src: Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Messung der Neigung eines von einem Objektiv abgebildeten Meßortes auf einer Probe bei dem ein Richtungskontrollstrahl durch eine Strahlungsquelle erzeugt und zur oder in die Nähe der optischen Achse des Objektivs in einem Bereich zwischen dem Objektiv und dem Meßort gebracht wird.
tgt: The invention furthermore refers to a method for measuring the inclination of a measurement location on a specimen imaged by an objective, in which a direction monitoring beam is generated by a radiation source and brought to or into the vicinity of the optical axis of the objective in a region between the objective and the measurement location.