Mikroilmasto
Tarkastelualue on meteorologien kielenkäytössä mikä tahansa yhtenäinen pienehkö alue (koivumetsän mikroilmasto, takapihan mikroilmasto, jalkapallokentän mikroilmasto). Rakennustekniikassa voidaan puhua umpinaisten tilojen ilman tilasta ja jopa yksittäisen seinän mikroilmastosta. Biologiassa puolestaan voidaan puhua puun latvuksen eri osissa vallitsevasta mikroilmastosta.
Mikrosysteemit
Tavallisimpia mikrosysteemikomponentteja ovat erilaiset mikroanturit, kuten kapasitiivinen paineanturi, pietsoresistiivinen kiihtyvyysanturi ja mikrobolometri (infrapuna-anturi). Monissa mikrosysteemeissä on mukana aktuaattori, kuten mikropumpuissa, -venttiileissä ja -suuttimissa (mikrofluidistiikka), resonaattoreissa, mikrokytkimissä ja -releissä (RF-MEMS), mikropinseteissä ja elektroporaatiosiruissa (BioMEMS), energiakeräimissä jotka hyödyntävät ympäristön hukkalämpöä tai värähtelyjä (PowerMEMS), mikropeileissä ja valokytkimissä (MOEMS, ). Mikro-optiikassa valoa kuljetetaan kiekon pinnalle valmistetuissa kiinteissä rakenteissa, mutta MOEMS komponenteissa on mukana yleensä aina jokin mekaanisesti liikkuva osa, esimerkiksi interferometrissa paralleelisti liikkuva peili, videoprojektorisirussa digitaalinen kiikkuva peili, tai attenuaattorissa kiertyvä peili.