لیتوگرافی اشعه ایکس
لیتوگرافی اشعه ایکس بعنوان کاندید برای لیتوگرافی نسل بعدی برای صنعت نیمه هادی ها با دسته هایی از ریزپردازنده ها با موفقیت معرفی شده است. داشتن طول موج کوتاه (زیر 1 نانومتر) اشعه ایکس، بر محدودیت‌های پراش لیتوگرافی نوری غلبه میکند و امکان ایجاد اندازه‌های کوچک‌تر را فراهم میکند. اگر منبع اشعه ایکس همسو و هم جهت نباشد، مانند تابش سنکروترون، از آینه‌های تقلیل‌دهنده اولیه یا عدسی‌های پراش به جای عدسی‌های انکساری مورد استفاده در اپتیک استفاده می‌شود تا اشعه ها را متمرکز تر و با بازدهی بیشتر ساتع نماید. اشعه ایکس ماسکی را که در مجاورت یک ویفر با پوشش مقاوم قرار داده شده است، روشن می نماید. پرتوهای اشعه ایکس دارای باندی پهن میباشند، که معمولاً از یک منبع تشعشع سنکروترون فشرده و امکان قرار گرفتن در معرض سریع را فراهم میکنند. لیتوگرافی اشعه ایکس عمیق (DXRL) از طول موج های کوتاه تر مثلا در حد 0.1 نانومتر و روش های اصلاح شده مانند فرآیند (LIGA) برای ساخت ساختارهای عمیق و حتی بعضا سه بعدی استفاده می کند.
ریزموج
امواج میلیمتری دسته ای از امواج ماکروویو هستند که فرکانس آنها بین 30 تا 300 گیگاهرتز است، در حالی که امواج مورد استفاده برای موبایل‌ها و اجاق مایکروفر فرکانسی کمتر از 6 گیگاهرتز دارند. این امواج را میلی‌متری می‌نامند چراکه طول موج آنها بین 1 تا 10 میلی‌متر متغیر است و این در حالیست که امواج رادیویی امروزی که برای انتقال داده‌ها استفاده می‌شوند، ده‌ها سانتیمتر طول موج دارند. نحوه انتشار: یکی از ویژگی های خاص در زمینه امواج میلی‌متری انتشار جهت‌دار آن است در واقع، امواج جهت‌دار در همه جهت پخش نمی‌شوند و توسط باران و شاخ و برگ درختان جذب می شوند اما بُرد آنها در مه و باران بسیار بیشتر از امواج نور مرئی و مادون قرمز می باشد. کاربرد امواج میلیمتری در سلاح مایکروویو و همچنین از امواج میلیمتری برای تصویر برداری و اسکن کل بدن در فرودگاهها استفاده می شود. این امواج با اشعه ایکس که در دستگاههای رادیولوژی استفاده می شود تفاوت دارند و غیره یونیزه هستند.