Spektrometer
Spektrometer adalah alat optik yang digunakan untuk mengamati dan mengukur sudut deviasi cahaya datang karena pembiasan dan dispersi. Dengan menggunakan Hukum Snellius, indeks bias dari kaca prisma untuk panjang gelombang tertentu atau warna tertentu dapat ditentukan.
Ellipsometer
Cara kerja alat ini adalah mempolarisasi secara elips sinar laser kemudian memantulkannya ke objek yang dicari ketebalannya seperti wafer yang sudah dilapisi oleh endapan SiO2. Pantulan dari cahaya terpolarisasi ini diukur intensitasnya dengan CCD.