Overlay control
সিলিকন ওয়েফার তৈরিতে ওভারলে নিয়ন্ত্রণ হল সিলিকন ওয়েফার তৈরিতে প্রয়োজনীয় প্যাটার্ন-টু-প্যাটার্ন প্রান্তিককরণের নিয়ন্ত্রণ। সিলিকন ওয়েফারগুলি বর্তমানে পর্যায়ক্রমে তৈরি করা হয়, প্রতিটি পর্যায়ে ওয়েফারের উপর উপাদানগুলির একটি প্যাটার্ন স্থাপন করা হয়; এইভাবে ট্রানজিস্টর, পরিচিতি ইত্যাদি, বিভিন্ন উপকরণ দিয়ে তৈরি, স্থাপন করা হয়। চূড়ান্ত যন্ত্রটি সঠিকভাবে কাজ করার জন্য, এই পৃথক নিদর্শনগুলি অবশ্যই সঠিকভাবে সারিবদ্ধ করতে হবে-উদাহরণস্বরূপ পরিচিতি, লাইন এবং ট্রানজিস্টরগুলিকে অবশ্যই সারিবদ্ধ হতে হবে। ওভারলে নিয়ন্ত্রণ সর্বদা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করেছে, যা মাল্টি-লেয়ার ডিভাইস স্ট্রাকচারে লেয়ার-টু-লেয়ার অ্যালাইনমেন্ট পর্যবেক্ষণ করতে সহায়তা করে। যে কোনও ধরনের ভুল বিন্যাস শর্ট সার্কিট এবং সংযোগ ব্যর্থতার কারণ হতে পারে, যা ফলস্বরূপ ফ্যাব ফলন এবং মুনাফার মার্জিনকে প্রভাবিত করে। ওভারলে নিয়ন্ত্রণ এখন আরও বেশি গুরুত্বপূর্ণ হয়ে উঠেছে কারণ ক্রমবর্ধমান প্যাটার্ন ঘনত্ব এবং ডাবল প্যাটার্নিং এবং 193 এনএম নিমজ্জন লিথোগ্রাফির মতো উদ্ভাবনী কৌশলগুলির সংমিশ্রণ 45 এনএম প্রযুক্তি নোড এবং নীচে প্যাটার্ন-ভিত্তিক ফলন চ্যালেঞ্জগুলির একটি অভিনব সেট তৈরি করে। এই সংমিশ্রণটি ত্রুটি বাজেটকে নকশা নিয়মের 30 শতাংশের নিচে সঙ্কুচিত করে, যেখানে বিদ্যমান ওভারলে মেট্রোলজি সমাধানগুলি মোট পরিমাপ অনিশ্চয়তা (টিএমইউ) প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে না। উচ্চ পরিমাপের নির্ভুলতা/নির্ভুলতা এবং প্রক্রিয়া দৃust়তা উভয়ই সহ ওভারলে মেট্রোলজি সমাধানগুলি ক্রমবর্ধমান কঠোর ওভারলে বাজেটগুলিকে সম্বোধন করার সময় মূল কারণ। সফল উৎপাদন র্যাম্প এবং 45 এনএম এবং তারও বেশি উচ্চ উৎপাদনের জন্য ছোট, মাইক্রো-গ্রেটিং বা অন্যান্য অভিনব লক্ষ্য ব্যবহার করে উচ্চতর অর্ডার ওভারলে নিয়ন্ত্রণ এবং ইন-ফিল্ড মেট্রোলজি অপরিহার্য হয়ে উঠছে। বিশ্বব্যাপী ব্যাপকভাবে গৃহীত আচ্ছাদন পরিমাপের সরঞ্জামগুলির উদাহরণ হল কে. এল. এ-টেনকরের আর্চার এবং ন্যানোমেট্রিক্স ক্যালিপার সিরিজ, আচ্ছাদন মেট্রোলজি প্ল্যাটফর্ম। সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্র নির্মাণ