پرتو ایکس
پَرتوِ ایکس یا اشعه ایکس یا گاهی پرتو رونتگن (Röntgen radation)، نوعی از تابش الکترومغناطیسی با طول موج حدود ۰٫۰۱ تا ۱۰ نانومتر معادل با ۳۰ پِتاهرتز تا ۳۰ اِگزاهرتز ( ۱۰×۳ تا ۱۰×۳ هرتز) و انرژی بین ۱۰۰ الکترون‌ولت تا ۱۰۰ کیلوالکترون‌ولت است. طول موج پرتو ایکس از طول موج پرتو فرابنفش پایین‌تر و از طول موج پرتو گاما بالاتر است. نام دیگر اشعهٔ ایکس، پرتو رونتگن است، که برگرفته از نام ویلهلم رونتگن، کاشف آن است. علت نام‌گذاری پرتو ایکس از طرف ویلهلم رونتگن نشان دادن کشف یک نوع پرتو که ناشناخته بود، است.
لیتوگرافی اشعه ایکس
پرتوهای اشعه ایکس الکترون‌های ثانویه را تولید می‌کنند، مانند لیتوگرافی فرابنفش شدید و لیتوگرافی پرتو الکترونی که مواردی از انواع الکترون های ثانویه میباشد. این در حالی است که تعریف الگوی ظریف غالباً به دلیل ثانویه بودن الکترون‌های اوگر با طول مسیر کوتاه است، الکترون‌های اولیه مقاومت را در ناحیه بزرگ‌تری نسبت به قرار گرفتن در معرض اشعه ایکس حساس میکنند. در حالی که این روی واضح بودن گام الگو، که با طول موج و شکاف تعیین می‌شود، تأثیری نمی‌گذارد؛ کنتراست نوردهی تصویر "(حداکثر-حداقل)/(حداکثر+ حداقل)" کاهش می یابد، زیرا گام به ترتیب محدوده فوتوالکترون اولیه است. زبری و شیب دیواره‌های جانبی تحت تأثیر این الکترون‌های ثانویه قرار میگیرند زیرا بسته به انرژی اشعه ایکس می‌توانند چند میکرومتر در ناحیه زیر جاذب حرکت کنند. چندین مقاله در حدود 30 نانومتر منتشر شده است. از دیگر مظاهر اثر فوتوالکترون، قرارگیری در معرض الکترون های تولید شده با اشعه ایکس از لایه های ضخیم طلا است که از این مورد برای ساخت ماسک های دختر استفاده میشود. شبیه‌سازی‌ها نشان می دهند که تولید فوتوالکترون از زیرلایه عنصر طلا، ممکن است بر نرخ انحلال پذیری تأثیر بگذارد.