Thermochemical nanolithography
থার্মোকেমিক্যাল ন্যানোলিথোগ্রাফি (টি. সি. এন. এল) বা থার্মোকেমিক্যাল স্ক্যানিং প্রোব লিথোগ্রাফি (টি. সি-এস. পি. এল) একটি স্ক্যানিং প্রোব মাইক্রোস্কোপি-ভিত্তিক ন্যানোলিথোগ্রাফি কৌশল যা রাসায়নিক কার্যকারিতা বা পৃষ্ঠের পর্যায় পরিবর্তন করতে তাপীয়ভাবে সক্রিয় রাসায়নিক প্রতিক্রিয়াগুলিকে ট্রিগার করে। দ্রুত প্রোব স্ক্যানিংয়ের মাধ্যমে রাসায়নিক পরিবর্তনগুলি খুব দ্রুত লেখা যেতে পারে, যেহেতু কোনও ভর অগ্রভাগ থেকে পৃষ্ঠে স্থানান্তরিত হয় না এবং লেখার গতি কেবল তাপ স্থানান্তর হারের দ্বারা সীমাবদ্ধ থাকে। 2007 সালে জর্জিয়া ইনস্টিটিউট অফ টেকনোলজির একটি দল টিসিএনএল উদ্ভাবন করে। রিডো এবং সহযোগীরা দেখিয়েছেন যে টিসিএনএল 1 মিমি/সেকেন্ড পর্যন্ত স্ক্যান গতিতে 12 এনএম পর্যন্ত বৈশিষ্ট্যের আকার সহ স্থানীয় রাসায়নিক পরিবর্তন তৈরি করতে পারে। টি. সি. এন. এল 2013 সালে মোনা লিসার একটি ন্যানো-স্কেল প্রতিরূপ তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়েছিল যা বিভিন্ন প্রোব টিপ তাপমাত্রার সাথে "আঁকা"। মিনি লিসা নামে পরিচিত এই প্রতিকৃতিটি মূল প্রতিকৃতির আকারের প্রায় 1/25,000 তম পরিমাপ করা হয়েছিল। কৌশল এ. এফ. এম তাপীয় ক্যান্টিলিভারগুলি সাধারণত ঐতিহ্যবাহী বাল্ক এবং পৃষ্ঠ মাইক্রো-মেশিনিং প্রক্রিয়া ব্যবহার করে একটি সিলিকন ওয়েফার থেকে তৈরি করা হয়। তার অত্যন্ত ডোপড সিলিকন উইংয়ের মাধ্যমে বৈদ্যুতিক প্রবাহ প্রয়োগের মাধ্যমে, প্রোবের অগ্রভাগের চারপাশে হালকা ডোপিং জোনে প্রতিরোধী উত্তাপ ঘটে, যেখানে তাপের বৃহত্তম ভগ্নাংশ অপচয় হয়। ছোট আয়তনের কারণে টিপটি তার তাপমাত্রা খুব দ্রুত পরিবর্তন করতে সক্ষম হয়; পলিকার্বনেটের সংস্পর্শে একটি গড় টিপের সময় ধ্রুবক 0.35 এমএস থাকে। টিপগুলি 10 মেগাহার্টজ পর্যন্ত পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা এবং 1100 ডিগ্রি সেলসিয়াসের মধ্যে সাইকেল চালানো যেতে পারে এবং পৃষ্ঠ এবং টিপ তাপমাত্রা থেকে টিপের দূরত্ব স্বাধীনভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে। প্রয়োগগুলি প্রোটিন, জৈব অর্ধপরিবাহী, ইলেক্ট্রোলুমিনেসেন্ট কনজুগেটেড পলিমার এবং ন্যানোরিবন প্রতিরোধকগুলিতে তাপীয়ভাবে সক্রিয় বিক্রিয়া শুরু হয়েছে। কার্যকরী গোষ্ঠীগুলির সুরক্ষা হ্রাস (কখনও কখনও তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট জড়িত) এবং গ্রাফিন অক্সাইডের হ্রাস প্রদর্শিত হয়েছে। ন্যানোস্কেলে একটি পলিমার পৃষ্ঠের আর্দ্রতা সংশোধন করা হয়েছে এবং পলি (পি-ফেনিলিন ভিনাইলিন) (একটি ইলেক্ট্রোলুমিনেসেন্স কনজুগেটেড পলিমার)-এর ন্যানোস্ট্রাকচার তৈরি করা হয়েছে। প্রোটিন এবং ডি. এন. এ-র মতো ন্যানো-বস্তুর সমাবেশের জন্য পলিমার ফিল্মের উপর ন্যানোস্কেল টেমপ্লেট তৈরি করা হয়েছে এবং 213 গিগাবাইট/ইন2 পর্যন্ত সঞ্চয় ঘনত্ব সহ ফেরোইলেকট্রিক সিরামিকের স্ফটিকীকরণ তৈরি করা হয়েছে। উল্লেখযোগ্যভাবে বিভিন্ন তাপমাত্রায় একাধিক রাসায়নিক বিক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যেতে পারে এমন একটি উপাদানের ব্যবহার একটি বহু-অবস্থা ব্যবস্থার দিকে পরিচালিত করতে পারে, যেখানে বিভিন্ন কার্যকারিতা বিভিন্ন তাপমাত্রায় সমাধান করা যেতে পারে। অন্যান্য লিথোগ্রাফিক কৌশলের সাথে তুলনা থার্মো-মেকানিক্যাল স্ক্যানিং প্রোব লিথোগ্রাফি প্যাটার্নিং উদ্দেশ্যে ইন্ডেন্টেশন তৈরি করতে তাপ এবং বলের ক্রমের প্রয়োগের উপর নির্ভর করে (আরও দেখুনঃ মিলিপেড মেমরি)। থার্মাল স্ক্যানিং প্রোব লিথোগ্রাফি (টি-এস. পি. এল) তৈরি ভূসংস্থান রাসায়নিকভাবে পরিবর্তন করার অভিপ্রায় ছাড়াই একটি স্তর থেকে উপাদান অপসারণে বিশেষজ্ঞ। স্থানীয় জারণ ন্যানোলিথোগ্রাফি প্রোব টিপের চারপাশে একটি জলের মেনিস্কাসে জারণ প্রতিক্রিয়ার উপর নির্ভর করে। আরও দেখুন ন্যানোলিথোগ্রাফি ন্যানোটেকনোলজি স্ক্যানিং প্রোব লিথোগ্রাফি স্থানীয় জারণ ন্যানোলিথোগ্রাফি ডিপ-পেন ন্যানোলিথোগ্রাফি পারমাণবিক বল মাইক্রোস্কোপি স্ক্যানিং প্রোব মাইক্রোস্কোপি রেফারেন্স জর্জিয়া ইনস্টিটিউট অফ টেকনোলজির পিকোফোর্স ল্যাবরেটরি