اتصال‌دهنده‌ها
اتصال دهنده‌ها ابزارهایی سخت‌افزاری هستند که دو یا چند جزء را به صورت مکانیکی به هم چسبانده یا نگه می‌دارد.
پیوند یوتکتیکی
با توجه به استحکام بالای پیوند، این روش به‌ویژه برای سنسورهای فشاری یا مایعات کاربرد دارد. همچنین سنسورها و فعّال‌کننده‌های میکرومکانیکی هوشمند با عملکرد الکترونیکی و/ یا میکرومکانیکی، با چندین ویفر مختلف، می‌توانند ساخته شوند.