src: par le groupe H01L 21/00; [7] - les procédés ou les appareils impliquant la manipulation d'atomes ou de molécules un par un, qui sont couverts par le groupe B82B 3/00.
tgt: group H01L 21/00; [7] - processes or apparatus involving the manipulation of single atoms or molecules, which are covered by group B82B 3/00.