src: Hierzu wird bei einem Rasterelektronenmikroskop ein Elektronenstrahl (nachfolgend Primärelektronenstrahl genannt) mittels eines Strahlerzeugers erzeugt und durch eine Objektivlinse auf das zu untersuchende Objekt fokussiert, welches auf einem Probenträger angeordnet ist, mit dessen Hilfe die Position des Objekts einstellbar ist.
tgt: To do so, in the case of a scanning electron microscope, an electron beam (hereinafter referred to as the primary electron beam) is generated by particle source and focused via an objective lens on the object which is to be examined and is situated on a specimen carrier with the help of which the position of the object is adjustable.