نانومتر
النانومتر هي وحدة لقياس الأطوال، تستعمل لقياس الأطوال القصيرة جدا ً ومقدارها 10 من المتر. أي 1 مليمتر يحتوي مليون نانو ،لها استخدامات كثيرة في الفيزياء والكيمياء .
آلة دقيقة
الآلات الدقيقة هي كل الأجسام الآلية والتي تصنع بنفس طريقة تصنيع الدوائر المتكاملة. وبشكلٍ عامٍ تعتبر كل الأجسام التي يقع حجمها بين 100 بنانومتر إلى 100 ميكرومتر، ذلك على الرغم من أن تلك النقطة موضع جدل ونقاش. ومن أمثلة تطبيقات الآلات الميكروية أو الدقيقة،مقياس التسارع والذي يتولى فتح الوسادة الهوائية عندما يستشعر اصطدام السيارة بجسمٍ ما. كما تُعد الآلات المعقدة كالتروس والرافعات من الآلات الدقيقة.