لیتوگرافی اشعه ایکس
لیتوگرافی اشعه ایکس بعنوان کاندید برای لیتوگرافی نسل بعدی برای صنعت نیمه هادی ها با دسته هایی از ریزپردازنده ها با موفقیت معرفی شده است. داشتن طول موج کوتاه (زیر 1 نانومتر) اشعه ایکس، بر محدودیت‌های پراش لیتوگرافی نوری غلبه میکند و امکان ایجاد اندازه‌های کوچک‌تر را فراهم میکند. اگر منبع اشعه ایکس همسو و هم جهت نباشد، مانند تابش سنکروترون، از آینه‌های تقلیل‌دهنده اولیه یا عدسی‌های پراش به جای عدسی‌های انکساری مورد استفاده در اپتیک استفاده می‌شود تا اشعه ها را متمرکز تر و با بازدهی بیشتر ساتع نماید. اشعه ایکس ماسکی را که در مجاورت یک ویفر با پوشش مقاوم قرار داده شده است، روشن می نماید. پرتوهای اشعه ایکس دارای باندی پهن میباشند، که معمولاً از یک منبع تشعشع سنکروترون فشرده و امکان قرار گرفتن در معرض سریع را فراهم میکنند. لیتوگرافی اشعه ایکس عمیق (DXRL) از طول موج های کوتاه تر مثلا در حد 0.1 نانومتر و روش های اصلاح شده مانند فرآیند (LIGA) برای ساخت ساختارهای عمیق و حتی بعضا سه بعدی استفاده می کند.
اخلاق فناوری
از زمان معرفی اسکنرهای اشعه ایکس تمام بدن به فرودگاه‌ها در سال ۲۰۰۷، بسیاری از نگرانی‌ها دربارهٔ حریم خصوصی مسافران بوجود آمده‌است. از افراد خواسته می‌شود که داخل دستگاه مستطیلی شکل قرار بگیرند که از بدن برهنه شخص با طول موج متناوب تصویربرداری می‌کنند تا اشیا فلزی و غیر فلزی را که زیر لباس مسافر حمل می‌شود، تشخیص دهد. این فناوری غربالگری به دو شکل، فناوری موج میلی‌متر (فناوری امواج MM) یا اشعه ایکس پشتی (مانند اشعه ایکس که دندانپزشکان استفاده می‌کنند) موجود می‌باشد. اسکنرهای تمام بدن برای افزایش امنیت و بهبود کیفیت غربالگری اشیایی مانند سلاح یا مواد منفجره به دلیل افزایش حملات تروریستی شامل هواپیماها در اوایل دهه ۲۰۰۰ وارد فرودگاه‌ها شدند.