src: the boron dose is at least equal to 5×10 13 B/cm 2, preferably at least equal to 10 14 B/cm 2 and it is preferably below 10 16 B/cm 2 so as to avoid amorphization of the substrate, even more advantageously this boron dose does not represent more than 10% of the combined dose of hydrogen and helium; and
tgt: la dose de bore est au moins égale à 5.10 13 B/cm 2, de préférence au moins égale à 10 14 B/cm 2; elle est de préférence inférieure à 10 16 B/cm 2 pour éviter une amorphisation du substrat; il est encore plus avantageux que cette dose de bore ne représente pas plus de 10% de la dose combinée d'hydrogène et d'hélium,