিগুলিতে স্থানান্তরিত করা। এর সুবিধা ছিল যে অনুরণকগুলিকে পৃথকভাবে ছাঁটাই করার প্রয়োজন ছিল না; পরিবর্তে তাদের ফ্রিকোয়েন্সিগুলি পরিমাপ করা যেতে পারে এবং দোলক আইসিগুলিতে উপযুক্ত স্কেলিং সহগ রেকর্ড করা যেতে পারে। উপরন্তু, অনুরণকগুলির তাপমাত্রা বৈদ্যুতিনভাবে পরিমাপ করা যেতে পারে এবং তাপমাত্রার উপর অনুরণকগুলির ফ্রিকোয়েন্সি পরিবর্তনের জন্য ক্ষতিপূরণ দেওয়ার জন্য ফ্রিকোয়েন্সি স্কেলিং সামঞ্জস্য করা যেতে পারে। সংকেতের অখণ্ডতা উন্নত করা বিভিন্ন প্রয়োগের জন্য পূর্বনির্ধারিত সংকেত এবং কার্যকারিতা নির্দিষ্টকরণ সহ ঘড়ির প্রয়োজন হয়। এর মধ্যে, মূল বৈশিষ্ট্যগুলি হল পর্যায় গোলমাল এবং ফ্রিকোয়েন্সি স্থায়িত্ব। অনুরণকের প্রাকৃতিক ফ্রিকোয়েন্সি (এফ) এবং গুণগত মান (কিউ) বাড়িয়ে পর্যায় গোলমালকে অনুকূল করা হয়েছে। কিউ নির্দিষ্ট করে যে ড্রাইভ বন্ধ হওয়ার পরে অনুরণকগুলি কতক্ষণ বাজতে থাকে, বা সমতুল্যভাবে যখন তাদের পাস-ব্যান্ডগুলি কতটা সংকীর্ণ তা ফিল্টার হিসাবে দেখা হয়। বিশেষত, কিউ টাইমস এফ, বা কিউএফ পণ্য, নিকট-বাহক পর্যায়ের শব্দ নির্ধারণ করে। প্রাথমিক এমইএমএস অনুরণকগুলি রেফারেন্সের জন্য অগ্রহণযোগ্যভাবে কম কিউএফ পণ্য দেখিয়েছিল। উল্লেখযোগ্য তাত্ত্বিক কাজ অন্তর্নিহিত পদার্থবিজ্ঞানকে স্পষ্ট করেছে যখন পরীক্ষামূলক কাজ উচ্চ কিউএফ অনুরণক তৈরি করেছে। বর্তমানে উপলব্ধ এমইএমএস কিউএফ পারফরম্যান্স কার্যত সমস্ত অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত। রেসোনেটর স্ট্রাকচারাল ডিজাইন, বিশেষ করে মোড কন্ট্রোল, অ্যাঙ্করিং পদ্ধতি, ন্যারো-গ্যাপ ট্রান্সডিউসার, লিনিয়ারিটি এবং অ্যারেড স্ট্রাকচারগুলি উল্লেখযোগ্য গবেষণা প্রচেষ্টা ব্যয় করে। প্রয়োজনীয় ফ্রিকোয়েন্সি নির্ভুলতা প্রসেসর ক্লকিংয়ের জন্য তুলনামূলকভাবে আলগা থেকে শুরু করে, সাধারণত 50 থেকে 100 পিপিএম পর্যন্ত, উচ্চ গতির ডেটা ক্লকিংয়ের জন্য সুনির্দিষ্ট, প্রায়শই 2.5 পিপিএম এবং তার নিচে। গবেষণায় দেখা গেছে যে এমইএমএস অনুরণক এবং দোলক এই স্তরগুলির মধ্যে ভালভাবে তৈরি করা যেতে পারে। বাণিজ্যিক পণ্যগুলি এখন 0.5 পিপিএম-এ পাওয়া যায়, যা বেশিরভাগ প্রয়োগের প্রয়োজনীয়তাকে অন্তর্ভুক্ত করে। পরিশেষে, ফ্রিকোয়েন্সি কন্ট্রোল ইলেকট্রনিক্স এবং সংশ্লিষ্ট সাপোর্ট সার্কিট্রি উন্নত এবং অনুকূলিত করা প্রয়োজন। মূল ক্ষেত্রগুলি ছিল তাপমাত্রা সেন্সর এবং পি. এল. এল নকশা। সাম্প্রতিক সার্কিট উন্নয়নগুলি সাব-পিকোসেকেন্ড ইন্টিগ্রেটেড জিটার সহ উচ্চ গতির সিরিয়াল অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত এমইএমএস দোলক তৈরি করেছে। বাণিজ্যিকীকরণ ইউ. এস. ডিফেন্স অ্যাডভান্সড রিসার্চ প্রজেক্টস এজেন্সি (ডিএআরপিএ) এমইএমএস গবেষণার একটি বিস্তৃত পরিসরে অর্থায়ন করেছিল যা উপরে বর্ণিত উন্নয়নের জন্য ভিত্তি প্রযুক্তি সরবরাহ করেছিল। 2001 এবং 2002 সালে, ডি. এ. আর. পি. এ ন্যানো মেকানিক্যাল অ্যারে সিগন্যাল প্রসেসর (এন. এম. এ. এস. পি) এবং হার্শ এনভায়রনমেন্ট রোবাস্ট মাইক্রোমেকানিকাল টেকনোলজি (এইচ. ই. আর. এম. আই. টি) প্রোগ্রাম চালু করে বিশেষভাবে এম. ই. এম. এস উচ্চ স্থিতিশীলতা অনুরণক এবং প্যাকেজিং প্রযুক্তি বিকাশের জন্য। এই কাজটি ফলপ্রসূ হয়েছিল এবং প্রযুক্তিকে এমন পর্যায়ে উন্নীত করেছিল যেখানে উদ্যোগ মূলধন অর্থায়নে স্টার্টআপগুলি বাণিজ্যিক পণ্য বিকাশ করতে পারে। এই স্টার্টআপগুলির মধ্যে রয়েছে 2001 সালে ডিসেরা, 2004 সালে সিটাইম, 2006 সালে সিলিকন ক্লকস এবং 2006 সালে হারমনিক ডিভাইস। সিটাইম 2006 সালে প্রথম উৎপাদন এম. ই. এম. এস অসিলেটর চালু করে, তারপরে 2007 সালে ডিসেরা। হারমোনিক ডিভাইসগুলি সেন্সর পণ্যগুলিতে তার ফোকাস পরিবর্তন করে এবং 2010 সালে কোয়ালকম কিনে নেয়। সিলিকন ঘড়ি কখনও বাণিজ্যিক পণ্য চালু করেনি এবং 2010 সালে সিলিকন ল্যাবস এটি কিনে নেয়। অতিরিক্ত প্রবেশকারীরা স্যান্ড 9 এবং ভি. টি. আই টেকনোলজিস সহ এম. ই. এম. এস অসিলেটর উৎপাদনের অভিপ্রায় ঘোষণা করেছেন। বিক্রয়ের পরিমাণ অনুসারে, এমইএমএস দোলক সরবরাহকারীরা অবরোহী ক্রমে সিটাইম এবং ডিসেরা হিসাবে স্থান পেয়েছে। বেশ কয়েকটি কোয়ার্টজ দোলক সরবরাহকারী এমইএমএস দোলক পুনরায় বিক্রি করে। সিটাইম ঘোষণা করেছে যে এটি 2011 সালের মাঝামাঝি পর্যন্ত মোট 50 মিলিয়ন ইউনিট প্রেরণ করেছে। অন্যরা বিক্রির পরিমাণ প্রকাশ করেনি। অপারেশন ওয়ান এমইএমএস অনুরণকগুলিকে ছোট ঘণ্টা হিসাবে ভাবতে পারে যা উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সিতে বাজায়। ছোট ঘণ্টা বড় ঘণ্টার চেয়ে বেশি ফ্রিকোয়েন্সিতে বাজতে পারে এবং এমইএমএস অনুরণকগুলি ছোট হওয়ায় সেগুলি উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সিতে বাজতে পারে। সাধারণ ঘণ্টা মিটার থেকে সেন্টিমিটার পর্যন্ত হয় এবং শত শত হার্টজ থেকে কিলোহার্টজ পর্যন্ত রিং হয়; এমইএমএস অনুরণকগুলি এক মিলিমিটারের দশমাংশ জুড়ে এবং দশ থেকে শত শত কিলোহার্টজ পর্যন্ত রিং হয়। এম. ই. এম. এস রেজোনেটরগুলি এক গিগাহার্টজ-এর উপরে কাজ করেছে। সাধারণ ঘণ্টা যান্ত্রিকভাবে আঘাত করা হয়, অন্যদিকে এম. ই. এম. এস অনুরণকগুলি বৈদ্যুতিকভাবে চালিত হয়। এমইএমএস অনুরণক তৈরি করতে দুটি মৌলিক প্রযুক্তি ব্যবহার করা হয় যা যান্ত্রিক গতি থেকে বৈদ্যুতিক ড্রাইভ এবং ইন্দ্রিয় সংকেতগুলি কীভাবে প্রেরণ করা হয় তার মধ্যে পার্থক্য রয়েছে। এগুলি হল ইলেকট্রোস্ট্যাটিক এবং পাইজোইলেক্ট্রিক। সমস্ত বাণিজ্যিক এম. ই. এম. এস দোলক স্থির বিদ্যুত্ প্রবাহ ব্যবহার করে যেখানে এম. ই. এম. এস ফিল্টার পিজোইলেক্ট্রিক প্রবাহ ব্যবহার করে। পিজোইলেক্ট্রিক রেজোনেটরগুলি ফ্রিকোয়েন্সি রেফারেন্স অ্যাপ্লিকেশনের জন্য পর্যাপ্ত ফ্রিকোয়েন্সি স্থিতিশীলতা বা গুণমান ফ্যাক্টর (কিউ) দেখায়নি। ইলেকট্রনিক টেকসই অ্যাম্পস ক্রমাগত দোলনে অনুরণকগুলিকে চালিত করে। এই পরিবর্ধকগুলি অনুরণকের গতি সনাক্ত করে এবং অনুরণকের মধ্যে অতিরিক্ত শক্তি সঞ্চারিত করে। এগুলি যথাযথ মাত্রায় অনুরণকগুলির গতি বজায় রাখতে এবং কম শব্দের আউটপুট ঘড়ির সংকেতগুলি বের করার জন্য যত্ন সহকারে ডিজাইন করা হয়েছে। ফ্র্যাকশনাল-এন ফেজ লক লুপ (ফ্র্যাক-এন পি. এল. এল) নামক অতিরিক্ত সার্কিটগুলি অনুরণকের যান্ত্রিক ফ্রিকোয়েন্সিগুলিকে দোলকের আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সিগুলিতে গুণ করে। এই অত্যন্ত বিশেষায়িত পি. এল. এলগুলি ডিজিটাল স্টেট মেশিনের নিয়ন্ত্রণে আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি সেট করে। রাষ্ট্রীয় যন্ত্রগুলি অ-উদ্বায়ী স্মৃতিতে সঞ্চিত ক্রমাঙ্কন এবং প্রোগ্রাম ডেটা দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হয় এবং তাপমাত্রার বৈচিত্র্যের ক্ষতিপূরণের জন্য পি. এল. এল কনফিগারেশনগুলি সামঞ্জস্য করে। রাষ্ট্রীয় যন্ত্রগুলি অতিরিক্ত ব্যবহারকারী ফাংশন সরবরাহ করার জন্যও তৈরি করা যেতে পারে, উদাহরণস্বরূপ স্প্রেড-স্পেকট্রাম ক্লকিং এবং ভোল্টেজ নিয়ন্ত্রিত ফ্রিকোয়েন্সি ছাঁটাই। এমইএমএস ঘড়ি জেনারেটরগুলি তাদের কেন্দ্রে এমইএমএস দোলক দিয়ে তৈরি করা হয় এবং অতিরিক্ত আউটপুট সরবরাহ করার জন্য অতিরিক্ত সার্কিট অন্তর্ভুক্ত করা হয়। এই অতিরিক্ত সার্কিট সাধারণত অ্যাপ্লিকেশনগুলির দ্বারা প্রয়োজনীয় নির্দিষ্ট বৈশিষ্ট্যগুলি সরবরাহ করার জন্য ডিজাইন করা হয়। এমইএমএস আরটিসি দোলকের মতো কাজ করে তবে কম বিদ্যুৎ ব্যবহারের জন্য অনুকূলিত এবং তারিখ ও সময় ট্র্যাক করার জন্য সহায়ক সার্কিট অন্তর্ভুক্ত করে। কম শক্তিতে কাজ করার জন্য এগুলি কম ফ্রিকোয়েন্সি এমইএমএস অনুরণক দিয়ে তৈরি করা হয়। প্রয়োজনীয় সময় নির্ভুলতা প্রদান করার সময় বিদ্যুতের ব্যবহার হ্রাস করার জন্য সার্কিট ডিজাইনের যত্ন নেওয়া হয়। রেজোনেটরের প্রকারের উপর নির্ভর করে, ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়াটি হয় একটি বিশেষায়িত এম. ই. এম. এস ফ্যাব বা সি. এম. ও. এস ফাউন্ড্রিতে করা হয়। উৎপাদন প্রক্রিয়া অনুরণক এবং এনক্যাপসুলেশন নকশার সাথে পরিবর্তিত হয়, তবে সাধারণভাবে অনুরণক কাঠামো লিথোগ্রাফিকভাবে প্যাটার্নযুক্ত এবং সিলিকন ওয়েফারের মধ্যে বা তার উপর প্লাজমা-খোদাই করা থাকে। সমস্ত বাণিজ্যিক এমইএমএস দোলক পলি বা একক স্ফটিক সিলিকন দিয়ে তৈরি। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক্যালি ট্রান্সডিউসড রেজোনেটরগুলিতে সংকীর্ণ এবং ভালভাবে নিয়ন্ত্রিত ড্রাইভ এবং সেন্স ক্যাপাসিটর ফাঁক তৈরি করা গুরুত্বপূর্ণ। এগুলি হয় অনুনাদকের নিচে পার্শ্বীয় হতে পারে, অথবা অনুনাদকের পাশে উল্লম্ব হতে পারে। প্রতিটি বিকল্পের নিজস্ব সুবিধা রয়েছে এবং উভয়ই বাণিজ্যিকভাবে ব্যবহৃত হয়। রেজোনেটরগুলি হয় রেজোনেটর ওয়েফারগুলিতে বন্ধন কভার ওয়েফার দ্বারা বা রেজোনেটরগুলির উপর পাতলা ফিল্ম এনক্যাপসুলেশন স্তর জমা করে আবদ্ধ করা হয়। এখানে আবার, উভয় পদ্ধতিই বাণিজ্যিকভাবে ব্যবহৃত হয়। বন্ধিত কভার ওয়েফারগুলি অবশ্যই একটি আঠালো দিয়ে সংযুক্ত করতে হবে। দুটি বিকল্প ব্যবহার করা হয়, একটি গ্লাস ফ্রিট বন্ড রিং বা একটি ধাতব বন্ড রিং। গ্লাস ফ্রিট খুব বেশি দূষণ সৃষ্টি করতে দেখা গেছে, এবং এইভাবে প্রবাহিত হয়, এবং এটি আর সাধারণত ব্যবহার করা হয় না। পাতলা ফিল্ম এনক্যাপসুলেশনের জন্য অনুরণকগুলির কাঠামোগুলি অক্সাইড এবং সিলিকন স্তর দিয়ে আচ্ছাদিত করা হয়, তারপরে পার্শ্ববর্তী অক্সাইড অপসারণ করে ফ্রিস্ট্যান্ডিং অনুরণক তৈরি করে এবং অবশেষে একটি অতিরিক্ত জমা দিয়ে সিল করা হয়। সার্কিট্রি টেকসই অ্যাম্পস, পি. এল. এল এবং অক্জিলিয়ারি সার্কিটগুলি সি. এম. ও. এস ফাউন্ড্রিগুলিতে নির্মিত স্ট্যান্ডার্ড মিক্সড-সিগন্যাল সি. এম. ও. এস প্রক্রিয়াগুলির সাথে নির্মিত। একই আইসি ডাইতে সিএমওএস সার্কিট সহ ইন্টিগ্রেটেড এমইএমএস দোলক প্রদর্শিত হয়েছে তবে আজ অবধি এই সমজাতীয় সংহতকরণ বাণিজ্যিকভাবে কার্যকর নয়। পরিবর্তে, এম. ই. এম. এস রেজোনেটর এবং সি. এম. ও. এস সার্কিটরি আলাদা ডাইতে তৈরি করা এবং প্যাকেজিং পর্যায়ে তাদের একত্রিত করা সুবিধাজনক। এইভাবে একটি প্যাকেজে একাধিক ডাইকে একত্রিত করাকে হেটেরোজিনিয়াস ইন্টিগ্রেশন বা কেবল ডাই স্ট্যাকিং বলা হয়। প্যাকেজিং সম্পূর্ণ এমইএমএস যন্ত্রগুলি, ছোট চিপ-স্তরের ভ্যাকুয়াম চেম্বারে আবদ্ধ, তাদের সিলিকন ওয়েফারগুলি থেকে কাটা হয় এবং রেজোনেটর ডাই সি. এম. ও. এস ডাইতে স্ট্যাক করা হয় এবং প্লাস্টিকের প্যাকেজে ছাঁচে দোলক তৈরি করা হয়। এমইএমএস দোলকগুলি একই কারখানায় এবং একই সরঞ্জাম এবং উপকরণ দিয়ে প্যাকেজ করা হয় যা স্ট্যান্ডার্ড আইসি প্যাকেজিংয়ের জন্য ব্যবহৃত হয়। এটি কোয়ার্টজ দোলকগুলির তুলনায় তাদের ব্যয়-কার্যকারিতা এবং নির্ভরযোগ্যতার ক্ষেত্রে একটি উল্লেখযোগ্য অবদানকারী, যা কাস্টম-নির্মিত কারখানাগুলিতে বিশেষ সিরামিক প্যাকেজগুলির সাথে একত্রিত হয়। প্যাকেজের মাত্রা এবং প্যাডের আকারগুলি স্ট্যান্ডার্ড কোয়ার্টজ দোলক প্যাকেজের সাথে মেলে যাতে এমইএমএস দোলকগুলি বোর্ড পরিবর্তন বা পুনরায় ডিজাইনের প্রয়োজন ছাড়াই কোয়ার্টজের জন্য ডিজাইন করা পিসিবিগুলিতে সরাসরি সোল্ডার করা যায়। পরীক্ষা এবং ক্রমাঙ্কন উৎপাদন পরীক্ষাগুলি এম. ই. এম. এস রেজোনেটর এবং সি. এম. ও. এস আই. সি-গুলিকে পরীক্ষা এবং ক্রমাঙ্কন করে যাচাই করে যে তারা নির্দিষ্টকরণ অনুসারে কাজ করছে এবং তাদের ফ্রিকোয়েন্সিগুলি ছাঁটাই করছে। উপরন্তু, অনেক এমইএমএস দোলকের প্রোগ্রামেবল আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি রয়েছে যা পরীক্ষার সময় কনফিগার করা যেতে পারে। অবশ্যই বিভিন্ন ধরনের দোলক বিশেষায়িত সিএমওএস এবং এমইএমএস ডাই থেকে কনফিগার করা হয়। উদাহরণস্বরূপ, কম শক্তি এবং উচ্চ কার্যকারিতা দোলকগুলি একই ডাই দিয়ে তৈরি করা হয় না। উপরন্তু, উচ্চ নির্ভুলতা দোলকগুলির প্রায়শই কম নির্ভুলতা দোলকগুলির তুলনায় আরও যত্নশীল ক্রমাঙ্কন প্রয়োজন। এম. ই. এম. এস অসিলেটরগুলি অনেকটা স্ট্যান্ডার্ড আই. সি-র মতো পরীক্ষা করা হয়। প্যাকেজিংয়ের মতো, এটি স্ট্যান্ডার্ড আইসি পরীক্ষার সরঞ্জাম সহ স্ট্যান্ডার্ড আইসি কারখানাগুলিতে করা হয়। স্ট্যান্ডার্ড আইসি প্যাকেজিং এবং পরীক্ষার সুবিধাগুলি ব্যবহার করা (আইসি শিল্পে সাবকন বলা হয়) এমইএমএস দোলকগুলিকে উৎপাদন মাপকাঠি দেয়। এই সুবিধাগুলি প্রচুর পরিমাণে উৎপাদন করতে সক্ষম, প্রায়শই প্রতিদিন লক্ষ লক্ষ আইসি। এই ক্ষমতা অনেক আইসি সংস্থায় ভাগ করা হয়, তাই নির্দিষ্ট আইসি বা এই ক্ষেত্রে নির্দিষ্ট এমইএমএস দোলকগুলির উৎপাদন পরিমাণ বৃদ্ধি করা হল মানক উৎপাদন সরঞ্জাম বরাদ্দের একটি কাজ। বিপরীতভাবে, কোয়ার্টজ দোলক কারখানাগুলি একক-ফাংশন প্রকৃতির, যাতে র্যাম্পিং উৎপাদনের জন্য কাস্টম সরঞ্জাম ইনস্টল করা প্রয়োজন, যা স্ট্যান্ডার্ড সরঞ্জাম বরাদ্দের চেয়ে বেশি ব্যয়বহুল এবং সময়সাপেক্ষ। এমইএমএস এবং কোয়ার্টজ দোলকগুলির তুলনা কোয়ার্টজ দোলকগুলি এমইএমএস দোলকের তুলনায় অনেক বেশি পরিমাণে বিক্রি হয় এবং ইলেকট্রনিক্স ইঞ্জিনিয়ারদের দ্বারা ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত এবং বোঝা যায়। অতএব, কোয়ার্টজ দোলকগুলি বেসলাইন সরবরাহ করে যা থেকে এমইএমএস দোলকগুলির তুলনা করা হয়। সাম্প্রতিক অগ্রগতিগুলি এম. ই. এম. এস-ভিত্তিক টাইমিং ডিভাইসগুলিকে কোয়ার্টজ ডিভাইসের অনুরূপ এবং কখনও কখনও উচ্চতর পারফরম্যান্স স্তর সরবরাহ করতে সক্ষম করেছে। ফেজ নয়েজ দ্বারা পরিমাপ করা এমইএমএস দোলক সংকেতের গুণমান এখন বেশিরভাগ প্রয়োগের জন্য যথেষ্ট। 10 মেগাহার্টজ থেকে 10 কিলোহার্জ-এ −150 ডিবিসি পর্যায়ের শব্দ এখন পাওয়া যায়, এমন একটি স্তর যা সাধারণত শুধুমাত্র রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ) প্রয়োগের জন্য প্রয়োজন। এমইএমএস দোলকগুলি এখন 1 পিকোসেকেন্ডের নিচে সমন্বিত জিটার সহ উপলব্ধ, যা 12 কিলোহার্জ থেকে 20 মেগাহার্টজ পর্যন্ত পরিমাপ করা হয়, একটি স্তর যা সাধারণত উচ্চ গতির সিরিয়াল ডেটা লিঙ্ক যেমন সোনেট এবং সিঙ্ক এবং কিছু যন্ত্র প্রয়োগের জন্য প্রয়োজনীয়। স্বল্পমেয়াদী স্থায়িত্ব, প্রারম্ভিক সময় এবং বিদ্যুৎ খরচ কোয়ার্টজের মতোই। কিছু কিছু ক্ষেত্রে, এমইএমএস দোলকগুলি কোয়ার্টজের তুলনায় কম বিদ্যুৎ খরচ দেখায়। উচ্চ নির্ভুলতা এমইএমএস তাপমাত্রা-ক্ষতিপূরণ দোলক (টিসিএক্সও) সম্প্রতি তাপমাত্রার উপর ± 0.1 পিপিএম ফ্রিকোয়েন্সি স্থায়িত্বের সাথে ঘোষণা করা হয়েছে। এটি খুব উচ্চমানের কোয়ার্টজ টিসিএক্সও এবং ওভেন-নিয়ন্ত্রিত দোলক (ওসিএক্সও) ব্যতীত সকলের কার্যকারিতা অতিক্রম করে। এমইএমএস টিসিএক্সও এখন 100 মেগাহার্টজের বেশি আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি সহ উপলব্ধ, এমন একটি ক্ষমতা যা কেবলমাত্র কয়েকটি বিশেষ কোয়ার্টজ দোলক (যেমন, উল্টানো মেসা) সরবরাহ করতে পারে। আরটিসি অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে এমইএমএস দোলকগুলি তাপমাত্রা এবং সোল্ডার-ডাউন শিফটের তুলনায় ফ্রিকোয়েন্সি স্থায়িত্বের ক্ষেত্রে সেরা কোয়ার্টজ টিউনিং ফর্কগুলির তুলনায় কিছুটা ভাল পারফর্ম করছে, যেখানে কোয়ার্টজ এখনও সর্বনিম্ন পাওয়ার অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উচ্চতর। ব্যবহারকারীদের প্রয়োজনীয় বিভিন্ন নির্দিষ্টকরণের জন্য কোয়ার্টজ দোলক তৈরি এবং মজুত করা কঠিন। বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনের জন্য নির্দিষ্ট ফ্রিকোয়েন্সি, নির্ভুলতার মাত্রা, সংকেতের মানের মাত্রা, প্যাকেজের আকার, সরবরাহের ভোল্টেজ এবং বিশেষ বৈশিষ্ট্য সহ দোলক প্রয়োজন। এগুলির সংমিশ্রণ আংশিক সংখ্যার বিস্তার ঘটায় যা স্টকিংকে অবাস্তব করে তোলে এবং দীর্ঘ উৎপাদন সীসা সময়ের দিকে নিয়ে যেতে পারে। এমইএমএস দোলক সরবরাহকারীরা সার্কিট প্রযুক্তি ব্যবহার করে বৈচিত্র্য সমস্যা সমাধান করে। কোয়ার্টজ দোলকগুলি সাধারণত কাঙ্ক্ষিত আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সিতে চালিত কোয়ার্টজ স্ফটিক দিয়ে তৈরি করা হয়, এমইএমএস দোলকগুলি সাধারণত একটি ফ্রিকোয়েন্সিতে অনুরণকগুলিকে চালিত করে এবং এটিকে পরিকল্পিত আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সিতে গুণ করে। এইভাবে, এমইএমএস রেজোনেটর বা সার্কিটগুলি পুনরায় ডিজাইন না করেই শত শত স্ট্যান্ডার্ড অ্যাপ্লিকেশন ফ্রিকোয়েন্সি এবং মাঝে মাঝে কাস্টম ফ্রিকোয়েন্সি সরবরাহ করা যেতে পারে। অবশ্যই, বিভিন্ন বিভাগের অংশের জন্য অনুরণক, সার্কিট বা ক্রমাঙ্কনের মধ্যে পার্থক্য রয়েছে, তবে এই বিভাগগুলির মধ্যে ফ্রিকোয়েন্সি অনুবাদ পরামিতিগুলি প্রায়শই উৎপাদন প্রক্রিয়ার শেষের দিকে এমইএমএস দোলকগুলিতে প্রোগ্রাম করা যেতে পারে। যেহেতু প্রক্রিয়াটির শেষ অবধি উপাদানগুলি আলাদা করা হয় না, তাই সীসার সময় সংক্ষিপ্ত হতে পারে, সাধারণত কয়েক সপ্তাহ। প্রযুক্তিগতভাবে, এম. ই. এম. এস-এ ব্যবহৃত সার্কিট-কেন্দ্রিক প্রোগ্রামেবল আর্কিটেকচার দিয়ে কোয়ার্টজ দোলক তৈরি করা যেতে পারে, তবে ঐতিহাসিকভাবে শুধুমাত্র একটি সংখ্যালঘু এইভাবে তৈরি করা হয়েছে। এম. ই. এম. এস দোলকগুলিও উল্লেখযোগ্যভাবে শক এবং কম্পনের বিরুদ্ধে প্রতিরোধ ক্ষমতা রাখে এবং কোয়ার্টজের সাথে সম্পর্কিতগুলির তুলনায় উৎপাদনের মানের মাত্রা বেশি দেখিয়েছে। কোয়ার্টজ দোলকগুলি নির্দিষ্ট প্রয়োগগুলিতে নিরাপদ যেখানে উপযুক্ত এমইএমএস দোলক চালু করা হয়নি। উদাহরণস্বরূপ, সেই অ্যাপ্লিকেশনগুলির মধ্যে একটি হল সেল ফোন হ্যান্ডসেটের জন্য ভোল্টেজ-নিয়ন্ত্রিত টিসিএক্সও (ভিসিটিসিএক্সও)। এই অ্যাপ্লিকেশনের জন্য একটি খুব নির্দিষ্ট ক্ষমতার সেট প্রয়োজন যার জন্য কোয়ার্টজ পণ্যগুলি অত্যন্ত অনুকূলিত। কোয়ার্টজ দোলকগুলি কর্মক্ষমতা পরিসরের চরম উচ্চ প্রান্তে উচ্চতর। এর মধ্যে রয়েছে ওসিএক্সও যা কয়েক অংশ প্রতি বিলিয়ন (পিপিবি)-এর মধ্যে স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে এবং সারফেস অ্যাকোস্টিক ওয়েভ (এসএডাব্লু) দোলক যা উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সিতে 100 ফেমটোসেকেন্ডের নিচে ঝাঁকুনি দিতে পারে। সম্প্রতি অবধি, এমইএমএস দোলকগুলি টিসিএক্সও পণ্য পরিসরে প্রতিদ্বন্দ্বিতা করত না, তবে নতুন পণ্য প্রবর্তনগুলি এমইএমএস দোলকগুলিকে সেই বাজারে নিয়ে এসেছে। ঘড়ি জেনারেটর প্রয়োগগুলিতে কোয়ার্টজ এখনও প্রভাবশালী। এই অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য অত্যন্ত বিশেষায়িত আউটপুট সংমিশ্রণ এবং কাস্টম প্যাকেজ প্রয়োজন। এই পণ্যগুলির সরবরাহ শৃঙ্খল বিশেষায়িত এবং এতে এমইএমএস দোলক সরবরাহকারী অন্তর্ভুক্ত নয়। এমইএমএস দোলকগুলি কম্পিউটিং, ভোক্তা, নেটওয়ার্কিং, যোগাযোগ, স্বয়ংচালিত এবং শিল্প ব্যবস্থার মতো বিভিন্ন প্রয়োগে কোয়ার্টজ দোলকগুলিকে প্রতিস্থাপন করছে। প্রোগ্রামযোগ্য এমইএমএস দোলকগুলি বেশিরভাগ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহার করা যেতে পারে যেখানে স্থির-ফ্রিকোয়েন্সি কোয়ার্টজ দোলক ব্যবহার করা হয়, যেমন পিসিআই-এক্সপ্রেস, এসএটিএ, এসএএস, পিসিআই, ইউএসবি, গিগাবিট ইথারনেট, এমপিইজি ভিডিও এবং কেবল মডেম। এম. ই. এম. এস ঘড়ি জেনারেটরগুলি জটিল সিস্টেমে কার্যকর, যার জন্য একাধিক ফ্রিকোয়েন্সি প্রয়োজন, যেমন ডেটা সার্ভার এবং টেলিকম সুইচ। এমইএমএস রিয়েল-টাইম ঘড়িগুলি এমন সিস্টেমে ব্যবহৃত হয় যার জন্য সুনির্দিষ্ট সময় পরিমাপের প্রয়োজন হয়। গ্যাস এবং বিদ্যুতের জন্য স্মার্ট মিটার একটি উদাহরণ যা এই যন্ত্রগুলির উল্লেখযোগ্য পরিমাণে খরচ করছে। দোলক প্রকারের নামে "এক্স" মূলত "স্ফটিক" হিসাবে চিহ্নিত করা হয়। কিছু প্রস্তুতকারক এমইএমএস দোলক অন্তর্ভুক্ত করার জন্য এই প্রথাটি গ্রহণ করেছেন। অন্যরা এমইএমএস-ভিত্তিক দোলকগুলিকে কোয়ার্টজ-ভিত্তিক দোলক থেকে আলাদা করার জন্য "এক্স"-এর জন্য "এম" প্রতিস্থাপন করছে (যেমন "ভিসিএমও" বনাম "ভিসিএক্সও")। সীমাবদ্ধতা এম. ই. এম. এস দোলক হিলিয়াম দ্বারা ক্ষতিকারকভাবে প্রভাবিত হতে পারে। 2018 সালে একটি হাসপাতালে হিলিয়াম ফুটো হওয়ার ফলে এম. ই. এম. এস অসিলেটর ব্যবহার করা যন্ত্রগুলি ব্যাপকভাবে ব্যর্থ হয়। 2 শতাংশের মতো সামান্য হিলিয়ামের ঘনত্ব একটি এমইএমএস দোলকের সম্পূর্ণ ব্যর্থতার কারণ হিসাবে দেখানো হয়েছে। আরও দেখুন বৈদ্যুতিন উপাদান রেফারেন্স মার্কিন উদ্ভাবন অসসিলেটর মাইক্রোইলেক্ট্রনিক এবং মাইক্রোইলেক্ট্রোমেকানিকাল সিস্টেম