পরমাণু
পরমাণুর ক্ষুদ্রতম কণিকা ইলেকট্রন।১৮৯৭ খ্রিষ্টাব্দে স্যার জে. জে. থমসন সর্বপ্রথম ইলেকট্রনের অস্তিত্ব আবিষ্কার করেন। একটি ইলেকট্রনের আসল ভর অতি সামান্য 9.1085×10g। ইলেকট্রনের আধান -1.6×10 কুলম্ব । ইলেকট্রন নিউক্লিয়াসের চারদিকে ঘুর্ণায়মান। ইলেকট্রনকে সাধারণত e প্রতীক দ্বারা প্রকাশ করা হয়ে থাকে ।
আর্নস্ট রুস্কা
১৯২৫ থেকে ১৯২৭ সাল পর্যন্ত রুস্কা টেকনিক্যাল ইউনিভার্সিটি অফ মিউনিখে পড়াশোনা করেন। সেখান থেকে পাশ করে ভর্তি হন টেকনিক্যাল ইউনিভার্সিটি অফ বার্লিনে। এই বিশ্ববিদ্যালয়ে গবেষণা করেই তিনি বুঝতে পারেন, আলোর পরিবর্তে ইলেকট্রন ব্যবহার করে অণুবীক্ষণ যন্ত্র তৈরি করা হলে তা দিয়ে কোন বস্তুর অনেক গুণ বিস্তৃত ও বর্ধিত চিত্র পাওয়া সম্ভব। কারণ আলোর ক্ষেত্রে, তরঙ্গদৈর্ঘ্যের মাধ্যমে বিবর্ধনসীমাবদ্ধ হয়ে যায়। ইলেকট্রনের ক্ষেত্রে এই সীমাবদ্ধতাটা থাকে না। ১৯৩১ সালে তিনি একটি ইলেকট্রন লেন্স তৈরি করেন। এরকম অনেকগুলো লেন্সকে শ্রেণী সমবায়ে সন্নিবেশিত করে ১৯৩৩ সালে প্রথম ইলেকট্রন অণুবীক্ষণ যন্ত্র তৈরি করেন।