顕微鏡
最初の顕微鏡は1590年、オランダのミデルブルフで眼鏡製造者サハリアス・ヤンセンと父のハンス・ヤンセンが作った。他に、同じ眼鏡製造者であるハンス・リッペルスハイ（望遠鏡を最初に作ったといわれる）が顕微鏡も最初に作ったとする説もある。ただし、彼らがこれを使って何か意味のある観察をしたという記録はない。
イオン顕微鏡
電界イオン顕微鏡（イオンけんびきょう 英名:Field ion microscope;FIM）は尖鋭化した試料先端部を実空間実時間で観測できる投影型の顕微鏡。
電子顕微鏡の電子の代わりにヘリウム、ネオンなどのイオンを使用して拡大像を得る装置。
画像化に使用される粒子の波長によって空間分解能が制限される従来の顕微鏡とは異なり、FIMは原子レベルの解像度とおよそ数百万倍の拡大率を備える投影型の顕微鏡で、極めて単純な構造でありながら、原子を観測することが可能で、世界で初めて原子の観察に成功した経緯がある。
1951年に米国のペンシルバニア州立大学のが創案。