src: De manière extrêmement classique, l'oxydation consomme du silicium en profondeur et il y a gonflement en surface; l'oxyde 18 qui est produit soulève les bords (20,22) de la couche de nitrure de silicium 14. (figure 2).
tgt: In an extremely conventional manner, the oxidation consumes silicon at depth and there is swelling at the surface; the oxide 18 which is produced lifts up the edges (20, 22) of the silicon nitride layer 14. (FIG. 2).