Indeks bias
Jika seberkas cahaya datang dan membentuk sudut terhadap permukaan, maka berkas cahaya tersebut ada yang dibelokkan sewaktu memasuki medium baru tersebut, di mana pembelokan itu disebut dengan "pembiasan". Alat yang di gunakan untuk mengukur indeks bias adalah "refractometer"
Ellipsometer
Cara kerja alat ini adalah mempolarisasi secara elips sinar laser kemudian memantulkannya ke objek yang dicari ketebalannya seperti wafer yang sudah dilapisi oleh endapan SiO2. Pantulan dari cahaya terpolarisasi ini diukur intensitasnya dengan CCD.