顕微鏡
最初の顕微鏡は1590年、オランダのミデルブルフで眼鏡製造者サハリアス・ヤンセンと父のハンス・ヤンセンが作った。他に、同じ眼鏡製造者であるハンス・リッペルスハイ（望遠鏡を最初に作ったといわれる）が顕微鏡も最初に作ったとする説もある。ただし、彼らがこれを使って何か意味のある観察をしたという記録はない。
超音波顕微鏡
走査型超音波顕微鏡は1973年に開発された。
超音波顕微鏡では、平面振動子から発信された平面波をサファイヤなどの音響レンズで収束させるか、凹面振動子により収束させて焦点において超音波をほぼ波長と同レベルまで絞り込む。集束超音波は水カプラを介して試料に照射され、計測には試料表面に励振される漏洩弾性表面波（Leaky Surface Acoustic Wave LSAW）が利用される。現在は機械走査型の超音波顕微鏡が主流で、スライドガラス上に載せた組織切片や培養細胞などの上を振動子が二次元走査により画像を取得する。