Metafisika
Kata "metafisika" dicatut dari set karya Aristoteles yang terdiri dari 14 kelompok karya tentang problem-problem filosofis. Pada mulanya tidak terdapat nama untuk merujuk kajian kefilsafatan ini, hingga Andronikus dari Rodesia menyusun karya-karya filsafat Aristotelian dengan delapan buku di luar label "Fisika" dinamai τὰ μετὰ τὰ φυσικά βιβλία ("tà metà tà Physika biblia"; buku/karya (yang adalah) setelah/disamping Φυσικὴ ἀκρόασις ("Phusike akroasis")). Sehingga timbul istilah "Metafisika" yang, secara turun temurun berbelok maknanya dan dimengerti sebagai "sesuatu/ilmu di balik fisika/kulit terluar (yang menutupi sesuatu)".
Kimia fisik
Istilah "kimia fisik" mungkin pertama kali digunakan oleh Mikhail Lomonosov pada tahun 1752, ketika ia menyampaikan kuliah berjudul "Pelajaran Kimia Fisika yang Benar" kepada mahasiswa Universitas Petersburg.
Landasan Kimia Fisik modern diletakkan pertama kali pada tahun 1876 oleh Josiah Willard Gibbs dalam makalahnya, "On the Equilibrium of Heterogeneous Substances", yang memuat beberapa konsep dan prinsip penting kimia fisik, seperti energi Gibbs, potensial kimia, aturan fase Gibbs.