لیتوگرافی اشعه ایکس
لیتوگرافی اشعه ایکس بعنوان کاندید برای لیتوگرافی نسل بعدی برای صنعت نیمه هادی ها با دسته هایی از ریزپردازنده ها با موفقیت معرفی شده است. داشتن طول موج کوتاه (زیر 1 نانومتر) اشعه ایکس، بر محدودیت‌های پراش لیتوگرافی نوری غلبه میکند و امکان ایجاد اندازه‌های کوچک‌تر را فراهم میکند. اگر منبع اشعه ایکس همسو و هم جهت نباشد، مانند تابش سنکروترون، از آینه‌های تقلیل‌دهنده اولیه یا عدسی‌های پراش به جای عدسی‌های انکساری مورد استفاده در اپتیک استفاده می‌شود تا اشعه ها را متمرکز تر و با بازدهی بیشتر ساتع نماید. اشعه ایکس ماسکی را که در مجاورت یک ویفر با پوشش مقاوم قرار داده شده است، روشن می نماید. پرتوهای اشعه ایکس دارای باندی پهن میباشند، که معمولاً از یک منبع تشعشع سنکروترون فشرده و امکان قرار گرفتن در معرض سریع را فراهم میکنند. لیتوگرافی اشعه ایکس عمیق (DXRL) از طول موج های کوتاه تر مثلا در حد 0.1 نانومتر و روش های اصلاح شده مانند فرآیند (LIGA) برای ساخت ساختارهای عمیق و حتی بعضا سه بعدی استفاده می کند.
تقویت‌کننده تصویر پرتو ایکس
تقویت‌کننده تصویر اشعه ایکس در اوایل دهه ۱۹۵۰ در دسترس قرار گرفت و از طریق یک میکروسکوپ مشاهده شد. مشاهده خروجی تا قبل از سازگاری سیستم‌های تلویزیون در دهه ۱۹۶۰ از طریق آینه‌ها و سیستم‌های نوری انجام می‌شد. علاوه بر این، خروجی توانست بر روی سیستم‌های با یک دوربین فیلمبرداری ۱۰۰ میلی‌متری با استفاده از خروجی‌های پالس از یک لوله اشعه ایکس شبیه به نوردهی رادیوگرافی نرمال ضبط شود. این تفاوت بین تقویت‌کننده تصویر بود و نه کاست صفحه فیلم، که تصویری را برای ضبط ارائه فیلم داد. ابعاد صفحه نمایش ورودی می‌تواند از ۱۵ تا ۵۷ سانتی‌متر باشد، که ۲۳ سانتی‌متر، ۳۳ سانتی‌متر و ۴۰ سانتی‌متر در میان رایج‌ترین ابعاد آن است. در هر تقویت‌کننده تصویر، سایز میدان واقعی را می‌توان با استفاده از ولتاژ اعمال شده به اپتیک الکترونی داخلی تغییر داد تا بتوان به بزرگنمایی دلخواه و کاهش سایز مشاهده دست یافت. به عنوان مثال، مدل ۲۳ سانتی‌متر ای که معمولاً در کاربردهای قلب استفاده می‌شود را می‌توان به قالب ۲۳، ۱۷ و ۱۳ سانتی‌متر تنظیم کرد. از آنجا که صفحه نمایش خروجی دراندازه ثابت باقی می‌ماند، به نظر می‌رسد که خروجی تصویر ورودی را بزرگ کرده‌است.