Process variation (semiconductor)
প্রক্রিয়াগত বৈচিত্র্য হল ট্রানজিস্টরের বৈশিষ্ট্যগুলির (দৈর্ঘ্য, প্রস্থ, অক্সাইড পুরুত্ব) প্রাকৃতিকভাবে ঘটে যাওয়া বৈচিত্র্য যখন সমন্বিত বর্তনীগুলি তৈরি করা হয়। প্রক্রিয়া বৈচিত্র্যের পরিমাণ বিশেষত ছোট প্রক্রিয়া নোডগুলিতে (<65 এনএম) উচ্চারিত হয় কারণ বৈচিত্র্যটি যন্ত্রের পূর্ণ দৈর্ঘ্য বা প্রস্থের একটি বড় শতাংশ হয়ে যায় এবং বৈশিষ্ট্যের আকারগুলি পরমাণুর আকার এবং তরঙ্গদৈর্ঘ্যের মতো মৌলিক মাত্রার কাছে পৌঁছায়। প্রক্রিয়া বৈচিত্র্য সমস্ত সার্কিটের আউটপুট পারফরম্যান্সে পরিমাপযোগ্য এবং অনুমানযোগ্য বৈচিত্র্য সৃষ্টি করে তবে বিশেষত এনালগ সার্কিটগুলি অসামঞ্জস্যের কারণে। যদি বৈচিত্র্য একটি নির্দিষ্ট আউটপুট মেট্রিকের (ব্যান্ডউইথ, লাভ, উত্থানের সময় ইত্যাদি) পরিমাপ বা সিমুলেটেড পারফরম্যান্সের কারণ হয়। নির্দিষ্ট সার্কিট বা ডিভাইসের জন্য নির্দিষ্টকরণের নিচে নেমে যাওয়া বা উপরে ওঠা, এটি সেই সেট ডিভাইসের সামগ্রিক ফলন হ্রাস করে। ট্রানজিস্টরের সহ-উদ্ভাবক উইলিয়াম শকলি তাঁর 1961 সালের জংশন ভাঙ্গনের বিশ্লেষণে অর্ধপরিবাহীর বৈচিত্র্যের প্রথম উল্লেখ করেছিলেন। 1974 সালে শেমমার্ট এবং জিমার থ্রেশহোল্ড-ভোল্টেজ সংবেদনশীলতার উপর তাদের গবেষণাপত্র সহ পদ্ধতিগত পরিবর্তনের একটি বিশ্লেষণ করেছিলেন। এই গবেষণাটি এম. ও. এস যন্ত্রগুলির প্রান্তিক ভোল্টেজের উপর অক্সাইডের পুরুত্ব এবং প্রতিস্থাপনের শক্তির প্রভাবের দিকে নজর দিয়েছিল। বৈচিত্র্যের উৎস 1) গেট অক্সাইডের পুরুত্ব 2) এলোমেলো ডোপ্যান্টের ওঠানামা 3) যন্ত্রের জ্যামিতি, ন্যানোমিটার অঞ্চলে লিথোগ্রাফি বৈশিষ্ট্য অর্ধপরিবাহী ফাউন্ড্রিগুলি ট্রানজিস্টরের বৈশিষ্ট্যগুলির (দৈর্ঘ্য, প্রস্থ, অক্সাইডের পুরুত্ব ইত্যাদি) পরিবর্তনশীলতার উপর বিশ্লেষণ চালায়। প্রতিটি নতুন প্রসেস নোডের জন্য। এই পরিমাপগুলি রেকর্ড করা হয় এবং ফ্যাবলেস সেমিকন্ডাক্টর সংস্থাগুলির মতো গ্রাহকদের সরবরাহ করা হয়। ফাইলগুলির এই সেটটি সাধারণত শিল্পে "মডেল ফাইল" হিসাবে উল্লেখ করা হয় এবং ডিজাইনের অনুকরণের জন্য ইডিএ সরঞ্জাম দ্বারা ব্যবহৃত হয়। এফ. ই. ও. এল সাধারণত প্রসেস মডেলগুলিতে (উদাহরণস্বরূপ এইচ. এস. পি. আই. সি. ই) ফ্রন্ট এন্ড অফ লাইন অবস্থার উপর ভিত্তি করে প্রসেস কর্নার অন্তর্ভুক্ত থাকে। এগুলি প্রায়শই একটি সাধারণ বা নামমাত্র বিন্দুতে কেন্দ্রীভূত থাকে এবং এতে দ্রুত এবং ধীর কোণও থাকে যা প্রায়শই এন-টাইপ এবং পি-টাইপ কোণে বিভক্ত থাকে যা অ-রৈখিক সক্রিয় এন +/পি + ডিভাইসগুলিকে বিভিন্ন উপায়ে প্রভাবিত করে। উদাহরণস্বরূপ, নামমাত্র এন + এবং পি + ট্রানজিস্টরের জন্য টিটি, দ্রুত এন + এবং পি + ট্রানজিস্টরের জন্য এফএফ, দ্রুত এন + এবং ধীর পি + ট্রানজিস্টরের জন্য এফএস ইত্যাদি। বি. ই. ও. এল পরজীবী তারের মডেলিং করার সময় প্রক্রিয়া কোণগুলির একটি অর্থোগোনাল সেট প্রায়শই পরজীবী নিষ্কাশন ডেক দিয়ে সরবরাহ করা হয়। (উদাহরণ স্টার-আরসি এক্সট্রাকশন ডেক)। এই কোণগুলি সাধারণত লক্ষ্য মানের জন্য সাধারণ/নামমাত্র এবং পরিবাহীর পুরুত্ব, পরিবাহীর প্রস্থ এবং পরিবাহী অক্সাইডের পুরুত্বের বৈচিত্র্যের জন্য সেরা/সবচেয়ে খারাপ কোণ হিসাবে তালিকাভুক্ত করা হয় যার ফলে তারের উপর সর্বনিম্ন/সর্বাধিক ধারণক্ষমতা থাকে। প্রায়শই আরসিবেস্ট এবং আরসিওয়ারস্ট নামে একটি অতিরিক্ত কোণ সরবরাহ করা হয় যা কন্ডাক্টর প্যারামিটারগুলি বেছে নেয় যার ফলে পুরুত্ব এবং প্রস্থের জন্য সেরা (সর্বনিম্ন) এবং সবচেয়ে খারাপ (সর্বোচ্চ) তারের প্রতিরোধের ফলাফল হয় এবং তারপরে অক্সাইডের পুরুত্ব যোগ করে যা অক্সাইডের পুরুত্বের কারণে সেরা (সর্বনিম্ন) এবং সবচেয়ে খারাপ (সর্বোচ্চ) ধারণক্ষমতা যোগ করে কারণ এই মানটি তারের প্রতিরোধের সাথে সরাসরি সম্পর্কযুক্ত নয়। ওয়ার্কারাউন্ডস অ্যান্ড সলিউশনস স্ট্যাটিস্টিক্যাল অ্যানালাইসিস ডিজাইনাররা এই পদ্ধতিটি ব্যবহার করে নির্দিষ্ট প্রক্রিয়ার জন্য ট্রানজিস্টরগুলির পরিমাপ করা পরিবর্তনশীলতা অনুসারে সার্কিটের আউটপুটগুলি কীভাবে আচরণ করবে তা বিশ্লেষণ করতে দশ থেকে হাজার হাজার সিমুলেশন চালায়। ট্রানজিস্টরগুলির জন্য পরিমাপ করা মানদণ্ডগুলি সিমুলেশন করার আগে তাদের সার্কিটগুলি সিমুলেট করার জন্য ডিজাইনারদের দেওয়া মডেল ফাইলগুলিতে রেকর্ড করা হয়। ডিজাইনারদের দ্বারা ব্যবহৃত সবচেয়ে মৌলিক পদ্ধতি হল এমন যন্ত্রের আকার বৃদ্ধি করা যা অসামঞ্জস্যের প্রতি সংবেদনশীল। টপোলজি অপ্টিমাইজেশন এটি পলিশিং ইত্যাদির কারণে বৈচিত্র্য কমাতে ব্যবহৃত হয়। প্যাটার্ন কৌশল লাইন প্রান্তের রুক্ষতা কমাতে, উন্নত লিথোগ্রাফি কৌশল ব্যবহার করা হয়। আরও দেখুন সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন ট্রানজিস্টর মডেল রেফারেন্স এক্সটার্নাল লিঙ্ক সি. এম. ও. এস প্রক্রিয়ার বৈচিত্র্যঃ এগুলি কি অনিবার্য, নাকি একটি উপসর্গ বা অপরিণততা? প্রক্রিয়ার বৈচিত্র্যঃ একটি ক্রিটিক্যাল অপারেশন পয়েন্ট হাইপোথিসিস সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস ফ্যাব্রিকেশন