Hilavirhe
Kiteisissä aineissa atomit tai molekyylit sijaitsevat säännöllisessä järjestyksessä vakinaisella etäisyydellä toisistaan, minkä määrittävät hilavakiot. Useimmissa kiteisissä aineissa säännöllinen järjestys ei kuitenkaan ole täydellinen, vaan siitä esiintyy poikkeamia, joita sanotaan kide­virheiksi.
Valokaarirele
Valokaari voi syntyä esimerkiksi eristysvian, laitteen virheellisen toiminnan, väärien väylä tai kaapeliliitosten, ylijännitteen, syöpymisen, likaantumisen, kosteuden, ferroresonanssin (mittamuuntajat) ja jopa sähköisen kuormituksen aiheuttaman vanhenemisen seurauksena. Useimmat näistä tekijöistä voidaan ehkäistä asianmukaisella huollolla. Varotoimenpiteistä huolimatta inhimilliset erehdykset voivat johtaa valokaarivikoihin.