Journal of Vacuum Science and Technology
দ্য জার্নাল অফ ভ্যাকুয়াম সায়েন্স অ্যান্ড টেকনোলজি হল আমেরিকান ভ্যাকুয়াম সোসাইটির পক্ষ থেকে আমেরিকান ইনস্টিটিউট অফ ফিজিক্স দ্বারা এ এবং বি দুটি অংশে প্রকাশিত একটি পিয়ার-পর্যালোচিত বৈজ্ঞানিক জার্নাল। এটি 1964 সালে প্রতিষ্ঠিত হয় এবং এর প্রধান সম্পাদক হলেন এরে আইদিল (মিনেসোটা বিশ্ববিদ্যালয়)। ইতিহাস 1964-1982 জার্নাল অফ ভ্যাকুয়াম সায়েন্স অ্যান্ড টেকনোলজি 1983-বর্তমান জার্নাল অফ ভ্যাকুয়াম সায়েন্স অ্যান্ড টেকনোলজি এঃ ভ্যাকুয়াম, সারফেস এবং ফিল্মস জার্নাল অফ ভ্যাকুয়াম সায়েন্স অ্যান্ড টেকনোলজি বিঃ মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স প্রসেসিং এবং ফেনোমেনা 1991-বর্তমান জার্নাল অফ ভ্যাকুয়াম সায়েন্স অ্যান্ড টেকনোলজি বিঃ মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স এবং ন্যানোমিটার স্ট্রাকচারস পার্ট এ পার্ট এ প্রয়োগকৃত পৃষ্ঠ বিজ্ঞান, বৈদ্যুতিন উপকরণ এবং প্রক্রিয়াকরণ, ফিউশন প্রযুক্তি, প্লাজমা প্রযুক্তি, পৃষ্ঠ বিজ্ঞান, পাতলা ফিল্ম, ভ্যাকুয়াম ধাতুবিদ্যা এবং ভ্যাকুয়াম প্রযুক্তি অন্তর্ভুক্ত করে। জার্নাল সাইটেশন রিপোর্টস অনুসারে, জার্নালটির 2015 সালের 1.724 প্রভাব ফ্যাক্টর রয়েছে। পার্ট বি পার্ট বি বিভিন্ন উপকরণের ভ্যাকুয়াম এবং প্লাজমা প্রক্রিয়াকরণ, তাদের কাঠামোগত বৈশিষ্ট্য, মাইক্রোলিথোগ্রাফি এবং সাবমাইক্রোমিটার এবং ন্যানোমিটার কাঠামো এবং যন্ত্রগুলির পদার্থবিজ্ঞান এবং রসায়নকে অন্তর্ভুক্ত করে। জার্নাল সাইটেশন রিপোর্টস অনুসারে, জার্নালটির 2014 সালের 1.398 প্রভাব ফ্যাক্টর রয়েছে। রেফারেন্স এক্সটার্নাল লিঙ্ক ফিজিক্স জার্নাল ইংরেজি ভাষার জার্নাল 1964 সালে প্রতিষ্ঠিত একাডেমিক জার্নাল দ্বি-মাসিক জার্নাল আমেরিকান ইনস্টিটিউট অফ ফিজিক্স একাডেমিক জার্নাল