پرتو ایکس
پَرتوِ ایکس یا اشعه ایکس یا گاهی پرتو رونتگن (Röntgen radation)، نوعی از تابش الکترومغناطیسی با طول موج حدود ۰٫۰۱ تا ۱۰ نانومتر معادل با ۳۰ پِتاهرتز تا ۳۰ اِگزاهرتز ( ۱۰×۳ تا ۱۰×۳ هرتز) و انرژی بین ۱۰۰ الکترون‌ولت تا ۱۰۰ کیلوالکترون‌ولت است. طول موج پرتو ایکس از طول موج پرتو فرابنفش پایین‌تر و از طول موج پرتو گاما بالاتر است. نام دیگر اشعهٔ ایکس، پرتو رونتگن است، که برگرفته از نام ویلهلم رونتگن، کاشف آن است. علت نام‌گذاری پرتو ایکس از طرف ویلهلم رونتگن نشان دادن کشف یک نوع پرتو که ناشناخته بود، است.
لیتوگرافی اشعه ایکس
نظر به اینکه انتشارات مختلف نام برده شده، محدوده الکترون های نسل اولیه، اوگر، ثانویه و فوق کم انرژی که چاپ میکنند ( همانطور که مطالعات STM ثابت کردند) میتواند بزرگ (ده ها نانومتر) یا کوچک (در حد نانومتر) باشد. از آنجایی که این محدوده یک عدد ثابت نیست، تعیین کمیت آن دشوار است. زبری لبه خط توسط عدم قطعیت مرتبط تشدید میشود. ظاهراً زبری لبه خط از نظر منشأ آماری است و فقط به طور غیر مستقیم به میانگین محدوده وابسته است. تحت شرایط معمول لیتوگرافی، محدوده های مختلف الکترون را میتوان کنترل کرد و از آنها بهره برد.