顕微鏡
最初の顕微鏡は1590年、オランダのミデルブルフで眼鏡製造者サハリアス・ヤンセンと父のハンス・ヤンセンが作った。他に、同じ眼鏡製造者であるハンス・リッペルスハイ（望遠鏡を最初に作ったといわれる）が顕微鏡も最初に作ったとする説もある。ただし、彼らがこれを使って何か意味のある観察をしたという記録はない。
電子線ホログラフィ
電子は光の10万分の1という短い波長をもっているのでその位相情報を活用すれば高分解能の画像が得られる。電子顕微鏡に備えられ、電子線の干渉を利用して高分解能の試料の画像を得る。そもそもホログラフィ自体が1947年にハンガリーの物理学者であるガーボル・デーネシュによって電子顕微鏡を改良する過程で発明されたという経緯がある。レーザーが1960年に発明され、光波ホログラフィは実用化に向けて大きく進展したが、電子線ホログラフィの実用化には良質な位相の揃った電界放射型電子銃が開発されるまで待たねばならず、1978年に電子波の干渉縞を3000本以上作ることができて電子線の干渉性が従来の電子顕微鏡よりも一桁向上した高い干渉性を持った電界放射型電子顕微鏡が外村彰達によって開発されたことにより、実用段階に到達した。