ایزولاسیون الکتریکی
ایزولاسیون الکتریکی برای جلوگیری از عبور جریان مستقیم بین قسمت‌های عملکردی مختلف یک سیستم الکتریکی ضروری است. انرژی یا اطلاعات می‌توانند به روش‌های دیگری مانند خازنی، القایی، الکترومغناطیسی یا به کمک‌های روش‌های دیگری مانند نور، صوت یا مکانیکی بین قسمت‌های مختلف یک سیستم الکتریکی رد و بدل شوند.
ریزسیستم‌های زیست‌الکترومکانیکی
روش‌های معمول که از میکروماشین‌ها استفاده می‌کنند، شامل زدایش خیس(Wet etching) , زدایش خشک (Dry etching) , روش Deep reactive ion etching , کندو پاش کردن (sputtering) , اتصال انودیک و پیوند فیوژنیک در Bio-MEMS برای ساخت کانال‌های جریان، سنسورهای جریان، آشکارسازهای شیمیایی، همزن‌ها، فیلترها، پمپ‌ها و دریچه‌ها استفاده می‌شود. اگرچه اشکالاتی برای استفاده دستگاه‌هایی که بر پایه سیلیکون هستند در مصارف زیست شناختی وجود دارد مثل قیمت بالا و زیست ناسازگاری. همچنین به دلیل تک کاربردی بودن این مواد نسبت به Bio-MEMS و ملزومات فراوان مثل محیط قرنطینه و قیمت بالای مواد مورد نیاز، این دسته از لحاظ اقتصادی مقرون به صرفه نیستند.