src: Alternativement, le matériau temporaire peut être éliminé par une gravure sèche, isotrope et sélective, à l'aide d'un plasma pénétrant par les cheminées C1 et C2 jusqu'au volume 1a.
tgt: Alternatively, the temporary material may be removed by dry, isotropic selective etching using a plasma that penetrates via the shafts C 1 and C 2 as far as the volume 1 a.