Patterning by etching at the nanoscale
প্যাটার্নিং বাই ইচিং অ্যাট দ্য ন্যানোস্কেল (পি. ই. এন) হল একটি নরম লিথোগ্রাফিক কৌশল যেখানে পলিডিমিথাইলসিলোক্সেন (পি. ডি. এম. এস) ম্যাট্রিক্সের বন্ধনগুলি ভেঙে নিয়ন্ত্রিতভাবে পি. ডি. এম. এস (অর্থাৎ পি. ডি. এম. এস) খোদাই করা হয়। দ্রবীভূত করুন) একটি পৃষ্ঠে প্রয়োগ করা একটি প্যাটার্নযুক্ত পিডিএমএস স্ট্যাম্প দিয়ে গঠিত একটি পিডিএমএস চ্যানেলের বাইরের দিকে ধীর গতিতে। স্ট্যাম্পের চ্যানেলটি কয়েক ন্যানোমিটার থেকে কয়েক মাইক্রোমিটার পর্যন্ত প্রসারিত করা যেতে পারে। একটি পৃষ্ঠের একটি নতুন এলাকা উন্মুক্ত করা যার সাথে প্রতিক্রিয়া করা যেতে পারে। পি. ডি. এম. এস-এ সিলিকন-অক্সিজেন বন্ধনের পলিমার চেইন রয়েছে, এই বন্ধনগুলি ফ্লোরাইডযুক্ত প্রজাতি দ্বারা ভেঙে ফেলা যেতে পারে, একইভাবে সিলিকন ওয়েফারগুলি হাইড্রোফ্লোরিক অ্যাসিড, অ্যামোনিয়াম ফ্লোরাইড এবং সম্পর্কিত যৌগগুলির সাথে খোদাই করে প্রস্তুত করা হয়। একটি পি. ডি. এম. এস স্ট্যাম্প স্থাপন করে যাতে একটি চ্যানেল থাকে যা একটি পৃষ্ঠে বাহ্যিকভাবে ভরাট করা যেতে পারে, সেই পৃষ্ঠটি চ্যানেলের এলাকায় কার্যকরী করা যেতে পারে। ততদিনে চ্যানেলের মাধ্যমে একটি খোদাই সমাধান চালানো হবে, পি. ডি. এম. এস-এর কিছু অংশ সরিয়ে ফেলা হবে। পৃষ্ঠের একটি নতুন এলাকা উন্মুক্ত করা। এটি তখন উপযুক্ত রসায়ন দ্বারা কার্যকরী করা যেতে পারে। উৎপাদিত বৈশিষ্ট্যের প্রস্থ ইচান্ট এবং সময় দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হয়। ছোট প্যাটার্নযুক্ত বৈশিষ্ট্যগুলির উৎপাদনের জন্য এই কৌশলটি প্রয়োগ করার জন্য এটি প্রয়োজন যে পৃষ্ঠটি চ্যানেল দ্বারা উন্মুক্ত অঞ্চলে এটিকে নিষ্ক্রিয় করার জন্য প্রতিক্রিয়া জানাতে পারে, তারপরে খোদাই করে এবং তারপরে দূরে প্রতিক্রিয়া জানাতে পারে যা কেবল নতুন উন্মুক্ত অঞ্চলে ঘটবে। তথ্যসূত্র পেরিং এম., মিচেল, এম., কেনিস পি. জে। এ., বোডেন এন. বি., কেম। ম্যাট 2007 19 (11), 2903 ন্যানো ইলেকট্রনিক্স