src: Wafer und Auflage können weiterhin so hergestellt werden, daß sie an den einander zugewandten Grenzflächen aufeinander angepaßte Temperaturausdehnungskoeffizienten aufweisen.
tgt: Wafer and support may furthermore be produced in such a way that they have thermal expansion coefficients which are adapted to one another at the interfaces which face one another.