لیتوگرافی اشعه ایکس
لیتوگرافی اشعه ایکس بعنوان کاندید برای لیتوگرافی نسل بعدی برای صنعت نیمه هادی ها با دسته هایی از ریزپردازنده ها با موفقیت معرفی شده است. داشتن طول موج کوتاه (زیر 1 نانومتر) اشعه ایکس، بر محدودیت‌های پراش لیتوگرافی نوری غلبه میکند و امکان ایجاد اندازه‌های کوچک‌تر را فراهم میکند. اگر منبع اشعه ایکس همسو و هم جهت نباشد، مانند تابش سنکروترون، از آینه‌های تقلیل‌دهنده اولیه یا عدسی‌های پراش به جای عدسی‌های انکساری مورد استفاده در اپتیک استفاده می‌شود تا اشعه ها را متمرکز تر و با بازدهی بیشتر ساتع نماید. اشعه ایکس ماسکی را که در مجاورت یک ویفر با پوشش مقاوم قرار داده شده است، روشن می نماید. پرتوهای اشعه ایکس دارای باندی پهن میباشند، که معمولاً از یک منبع تشعشع سنکروترون فشرده و امکان قرار گرفتن در معرض سریع را فراهم میکنند. لیتوگرافی اشعه ایکس عمیق (DXRL) از طول موج های کوتاه تر مثلا در حد 0.1 نانومتر و روش های اصلاح شده مانند فرآیند (LIGA) برای ساخت ساختارهای عمیق و حتی بعضا سه بعدی استفاده می کند.
پروژه اکسکالیبر
اساس مفهومی لیزرهای با طول موج کوتاه با استفاده از اشعه ایکس و اشعه گاما، همانند نمونه‌های نور مرئی است. در اوایل سال ۱۹۶۰ و در اولین اثبات لیزر یاقوت، بحث دربارهٔ این دستگاه‌ها وجود داشت. اولین اعلامیه در مورد ساخته شدن موفق لیزر اشعه ایکس در سال ۱۹۷۲ توسط دانشگاه یوتا داده شد. محققان لایه‌های نازکی از اتم‌های مس را روی لام‌های میکروسکوپ گسترش داده و سپس آنها را با پالس‌های (ضربه) لیزر شیشه نئودیمیم گرم کردند. این باعث شد که نقاط روی فیلم اشعه ایکس در جهت لایه‌ها ظاهر شود. این اعلامیه هیجان فوق‌العاده ای داشت، اما به دنبال تحت تأثیر قرارگرفتن اینکه هیچ آزمایشگاهی دیگر نمی‌تواند نتایج را بازتولید کند، این موضوع زود فراموش شد. در سال ۱۹۷۴، دانشگاه پاریس سود، نقطه متمرکز تابش نور توسط لیزر در یک پلاسمای آلومینیومی که توسط یک پالس نور لیزر ایجاد شده‌است، اعلام کرد، اما بار دیگر، نتایج توسط دیگر آزمایشگاه‌ها به طرز شکاکانه مورد توجه قرار گرفت. از دهه ۱۹۶۰، DARPA بودجه تحقیقات سطح پایین در مورد لیزرهای با فرکانس بالا را تأمین می‌کرد، اما در اواخر سال۱۹۷۶ دست از حمایت کشیدند. آنها به وسیله دینامیک‌های فیزیکی گزارشی در مورد استفاده‌های ممکن از چنین لیزری را تهیه کردند، که شامل سلاح مبتنی بر فضا بود. به نظر می‌رسید که هیچکدامشان امیدوارکننده نیست و دارپا هم منابع مالی را برای تحقیقات لیزر اشعه ایکس کاهش داده بود، در نهایت این به نفع لیزر الکترونیک رایگان، امیدوارکننده‌تر بود.