পরমাণু
পরমানুর গঠন কেমন হতে পারে , তা নিয়ে বিজ্ঞানীরা অনেক গবেষণা করেছেন । এর মধ্যে অন্যতম হলো ডাল্টনের পরমানুবাদ । আধুনিক রসায়ন এর ভিত্তি বলে পরিচিত ডাল্টনের পরমাণুবাদে পরমাণুকে অবিভাজ্য ধরা হয়েছে। কিন্তু এ তত্ত্ব এখন অচল। ঊনবিংশ শতাব্দীর শেষ ভাগে প্রমাণিত হয় যে, পরমাণুর তিনটি উপাদান। যেসব সূক্ষ কণিকা দিয়ে পরমাণু গঠিত, তাদেরকে মৌলিক কণিকা বলে । এরা হচ্ছে ইলেকট্রন , প্রোটন এবং নিউট্রন । এ তিনটি কণিকা বিভিন্ন সংখ্যায় একত্রিত হয়ে ভিন্ন ভিন্ন পরমাণু গঠন করে । ধনাত্মক আধানযুক্ত প্রোটন এবং আধানহীন নিউট্রন একত্রিত হয়ে নিউক্লিয়াস গঠন করে আর এদেরকে ঘিরে ঋণাত্মক আধানের ইলেকট্রন ঘুরছে ।
অণু
অনু: পদার্থের ক্ষুদ্রতম একক যাকে রাসায়নিক ভাবে ভাঙলে ঐ পদার্থের স্বাধীন অস্তিত্ব থাকে না তাকে অনু বলে। উদাহরণ: জল, অক্সিজেন। 
পরমাণু: মৌলিক পদার্থের ক্ষুদ্রতম একক যাকে রাসায়নিক ভাবে ভাঙলে ঐ পদার্থের স্বাধীন অস্তিত্ব থাকে না তাকে পরমানু বলে ।