エッチング
エッチング（英: Etching）または食刻（しょっこく）とは、化学薬品などの腐食作用を利用した塑形ないし表面加工の技法。使用する素材表面の必要部分にのみ（防錆）レジスト処理を施し、腐食剤によって不要部分を溶解侵食・食刻することで目的形状のものを得る。
原子層エッチング
原子層エッチング (Atomic Layer Etching：アトミックレイヤーエッチング、略称ALEもしくはALEt）はウエハの最表面原子層にのみ作用する自己制御的化学修飾工程と、化学修飾された部分のみを除去するエッチング工程を交互に繰り返すことによって、原子層単位でのエッチングを行う半導体製造工程における最新の技術である。 シリコンエッチングの標準的な例では、塩素との反応とアルゴンイオンでのエッチングを交互に行う。