Thin-film thickness monitor
থিন-ফিল্ম থিকনেস মনিটর, ডিপোজিশন রেট কন্ট্রোলার ইত্যাদি হল উচ্চ এবং অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে ব্যবহৃত যন্ত্রের একটি পরিবার। তারা একটি পাতলা ফিল্মের পুরুত্ব পরিমাপ করতে পারে, কেবল এটি তৈরি হওয়ার পরে নয়, এটি জমা হওয়ার সময়ও, এবং কেউ কেউ ফিল্মের চূড়ান্ত পুরুত্ব, যে হারে এটি জমা হয় বা উভয়ই নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। আশ্চর্যের বিষয় নয় যে, যে যন্ত্রগুলি প্রক্রিয়াটির কিছু দিক নিয়ন্ত্রণ করে তাদের নিয়ামক বলা হয় এবং যেগুলি কেবল প্রক্রিয়াটি পর্যবেক্ষণ করে তাদের মনিটর বলা হয়। এই ধরনের বেশিরভাগ যন্ত্রই সেন্সর হিসাবে একটি কোয়ার্টজ স্ফটিক মাইক্রোব্যালেন্স ব্যবহার করে। কখনও কখনও অপটিক্যাল পরিমাপ ব্যবহার করা হয়; এটি বিশেষভাবে উপযুক্ত হতে পারে যদি জমা করা ফিল্মটি একটি পাতলা ফিল্ম অপটিক্যাল ডিভাইসের অংশ হয়। একটি পুরুত্ব মনিটর তার সেন্সরটিতে কতটা উপাদান জমা হয়েছে তা পরিমাপ করে। বেশিরভাগ জমা প্রক্রিয়া অন্তত কিছুটা দিকনির্দেশক হয়। সেন্সর এবং নমুনা সাধারণত জমা উৎস থেকে একই দিকে থাকতে পারে না (যদি সেগুলি থাকে, তবে উৎসের কাছাকাছি একটি অন্যটিকে ছায়া করবে), এবং এমনকি এটি থেকে একই দূরত্বে নাও থাকতে পারে। অতএব, যে হারে সেন্সরটিতে উপাদান জমা হয় তা নমুনায় জমা হওয়ার হারের সমান নাও হতে পারে। দুটি হারের অনুপাতকে কখনও কখনও "টুলিং ফ্যাক্টর" বলা হয়। সতর্কতার সাথে কাজ করার জন্য, কিছু নমুনায় জমা হওয়া উপাদানের পরিমাণ পরিমাপ করে এবং পুরুত্ব মনিটরের পরিমাপের সাথে তুলনা করে টুলিং ফ্যাক্টরটি পরীক্ষা করা উচিত। এটি করার জন্য প্রায়শই ফিজো ইন্টারফেরোমিটার ব্যবহার করা হয়। পাতলা ফিল্মের পুরুত্ব এবং বৈশিষ্ট্যের উপর নির্ভর করে আরও অনেক কৌশল ব্যবহার করা যেতে পারে, যার মধ্যে রয়েছে পৃষ্ঠ প্রোফাইলার, উপবৃত্তাকার, দ্বৈত মেরুকরণ ইন্টারফেরোমেট্রি এবং নমুনার ক্রস-সেকশনের স্ক্যানিং ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপি। অনেক পুরুত্ব মনিটর এবং নিয়ন্ত্রক জমা শুরু হওয়ার আগে যন্ত্রের মধ্যে টুলিং ফ্যাক্টরগুলি প্রবেশ করার অনুমতি দেয়। সঠিক টুলিং ফ্যাক্টরটি নিম্নরূপ গণনা করা যেতে পারেঃ যেখানে ফাই হল প্রাথমিক টুলিং ফ্যাক্টর, টিআই হল যন্ত্র দ্বারা নির্দেশিত ফিল্মের পুরুত্ব, এবং টিএম হল জমা হওয়া ফিল্মের প্রকৃত, স্বাধীনভাবে পরিমাপ করা পুরুত্ব। যদি কোনও টুলিং ফ্যাক্টর আগে থেকে সেট বা ব্যবহার না করা থাকে, তাহলে ফাই 1-এর সমান। রেফারেন্স পরিমাপের যন্ত্র ভ্যাকুয়াম সিস্টেম