src: Die dielektrischen Schichten aus Siliziumnitrid, das durch Zerstäuben von Silizium in Stickstoffatmosphäre in der Kathodenzerstäubungsanlage erhalten wird, ergeben ähnlich hohe Werte für die Transmission und Reflexion.
tgt: The dielectric layers comprised of silicon nitride which is obtained by sputtering silicon in a nitrogen atmosphere in the cathodic sputtering unit give similarly high values of transmission and reflection.