触觉传感器
测量非常小的变化的传感器必须具有非常高的灵敏度。传感器需要设计为对被测量值产生尽可能小的影响；通常，将传感器设计得尽可能小巧可以减小对被测量值的影响，并可能带来其他优点。 触觉传感器可用于测试所有类型应用的性能。 例如，触觉传感器已被用于汽车制造（如制动器，离合器，门封， 垫片）、电池层压、螺栓连接、燃料电池等。
图像传感器
有一种混合CCD/CMOS架构，由CMOS資料输出集成數位電路与一片CCD图像传感衬底接合在一起。这项技术是为红外线观察而发展，现在转而用于基于硅的探测器技术。另外一个途径是采用非常精细的CMOS技术来实现将CCD以CMOS的结构安装。通过在单独的多晶硅（）栅极之间安置非常小的间隙，这项技术有望实现。上述的混合传感器尚处于研究阶段，可以推动CCD和CMOS两种不同技术的共同发展。